Ачышчальнік для вафель SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME ад SEMES — гэта цалкам аўтаматызаваная сістэма ачысткі адной пласціны дыяметрам 300 мм, прызначаная для вытворчасці логікі і мікрасхем памяці з выкарыстаннем перадавых тэхналагічных працэсаў (LPT). Распрацаваная і вырабленая кампаніяй SEMES, асноўным пастаўшчыком абсталявання для Samsung Electronics, яна з'яўляецца ключавым абсталяваннем для павышэння прадукцыйнасці масавай вытворчасці перадавых працэсаў, такіх як 2-нм.

Асноўная прадукцыйнасць: балансаванне паміж складанымі працэсамі і магутнасцямі

Высокая прадукцыйнасць працэсу: здольнасць выдаляць часціцы памерам 19 нм, што значна паляпшае аднастайнасць травлення больш чым на 40%.

Высокаэфектыўная канструкцыя: сістэма ачысткі адной пласціны дыяметрам 300 мм апрацоўвае больш за 500 пласцін у гадзіну, што эфектыўна задавальняе патрабаванні масавай вытворчасці ў вялікіх маштабах.

Тэхнічныя характарыстыкі: некалькі незалежна распрацаваных інавацыйных дызайнаў

Інавацыйны высокатэмпературны працэс фосфарнай кіслаты: у асноўным для травлення і зачысткі пласцін выкарыстоўваецца высокатэмпературная фосфарная кіслата. Дакладны кантроль распылення і тэмпературы эфектыўна зніжае дысперсію працэсу і ўзровень дэфектаў, значна паляпшаючы выхад 2-нм чыпаў.

**Незалежна распрацаваны высокатэмпературны патрон:** Гэтая тэхналогія паляпшае аднастайнасць тэмпературы падчас нагрэву пласцін, значна памяншае колькасць дэфектаў працэсу і пераадольвае абмежаванні традыцыйных метадаў вільготнай ачысткі.

**Комплексны кантроль забруджвання:** Камера NIC (Non-Interaction Clean) эфектыўна прадухіляе перакрыжаванае забруджванне ў спалучэнні з тэхналогіяй SF-Aerosol (высокахуткасныя/раўнамерныя кроплі) для фізічнай ачысткі.

**Высокаінтэграваная інтэлектуальная сістэма:** Абсталяваная APAC, AIS (сістэмай аўтаматычнага выяўлення) і SEAS (сістэмай аналізу інтэлектуальнага абсталявання), яна забяспечвае дакладнае кіраванне патокам і інтэлектуальны аналіз стану абсталявання.

**Сферы прымянення:** Базуецца ў Samsung, абслугоўвае вядучых глабальных кліентаў.

BLUEICE PRIME ў першую чаргу арыентавана на вядучых сусветных вытворцаў лагічных мікрасхем і памяці. Выкарыстоўваючы статус сваёй матчынай кампаніі SEMES як даччынай кампаніі Samsung Group, гэта абсталяванне цесна інтэгравана ў самыя перадавыя вытворчыя лініі Samsung па вытворчасці пласцін. Яе рашэнне для вільготнай ачысткі ўтварае поўную экасістэму з іншым асноўным абсталяваннем, такім як літаграфія (серыя OMEGA) і травленне (серыя MICHELAN). Варта адзначыць, што SEMES пашырыла свой бізнес на ўсю сферу вытворчасці HBM (памяць з высокай прапускной здольнасцю), паспяхова распрацаваўшы і пачаўшы масава вырабляць машыну для тэрмічнага злучэння (TC Bonder) для кладкі мікрасхем HBM.

Карацей кажучы, BLUEICE PRIME дэманструе значны тэхналагічны патэнцыял SEMES у галіне паўправадніковага абсталявання. Гэта важная частка намаганняў Samsung Group па ўмацаванні сваіх пазіцый як сусветнага лідэра ў галіне перадавых тэхналогій працэсаў і ключавога інструмента падтрымкі перадавой вытворчасці ніжэй за 2 нм.