Nitto DR3000III կիսահաղորդչային վաֆլի մոնտաժող

Սա Nitto Denko-ի NEL SYSTEM™ DR3000III-ի մանրամասն ներածություն է: Այն լիովին ավտոմատացված վաֆլի պաշտպանիչ ժապավենի կիրառման մեքենա է, որը կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ:

Հիմնական կոնֆիգուրացիա և տեխնիկական բնութագրեր

DR3000III-ի հիմնական տեխնիկական բնութագրերը հետևյալն են.

Ապրանքի տեխնիկական բնութագրերը/պարամետրերը

Սարքավորման տեսակը՝ 300 մմ վաֆլիների համար լիովին ավտոմատացված պաշտպանիչ ժապավենի կիրառիչ

Կիրառելի վաֆլիի չափսը՝ 300 մմ (12 դյույմ) / 200 մմ (8 դյույմ)

Կիրառելի վաֆլի հաստություն՝ 400 մկմ կամ ավելի հաստ

Արտադրողականություն՝ 68 վաֆլի/ժամ

Ժապավենի կիրառման տեխնոլոգիա. ինտեգրված լարվածությունից զերծ կիրառման կառավարման մեխանիզմ

Համատեղելի ստանդարտներ՝ համապատասխանում է CE նշագրմանը և SEMI S2/S8 պահանջներին

Խնդրում ենք նկատի ունենալ. Վերոնշյալ տեխնիկական բնութագրերը կարող են փոփոխվել՝ կախված վաֆլիից, ժապավենից և այլ պայմաններից, և կարող են ներառել նաև լրացուցիչ հնարավորություններ:

Հիմնական առանձնահատկություններ և առավելություններ

DR3000III-ի հզոր առանձնահատկությունները այն առանձնացնում են ճշգրիտ արտադրության ոլորտում.

Անլար կիրառման տեխնոլոգիա. Սա դրա հիմնական տեխնոլոգիական առավելություններից մեկն է: Շերտավորումից առաջ ժապավենի լարվածության նվազեցումը արդյունավետորեն վերահսկում է թիթեղների ծռումը հետևի հղկումից հետո, ինչը կարևոր է մեծ չափի, գերբարակ թիթեղների հետ աշխատելու համար:

Ցածր լարման լամինացիայի կառավարում. Սարքավորումն առանձնանում է ցածր լարման կապման և կպչունության լարման կառավարման միջոցով, ինչը զգալիորեն նվազեցնում է թիթեղների նախշի վնասման ռիսկը լամինացիայի ընթացքում։

Վաֆլիների համատեղելիություն. չնայած այն նախատեսված է 300 մմ վաֆլիների համար, այն հետադարձ համատեղելի է 200 մմ վաֆլիների հետ և աջակցում է հատուկ գործընթացներին՝ լրացուցիչ հնարավորություններով, ինչպիսիք են տաքացվող սեղմակային սեղանը (առավելագույնը 100°C) և տաքացվող գլանները (առավելագույնը 60°C): Ավելին, այն արդյունավետորեն մշակում է թեքված վաֆլիները և որոշակի աստիճանի ծռվածություն ունեցող վաֆլիները:

Բարձր ավտոմատացում և ինտելեկտ. Սարքավորումը հագեցած է.

Ավտոմատացված նյութերի մշակում. Աջակցում է առջևի բացվող վաֆլի կասետների (FOUP) / բաց կասետների, ներկառուցված ռոբոտացված ձեռքով՝ լիովին ավտոմատացված բեռնման և բեռնաթափման համար։

Ճշգրիտ հավասարեցում. Օգտագործում է անհպում CCD հավասարեցման համակարգ՝ շերտավորման ճշգրտությունն ապահովելու համար։

Խելացի մոնիթորինգ. Հագեցած է տվյալների հետևողականության համար գրանցամատյանների ֆայլի գործառույթով. ժապավենի կախվածության հայտնաբերումը կանխում է անսարքությունները: Լրացուցիչ վաֆլիների քարտեզագրման սկաները հնարավորություն է տալիս ավտոմատ կերպով ստուգել մուտքային նյութերը:

Համապատասխանում է բարձր արդյունաբերական չափանիշներին. Սարքավորումը համապատասխանում է SEMI S2/S8 անվտանգության և շրջակա միջավայրի չափանիշներին և հասանելի է լրացուցիչ SECS/GEM հաղորդակցման արձանագրություններով՝ ժամանակակից կիսահաղորդչային գործարանային ավտոմատացման համակարգերի հետ անխափան ինտեգրման համար։

Օգտագործողի համար հարմար կառավարում. Մեծ սենսորային էկրանը, զուգորդված բաղադրատոմսի գործառույթի հետ, կառավարումը դարձնում է պարզ և ինտուիտիվ: Բոլոր պարամետրերի կարգավորումներն ավտոմատ կերպով ավարտելու համար օգտատերերը պարզապես պետք է կանչեն համապատասխան ապրանքի բաղադրատոմսը:

Աշխատանքային սկզբունքը՝ Հետին հղկման գործընթացից առաջ DR3000III-ը պաշտպանիչ ժապավենը ճշգրտորեն կպցնում է վաֆլիի նախշավոր կողմին՝ օգտագործելով լարվածությունից զերծ մեթոդ՝ հետագա բարձր արագությամբ հղկման ընթացքում վաֆլիի առջևի կողմի մեխանիկական վնասը կամ քիմիական աղտոտումը կանխելու համար։

Կիրառման ոլորտներ՝ DR3000III-ը հիմնականում օգտագործվում է հետևյալ հիմնական ոլորտներում՝

Կիսահաղորդչային արտադրություն. տրամաբանական չիպեր և հիշողության չիպեր (DRAM, NAND Flash և այլն). պաշտպանում է թիթեղի առջևի մասի նուրբ շղթայի կառուցվածքը առաջադեմ գործընթացներում: Առաջադեմ փաթեթավորում. ապահովում է թիթեղների պաշտպանությունը 300 մմ թիթեղների մակարդակի ավելի ու ավելի մեծացող փաթեթավորման գործընթացների ժամանակ (Fan-In WLP, Fan-Out WLP և այլն):

MEMS և սենսորներ. Պաշտպանում է միկրոմեխանիկական կառուցվածքները և սենսորային տարածքները հետադարձ կողմի նոսրացման գործընթացների ընթացքում։

Հզորության կիսահաղորդչային սարքեր. Մշակում է IGBT-ների և MOSFET-ների նման հզորության սարքերի համար նախատեսված թիթեղներ, նվազեցնելով միացման դիմադրությունը և բարելավելով ջերմության ցրումը՝ նոսրացման միջոցով։

Համագործակցություն այլ սարքավորումների հետ. Կիսահաղորդչային փաթեթավորման գծերի վրա DR3000III-ը սովորաբար աշխատում է հետևյալ սարքավորումների հետ համատեղ.

Համագործակցություն թաղանթային կիրառման սարքավորումների հետ. Աշխատում է Nitto NEL-MA3000-III ժապավենի հեռացման սարքավորումների հետ համատեղ՝ նոսրացման գործընթացից առաջ և հետո: DR3000III-ը նախ ամրացնում է պաշտպանիչ ժապավեն՝ թիթեղը նոսրացման ընթացքում վնասվելուց պաշտպանելու համար. նոսրացումից հետո NEL-MA3000-III-ը ճշգրտորեն հեռացնում է պաշտպանիչ ժապավենը՝ ապահովելով գերբարակ թիթեղի ամբողջականությունն ու անվտանգությունը ողջ գործընթացի ընթացքում:

Համագործակցություն փայլեցնող սարքավորումների հետ. Սերտորեն համագործակցում է փայլեցնող մեքենաների հետ որպես պաշտպանիչ քայլ: DR3000III-ի կողմից պաշտպանիչ թաղանթներով պատվելուց հետո, դրանք մատակարարվում են հղկող մեքենա՝ հետևի կողմից նոսրացնելու համար, հուսալիորեն ապահովելով հղկման գործընթացի անվտանգությունն ու կայունությունը:

Ընդհանուր առմամբ, Nitto DR3000III-ը բարձր մասնագիտացված, ավտոմատացված և բարձր արդյունավետությամբ վեֆլերի պաշտպանության համակարգ է: Իր լարվածությունից զերծ թաղանթային շերտավորման տեխնոլոգիայի միջոցով այն արդյունավետորեն լուծում է մեծ չափի վեֆլերի հետ կապված ծռման և չիպավորման տարածված խնդիրները՝ հետևի կողմի նոսրացման գործընթացում: Այն կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ՝ ծառայելով որպես կարևորագույն սարքավորում՝ ապահովելու համար առաջադեմ չիպերի արտադրության արտադրողականությունն ու հուսալիությունը: Գնանշումների կամ տեխնիկական հարցումների համար խնդրում ենք անմիջապես կապվել Nitto-ի պաշտոնական ներկայացուցիչների կամ Չինաստանում լիազորված դիստրիբյուտորների հետ: