Ачышчальнік пласцін SCREEN SU-3200

SCREEN SU-3200 — гэта знакавая сістэма ачысткі адной пласціны памерам 300 мм у паўправадніковай прамысловасці. Дзякуючы высокай прапускной здольнасці і перадавой тэхналогіі ачысткі, яна доўгі час служыла асноўнай мадэллю SCREEN, падтрымліваючы вытворчасць лагічных мікрасхем і мікрасхем памяці ад 32 нм да 7 нм і нават больш складаных вузлоў, адыгрываючы вырашальную ролю на рынку абсталявання для ачысткі.

Асноўнае пазіцыянаванне і агляд тэхналогій: Асноўнае пазіцыянаванне SU-3200 заключаецца ў значным павелічэнні прапускной здольнасці ачысткі асобных пласцін пры захаванні надзвычай высокай чысціні, што адпавядае экстрэмальным патрабаванням да эфектыўнасці перадавых працэсаў.

Высокапрадукцыйная канструкцыя: дзякуючы інавацыйнай чатырохслаёвай шматслаёвай архітэктуры, адна сістэма можа быць сканфігуравана з да 12 незалежнымі працэснымі камерамі, дасягаючы прадукцыйнасці апрацоўкі да 800 пласцін у гадзіну (WPH), што на той момант было лідарам у свеце сярод сістэм ачысткі адной пласціны.

Звышчыстае тэхналагічнае асяроддзе: Каб адпавядаць строгім патрабаванням 22-нм і больш складаных вузлоў, SU-3200 абсталяваны запатэнтаванай тэхналогіяй APAC (Advanced Process Atmosphere Control) ад SCREEN. Аптымізацыя асяроддзя камеры па некалькіх вымярэннях забяспечвае найвышэйшую чысціню працэсу ачысткі.

Асноўныя тэхнічныя характарыстыкі: Для дасягнення падвойных мэтаў прапускной здольнасці і чысціні ў SU-3200 выкарыстоўваецца шэраг інавацыйных канструкцый, падрабязна апісаных у табліцы ніжэй:

Тэхналагічны вымяр | Назва тэхналогіі | Асноўная функцыя і метад рэалізацыі

Прарыўное паляпшэнне магутнасці | Кампактная камера | Змяншае аб'ём адной тэхналагічнай камеры ўдвая ў параўнанні з папярэдняй мадэллю, што дазваляе размясціць больш камер у адной прасторы, тым самым павялічваючы прапускную здольнасць на адзінку плошчы.

Сістэма высакахуткаснай перадачы | Аптымізуе логіку перадачы і хуткасць пласцін паміж камерамі, што з'яўляецца ключавым фактарам для дасягнення высокай прапускной здольнасці 800 пласцін у гадзіну.

Забеспячэнне чысціні | Тэхналогія Азіяцка-Ціхаакіянскага рэгіёну | Тэхналогія звышчыстых камер — гэта агульны тэрмін для шэрагу тэхналогій. Яе асноўныя падтэхналогіі ўключаюць:

Мікракамера AMC: Зніжэнне ўнутранага аб'ёму камеры да адной траціны ў параўнанні з папярэдняй мадэллю, што дазваляе хутчэй замяніць газ і эфектыўна паляпшае чысціню навакольнага асяроддзя.

Балансавальная перагародка паветранага патоку ABG: выкарыстоўваецца для выраўноўвання чыстага паветранага патоку, які паступае праз верхні высокаэфектыўны фільтр часціц (FFU), прадухіляючы ўтварэнне віхравых або мёртвых зон у камеры і забяспечваючы эфектыўнае выдаленне часціц.

Палепшаная абарона ад пырскаў ASP: дзякуючы дакладнай канструкцыі мінімізуецца пырскаў хімікатаў падчас распылення хімічных рэчываў, што забяспечвае чыстае асяроддзе для апрацоўкі пласцін.

Паветраахоўная фарсунка APN: Выкарыстанне «паветранай заслоны» падчас этапу сушкі для абароны паверхні пласціны і прадухілення плям ад вады, выкліканых рэшткамі выпарэння вадкасці.

Гнуткая пастаўка хімічных рэчываў: Крыніцы хімічных рэчываў можна арганізаваць гнутка. Даступныя як сістэмы дынамічнага непасрэднага ўпырску (DDI), так і шафавыя сістэмы, што дазваляе кліентам гнутка выбіраць у адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі працэсу.

Прастата абслугоўвання: Высуўная канструкцыя: Працоўную камеру можна выцягваць як скрыню для лёгкай чысткі, замены кампанентаў і іншых работ па тэхнічным абслугоўванні, што эфектыўна скарачае час прастою абсталявання. Сферы прымянення: Ад перадавых даследаванняў і распрацовак да сталай вытворчасці

SU-3200 мае шырокі спектр прымянення, які ахоплівае некалькі ключавых этапаў вытворчасці паўправаднікоў.

Пашыраная логіка і мікрасхемы памяці: SU-3200 выкарыстоўваецца ў даследаваннях, распрацоўках і вытворчасці мікрасхем, у тым ліку 7-нм і больш складаных вузлоў, як у працэсах пярэдняга (FEOL), так і задняга (BEOL) этапаў.

Асноўныя паўправадніковыя матэрыялы і працэсы: Сярод шматлікіх працэсаў, якія ён падтрымлівае, — ачыстка паўправадніковых матэрыялаў трэцяга пакалення, такіх як SiC (карбід крэмнію) і GaN (нітрыд галію).

Перадавыя даследаванні і супрацоўніцтва ў галіне экасістэм: дзякуючы сваёй магутнасці SU-3200 абралі вядучыя навукова-даследчыя ўстановы па ўсім свеце. Напрыклад, IBM укараніла SU-3200 у сваім цэнтры даследаванняў паўправаднікоў у Олбані, штат Нью-Ёрк. Акрамя таго, SCREEN супрацоўнічае з Applied Materials, усталяваўшы SU-3200 у сваім цэнтры META для распрацоўкі больш складаных працэсаў вытворчасці мікрасхем.

Пазіцыя на рынку і гістарычны ўнёсак

SU-3200 — гэта не толькі паспяховы прадукт, але і ключавы фактар ​​умацавання лідзіруючых пазіцый SCREEN на рынку.

Дамінаванне на рынку: Пасля поспеху SU-3200 кампанія SCREEN яшчэ больш умацавала свае лідзіруючыя пазіцыі ў галіне абсталявання для ачысткі. Згодна з афіцыйнымі дадзенымі SCREEN, па стане на ліпень 2025 года сукупныя пастаўкі абсталявання для ачысткі паўправаднікоў перавысілі 15 000 адзінак, што дазваляе ёй займаць першае месца на сусветным рынку ў некалькіх сегментах, уключаючы ачыстку асобных пласцін, пакетную ачыстку і ачыстку кручэннем.

Асноўны прыбытак: Доўгі час SU-3200 быў галоўным прадуктам SCREEN, і прыбытак ад бізнесу па вытворчасці абсталявання для ўборкі моцна залежаў ад гэтай мадэлі.