ThinkLaser SigmaDSC Mašina za lasersko označavanje pločica

Osnovna pozicija ThinkLaser SigmaDSC-a je potpuno automatizovani sistem laserskog označavanja "Hard Marking" - posebno dizajniran za pločice od 100 mm do 200 mm (4 do 8 inča) - koji u potpunosti ispunjava standarde čistih soba klase 1 (ISO klasa 3).

Njegova osnovna vrijednost leži u korištenju laserske tehnologije s programabilnom kontrolom dubine za stvaranje trajnih, lako čitljivih identifikacijskih kodova na pločicama. Ovi kodovi su konstruirani da izdrže zahtjeve naknadnih visokointenzivnih proizvodnih procesa - kao što su stanjivanje stražnje strane, tretmani na visokim temperaturama i hemijsko čišćenje - čime se osigurava stroga sljedivost proizvoda tokom cijelog njegovog životnog ciklusa.

**Osnovni principi**

Tehnološka jezgra SigmaDSC-a vrti se oko "tvrdog označavanja":

**Termičko označavanje tačkastim matricama**: Ova tehnika koristi fokusirani laserski snop visoke gustoće energije usmjeren na određena mjesta na površini pločice. To uzrokuje trenutno i lokalno topljenje ili isparavanje materijala, formirajući fizička udubljenja (jame) određene dubine (do 110 mikrona).

**Ekstremna stabilnost impulsa:** Ključ za postizanje ujednačenog tvrdog označavanja leži u izuzetnoj stabilnosti laserskog izvora od impulsa do impulsa. ThinkLaserov patentirani laser u čvrstom stanju s diodnom pumpom kontrolira stabilnost impulsa na nivo <0,5% pri frekvenciji od 1 kHz. Ovo osigurava visok stepen konzistentnosti u dubini i kružnosti svake pojedinačne tačke - služeći kao temelj za garantiranje omjera stranica (omjer glavne i sporedne ose) od <1,1 i osiguravanje vrhunske čitljivosti.

**Dual-Spot Optics™:** Ključna karakteristika dizajna koja nudi poboljšanu fleksibilnost, ova tehnologija omogućava korisnicima da biraju između dvije različite veličine tačke - u rasponu od 50 µm do 110 µm - putem softverske kontrole unutar istog sistema, čime se prilagođavaju raznim materijalima za označavanje i zahtjevima primjene.

**Osnovne prednosti i specifikacije**

SigmaDSC je konstruiran za rukovanje širokim rasponom supstratnih materijala (uključujući silicijum, silicijum karbid, galijum arsenid, galijum nitrid, staklo, keramiku itd.) i da izdrži zahtjevna okruženja proizvodnje poluprovodnika. Njegovi osnovni parametri performansi su jasno definirani:

**Kategorija karakteristike** | **Detaljan opis / Specifične specifikacije**

**Mogućnost tvrdog označavanja** | **Programabilna kontrola dubine:** Automatski podešava dubinu označavanja, dostižući do 110 µm.

**Tačnost dubine:** ±10%.

**Propusnost:** Do 250 pločica na sat. Preciznost i kompatibilnost | Kompatibilnost i proces: Kompatibilno sa pločicama od 100 mm do 200 mm, kao i panelima od 300 mm/310 mm.

Tačnost označavanja: Unutar područja od 50x50 mm nakon poravnanja pločice, ponovljivost je ±0,125 mm.

Široka primjenjivost: Pogodno za širok spektar materijala, uključujući silicijum (Si), silicijum karbid (SiC), galijum arsenid (GaAs), galijum nitrid (GaN) i druge.

Automatizacija i komunikacija | Potpuno automatizirani rad: Minimizira ručne intervencije i podržava rukovanje otvorenim kasetama.

Interfejs za automatizaciju fabrike: Podržava SECS II/GEM protokole za besprijekornu integraciju u fabričke MES sisteme.

Sveobuhvatno praćenje sistema: Precizno bilježi sve podatke o performansama lasera do nivoa SPC (Statistička kontrola procesa).

Specifikacije hardvera | Tip lasera: Nd:YLF laser u čvrstom stanju s diodnim pumpanjem.

Talasna dužina lasera: 1053 nm.

Lokacija označavanja: Unutar prstenaste trake od 25 mm od ruba pločice, što omogućava postavljanje više grupa oznaka u bilo kojoj orijentaciji.

Operativni sistem: Windows 7 Pro SP1 (32-bit).

Industrijski standardi | SEMI standardi: Potpuno usklađen sa SEMI standardima, podržava specifikacije označavanja kao što su T7, M12 i M13.

Međunarodni certifikati: U skladu sa sigurnosnim i ekološkim standardima, uključujući CE, SEMI S2, S8 i S14.

Ključne funkcije i primjene

SigmaDSC se prvenstveno primjenjuje u okruženjima proizvodnje poluprovodnika gdje je održavanje visoke sljedivosti tokom cijelog životnog ciklusa proizvoda ključno:

Proizvodnja poluprovodničkih pločica na prednjem kraju: Odmah po ulasku u čistu sobu, na pločicu se ugrađuje jedinstveni, trajni ID - ID dizajniran da izdrži rigorozne uslove svih narednih oštrih koraka obrade (kao što je stanjivanje zadnje strane). Ovo služi kao osnova za sljedivost kvalitete i podatke o statističkoj kontroli procesa (SPC) kroz cijeli proizvodni tok - koji obuhvata proizvodnju silicijumskih pločica, livnice i proizvođače integriranih uređaja (IDM).

Napredno pakovanje: Pruža pouzdano identifikaciono označavanje za rekonstituisane pločice ili panele unutar procesa pakovanja na nivou pločice (Fan-out WLP).

**Poređenje komplementarne opreme i proizvodnih linija**

SigmaDSC predstavlja ključnu komponentu unutar ThinkLaserovog sveobuhvatnog rješenja za identifikaciju pločica. SigmaClean sistem koji ste spomenuli služi kao njegov poseban dodatak:

**Karakteristika** | **SigmaDSC (Tvrdo označavanje)** | **SigmaClean (Meko označavanje)**

**Osnovni proces** | Tvrdo označavanje | Meko označavanje

**Ključne prednosti** | Oznake posjeduju fizičku dubinu; sposobne su izdržati najrigoroznije korake naknadne obrade, poput mehaničkog brušenja. | Bez ostataka s ultra visokom čistoćom; ispunjava najstrože zahtjeve čistih soba.

**Tipični scenariji primjene** | Koristi se za pločice koje prolaze kroz "teške" procese - kao što je stanjivanje stražnje strane - kako bi se osigurala trajna sljedivost. | Koristi se u okruženjima za proizvodnju pločica na prednjem kraju gdje su nulta oštećenja površine i izuzetno visoka čistoća od najveće važnosti.

**Sažetak**

ThinkLaser SigmaDSC je potpuno automatizirani sistem laserskog označavanja namijenjen pružanju ultra-izdržljivog "tvrdog označavanja" za pločice od 200 mm. Njegove ključne tehnološke prednosti leže u programabilnoj kontroli dubine, tehnologiji Dual-Spot Optics™ i SECS/GEM interfejsu za potpunu automatizaciju. Koristeći stabilan laserski sistem, kontrolu zatvorene petlje i napredne funkcije automatizacije, osigurava izuzetnu ujednačenost dubine označavanja i kružnost na različitim materijalima podloge. Umjesto obavljanja zadataka čišćenja ili montaže, služi ključnoj funkciji pružanja globalne autentifikacije identiteta za pločice.