DISCO վաֆլիի մանրացնող DFG8541

DISCO DFG8541-ը լիովին ավտոմատացված հղկող մեքենա է, որը մշակվել է 8 դյույմանոց և ավելի փոքր չափի վաֆլիների նոսրացման կարիքները բավարարելու համար: Որպես իր նախորդի՝ ամենաշատ վաճառվող DFG8540-ի արդիականացում, այն կարող է դիրքավորվել որպես «8 դյույմանոց վաֆլիների նոսրացման հիմնական մոդել», որը հայտնի է իր բարձր ճշգրտությամբ, բարձր մաքրությամբ և գերազանց կայունությամբ, հատկապես հարմար է կոշտ և փխրուն նյութերի, ինչպիսիք են սիլիցիումի կարբիդը (SiC), մշակման համար:

Ստորև ներկայացված է դրա աշխատանքի սկզբունքի, հիմնական գործառույթների, տեխնիկական բնութագրերի և շուկայական արժեքի մանրամասն ներածությունը։

Աշխատանքային սկզբունք՝ Երկմիջուկանի արդյունավետության և ճշգրտության սիներգիա

DFG8541-ը կիրառում է «երկակի առանցքով, երեք ներծծող բաժակով» ճարտարապետությունը։

Աշխատանքի հստակ բաժանում. Մեկ իլիկը կրում է կոպիտ հղկող անիվ՝ վաֆլիի հետևի մասից հիմնական նյութը արագ հեռացնելու համար, իսկ մյուս իլիկը կրում է նուրբ հղկող անիվ՝ մակերեսը մանրակրկիտ մշակելու և հարթ, հարթ և վնասվածքներից զերծ վերջնական արդյունք ստանալու համար։

Բարձր արդյունավետ գործընթաց. թիթեղը վակուումային եղանակով ադսորբվում է աշխատանքային սեղանի վրա: Ճշգրիտ գործընթացի պլանավորման միջոցով ապահովվում է լիովին ավտոմատացված «միանգամյա սեղմում, անընդհատ մշակում» աշխատանքային հոսք, որը կանխում է տարբեր սարքերի միջև նյութերի տեղափոխման հետևանքով առաջացող աղտոտման և վնասի ռիսկերը:

Կիրառություններ և դերեր. Սիլիկոնից այն կողմ

Որպես ընդհանուր նշանակության սարք, այն կարևոր դեր է խաղում երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային ոլորտում։

Հիմնական առաջադրանք՝ 8 դյույմանոց և ավելի փոքր թիթեղների (Si/SiC) նոսրացում՝ նպատակային հաստությունների համար, հաստության գերազանց միատարրության (TTV) ապահովում և նախորդ գործընթացներից առաջացած մակերեսային վնասված շերտերի հեռացում։

Զարգացող հենարան. Բարձր պտտող մոմենտով իլիկի ընտրության շնորհիվ DFG8541-ը կարող է կայուն կերպով մշակել գերբարձր կարծրության նյութեր, ինչպիսին է SiC-ը: Սա է հիմնական պատճառը, թե ինչու է այն մեծապես նախընտրելի ներկայիս հզոր կիսահաղորդչային շուկայում:

Հիմնական պարամետրերի ակնարկ

Պարամետրերի կատեգորիա | Հատուկ տեխնիկական բնութագրեր

Կիրառելի աշխատանքային մասեր՝ Φ8 դյույմ (200 մմ) և ավելի ցածր; համատեղելի է Φ4, 5, 6 և 8 դյույմանոց վաֆլիների հետ՝ օգտագործելով ունիվերսալ սեղմակ։

Մանրացման մեթոդ. Պտտվող երկայնական ներհոսքային մանրացում

Առանցքի կոնֆիգուրացիա՝ Երկակի առանցքներ (2 առանցք), օդային հիդրոստատիկ կրող առանցք (ստանդարտ)

Առանցքի արագությունը՝ 1000 - 7000 պտույտ/րոպե

Առանցքի հզորությունը՝ ստանդարտ 4.2 կՎտ

Աշխատանքային սեղանի կոնֆիգուրացիա՝ Երեք աշխատանքային սեղան (3 սեղմակով սեղան)

Հղկող անիվի տեխնիկական բնութագրերը՝ Φ200 մմ ադամանդե հղկող անիվ

Սարքավորման չափերը (Լայնություն x Խորություն x Բարձրություն): Մոտավորապես 1,100 × 2,800 × 1,800 մմ

Սարքավորման քաշը՝ մոտավոր 3000 կգ

Հիմնական գործառույթներ և առանձնահատկություններ

DFG8541-ը DFG8540-ի համեմատ զգալի բարելավում է ներկայացնում։

Հատկանիշներ/Գործառույթներ Մանրամասն նկարագրություն

Գերազանց մաքրման հնարավորություններ. Բազմակայան երկու հեղուկային ծորակներ. Համեմատած ավանդական օդ-ջուր մաքրման հետ, սա հզորորեն հեռացնում է մանր փոշու մասնիկները, որոնք կպչում են թիթեղներին հղկումից հետո: Այս տեխնոլոգիան լայնորեն կիրառվում է հիմնական աշխատանքային կայաններում, ինչպիսիք են ներծծող բաժակները և աշխատանքային մասերը, արդյունավետորեն նվազեցնելով բարակ թիթեղների կոտրվելու ռիսկը:

Անհպում հավասարեցում. օգտագործում է տեսախցիկ՝ վաֆլիի կենտրոնը գտնելու համար, փոխարինելով ֆիզիկական շփումը և վերացնելով քերծվածքները կամ եզրերի վնասը հավասարեցման գործընթացի ընթացքում։

Խելացի արտադրություն. Յուրաքանչյուր վաֆլիի բաղադրատոմս. թույլ է տալիս նույն վաֆլիի կասետի մեջ գտնվող տարբեր վաֆլիները ավտոմատ կերպով մշակել ըստ դրանց համապատասխան նախապես սահմանված բաղադրատոմսերի (մանրացման հաստություն, արագություն և այլն), կատարելապես հարմարվելով բազմատեսակ, փոքր խմբաքանակով արտադրությանը։

Վեֆերի պաշտպանության գործառույթներ. Ինտեգրում է բազմաթիվ պաշտպանության մեխանիզմներ, ներառյալ վեֆերի քարտեզագրումը (անհամապատասխանության/դատարկ վեֆերի դեմ), հաստության նախնական ստուգումը (կրկնակի ժապավենի դեմ) և վակուումային պահպանումը (հանկարծակի էլեկտրաէներգիայի անջատման ահազանգ), ապահովելով բարձր արժեք ունեցող վեֆերի անվտանգությունը։

Էլեկտրականորեն կարգավորվող թեքության ուղղում. ներծծող բաժակի թեքությունը կարող է էլեկտրականորեն կարգավորվել էկրանին ցուցադրվող արժեքների միջոցով, օպտիմալացնելով մշակման ձևը և կրճատելով ձեռքով կարգավորման ժամանակը:

Զգալիորեն բարելավված օգտագործելիություն. 19 դյույմանոց ավելի մեծ էկրանի գրաֆիկական ինտերֆեյս. DFG8540-ի 15 դյույմանոց էկրանի համեմատ, էկրանը ոչ միայն ավելի մեծ է, այլև ունի ինտուիտիվ գրաֆիկական ինտերֆեյս։

Օպտիմիզացված սպասարկում. բարելավված ներքին մաքրման կառուցվածքը հեշտացնում է սպասարկումը։

Էներգախնայողություն և կոմպակտ դիզայն. Նոր օդային առանցքը 50%-ով կրճատում է օդի սպառումը, իսկ ներկառուցված վակուումային պոմպի դիզայնը նախորդի համեմատ կրճատում է իր հետքը 15%-ով՝ հասնելով էկոլոգիապես մաքուր խնայողությունների՝ թե՛ սարքավորումների, թե՛ շահագործման մեջ։

Շուկայական դիրքավորում և արժեք. 12 դյույմանոց շուկային ուղղված DGP8761 ֆլագմանի համեմատ, DFG8541-ը ավելի շատ կենտրոնանում է 8 դյույմանոց շուկայի վրա, ինչը այն դարձնում է տիպիկ «բարձր արդյունավետությամբ, ծախսարդյունավետ» ֆլագմանային սարք։

Արդյունավետության դիրքավորում. DFG8541-ը 8 դյույմանոց հղկող մեքենաների համար աշխատանքի չափանիշ է: Բարձր պտտող մոմենտով իլիկի ընտրության շնորհիվ այն հաջողությամբ հաղթահարում է SiC-ի նման կոշտ և փխրուն նյութերի նոսրացման մարտահրավերները՝ ամրապնդելով իր բացարձակ առավելությունը 8 դյույմանոց շուկայում:

Ներդրումային արժեք. Որպես հասուն հարթակի կայուն արդիականացում, այն հուսալի է երկարաժամկետ կայուն աշխատանքի և անընդհատ արտադրողականության առումով, ինչը այն դարձնում է բարձր արդյունավետության, ցածր ռիսկայնության և հուսալի ընտրության հնարավորություն 8 դյույմանոց արտադրական գծի սարքավորումների ներդրման համար: Առաջատար տեղական համալսարանները (օրինակ՝ Սիանի Ցզյաոտունի համալսարանը) արդեն գնել են այս սարքավորումները առաջատար հետազոտությունների համար:

Սպասարկման և տեղադրման պահանջներ. DFG8541-ի երկարատև կայուն և բարձր ճշգրտությամբ աշխատանքն ապահովելու համար անհրաժեշտ է խստորեն պահպանել DISCO-ի տեղադրման միջավայրի պահանջները.

Շրջակա միջավայրի մաքրություն. Այն պետք է տեղադրվի բարձր մաքրության մաքուր սենյակում: Շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը պետք է լինի կայուն 20-25℃, տատանումները պետք է վերահսկվեն ±1℃-ի սահմաններում: Հարաբերական խոնավությունը սովորաբար պետք է լինի 55%-ից ցածր:

Սնուցման աղբյուր՝

Սեղմված օդ. Անհրաժեշտ է մաքուր, չոր և յուղազերծ, բարձր մաքրության սեղմված օդ՝ 0.5 ՄՊա կամ ավելի բարձր ճնշման ներքո։

Էլեկտրաէներգիա. Անհրաժեշտ է եռաֆազ էլեկտրամատակարարում, որը համապատասխանում է սարքավորումների հզորության պահանջներին։

Սառեցնող ջուր. Առանցքի սառեցման համար անհրաժեշտ է ապաիոնացված ջուր (DI ջուր)՝ կայուն հոսքի արագությամբ և հաստատուն ջերմաստիճանով: Ջրի ջերմաստիճանը սովորաբար պետք է համապատասխանի սենյակային ջերմաստիճանին՝ ջերմաստիճանի նվազագույն տատանումներով:

Հղկող անիվների պարբերաբար ստուգումը և փոխարինումը, վակուումային կեռիկների մաքրումը, ինչպես նաև օդային իլիկի պահպանումը կարևոր են սարքավորումների կյանքի տևողությունը երկարացնելու և մշակման արդյունավետությունն ապահովելու համար։

Ամփոփելով՝ DISCO DFG8541-ը 8 դյույմանոց վաֆլիի նոսրացման հասուն և հուսալի լուծում է։ Այն իր հիմնական ոլորտներում հասնում է արդյունաբերության մեջ առաջատար կատարողականի և համապարփակորեն օպտիմալացված է ավտոմատացման, մաքրության և օգտագործման հեշտության համար՝ ժամանակակից արտադրության կարիքները բավարարելու համար։