Паўправадніковы лазерны маркіровачны станок ThinkLaser SC300

ThinkLaser SC300 — гэта высакаякасная, цалкам аўтаматызаваная сістэма лазернага маркіравання «мяккай маркіроўкі», распрацаваная спецыяльна для пласцін дыяметрам 300 мм. Яе галоўная перавага заключаецца ў здольнасці наносіць трывалую, добра чытэльную маркіроўку, не пашкоджваючы пласціну і не ўтвараючы смецця, тым самым адпавядаючы надзвычай строгім патрабаванням да прыбытковасці і адсочвання пры апрацоўцы паўправаднікоў.

Першапачаткова ён быў распрацаваны для задавальнення строгіх патрабаванняў да маркіроўкі пласцін без забруджвання пасля іх траплення ў чыстае памяшканне.

**Прынцыпы працы і асноўныя тэхналогіі**

Эксплуатацыю і тэхнічныя перавагі SC300 можна найлепш зразумець з дапамогай наступнага параўнання:

**Асноўная тэхналогія** | **Прынцып працы** | **Асноўныя перавагі**

**Маркіроўка SuperSoftMark™** | Выкарыстоўвае запатэнтаваны цвёрдацельны лазер з дыёднай накачкай (DPSS); дзякуючы дакладнаму кіраванню лазернай энергіяй ён стварае на паверхні пласціны маркіроўку таўшчынёй да 2,5 мкм, змяняючы толькі адбівальную здольнасць матэрыялу, не прычыняючы фізічных пашкоджанняў. | Без смецця, высокая чысціня, выразная маркіроўка і адсутнасць пашкоджанняў пласціны.

**Запатэнтаваная лазерная тэхналогія** | Выкарыстоўвае лазер Nd:YLF з даўжынёй хвалі 1053 нм з выключнай стабільнасцю імпульсу (<0,5%), што забяспечвае аднолькавую і добра сфармаваную глыбіню кожнай маркіраванай кропкі. | Стабільная якасць маркіроўкі з высокай кругласцю кропкі (суадносіны вялікай і малой восяў <1,1), што адпавядае строгім стандартам якасці.

**Пашыраная сістэма кіравання** | Аб'ядноўвае кіраванне з замкнёным контурам на ўзроўні сістэмы і інтэрфейс SECS/GEM, што дазваляе дакладна запісваць усе дадзеныя аб прадукцыйнасці лазера аж да ўзроўню статыстычнага кіравання працэсамі (SPC). | Высокакіравальны і адсочваемы працэс, здольны да бясшвоўнай інтэграцыі ў сістэмы аўтаматызацыі вытворчасці.

**Тэхнічныя характарыстыкі**

Зыходзячы з асноўных тэхналогій, SC300 мае наступныя ключавыя тэхнічныя характарыстыкі:

**Падтрымліваемыя памеры пласцін:** Стандартныя 300 мм (12 цаляў), сумяшчальныя з пласцінамі памерам 200 мм (8 цаляў).

**Прадукцыйнасць маркіроўкі:** Хуткасць аднасімвальнай маркіроўкі да 125 пласцін у гадзіну. Кожная група маркіроўкі падтрымлівае максімум 80 сімвалаў.

**Дакладнасць маркіроўкі:** Высокая паўтаральнасць пазіцыянавання, якая дасягае ±0,125 мм у межах плошчы 50×50 мм. Фізічныя характарыстыкі: Мае канструкцыю з сістэмай паветранага астуджэння і адпавядае шматлікім міжнародным стандартам бяспекі і аховы навакольнага асяроддзя, у тым ліку CE, SEMI S2, S8 і S14.

Сферы прымянення

SC300 служыць прыладай адсочвання асноўных кампанентаў у буйных вытворчых лініях паўправаднікоў, у асноўным выкарыстоўванай для:

Выраб пласцін на пярэднім краі: маркіроўка пласцін унікальнымі ідэнтыфікатарамі для палягчэння аналізу прыбытку, аптымізацыі працэсаў і адсочвання пласцін.

Пашыраная ўпакоўка: нанясенне «мяккіх пазнак» на рэканструяваныя пласціны або панэлі падчас працэсаў упакоўкі на ўзроўні пласцін (WLP), тым самым забяспечваючы адсочванне працэсу ад пачатку да канца.

Злучаныя паўправаднікі: здольнасць апрацоўваць паўправадніковыя матэрыялы наступнага пакалення, такія як SiC, GaN і GaAs, для задавальнення канкрэтных патрабаванняў спецыялізаваных вытворчых працэсаў.

Дадатковыя прадукты

ThinkLaser прапануе комплексны набор рашэнняў для ідэнтыфікацыі пласцін, у якім SC300 адыгрывае ключавую ролю:

Дапаўненне да HM300: SC300 спецыялізуецца на «мяккай маркіроўцы» — тэхніцы, якая не патрабуе пашкоджання або забруджвання паверхні, у той час як HM300 прызначаны для «цвёрдай маркіроўкі», якая патрабуе высокай трываласці.

Частка лінейкі прадуктаў SigmaClean/SigmaDSC: у той час як SC300 арыентаваны на рынак 300-міліметровых пласцін, сістэмы SigmaClean і SigmaDSC служаць аўтаматызаванымі рашэннямі для мяккай маркіроўкі пласцін памерам 200 мм і менш; разам гэтыя сістэмы ўтвараюць поўную матрыцу прадуктаў для рашэнняў па маркіроўцы пласцін.

Рэзюмэ

У заключэнне, ThinkLaser SC300 — гэта тэхналагічна перадавая сістэма мяккай маркіроўкі, распрацаваная спецыяльна для маштабнай вытворчасці пласцін памерам 300 мм. Яе асноўная каштоўнасць заключаецца ў запатэнтаванай тэхналогіі SuperSoftMark™, ​​якая дазваляе эфектыўна, без пылу і з высокай дакладнасцю маркіраваць, не пашкоджваючы паверхню пласціны, што робіць яе незаменнай прыладай для забеспячэння поўнага адсочвання працэсаў у сучаснай вытворчасці паўправаднікоў.