Čistač sita SU-3200

SCREEN SU-3200 je revolucionarni sistem za čišćenje pojedinačnih pločica od 300 mm u industriji proizvodnje poluprovodnika. Zahvaljujući vrhunskom protoku i vodećoj tehnologiji čistoće, dugo je služio kao glavni model kompanije SCREEN, podržavajući proizvodnju logičkih i memorijskih čipova od 32nm do 7nm, pa čak i naprednijih čvorova, igrajući ključnu ulogu na tržištu opreme za čišćenje.

Osnovno pozicioniranje i pregled tehnologije: Osnovno pozicioniranje SU-3200 je značajno povećanje protoka čišćenja pojedinačnih pločica uz održavanje izuzetno visoke čistoće, zadovoljavajući ekstremne zahtjeve efikasnosti naprednih procesa.

Dizajn visokog protoka: Zahvaljujući inovativnoj arhitekturi sa četiri sloja, jedan sistem se može konfigurisati sa do 12 nezavisnih procesnih komora, postižući kapacitet obrade do 800 pločica na sat (WPH), što je u to vrijeme bio vodeći svjetski proizvod među sistemima za čišćenje pojedinačnih pločica.

Ultra čisto procesno okruženje: Kako bi se ispunili strogi zahtjevi 22nm i naprednijih čvorova, SU-3200 je opremljen SCREEN-ovom vlasničkom APAC (Advanced Process Atmosphere Control) tehnologijom. Optimizacijom okruženja komore u više dimenzija, osigurava se vrhunska čistoća procesa čišćenja.

Ključni tehnički detalji: Da bi se postigli dvostruki ciljevi protoka i čistoće, SU-3200 koristi niz inovativnih dizajna, detaljno opisanih u donjoj tabeli:

Tehnološka dimenzija | Naziv tehnologije | Osnovna funkcija i metoda implementacije

Revolucionarno poboljšanje kapaciteta | Kompaktna komora | Smanjuje volumen jedne procesne komore na polovinu u odnosu na prethodnika, omogućavajući postavljanje više komora unutar istog prostora, čime se povećava protok po jedinici površine.

Sistem brzog prenosa | Optimizuje logiku prenosa i brzinu pločica između komora, što je ključna podrška za postizanje visokog protoka od 800 pločica/sat (WPH).

Osiguranje čistoće | APAC tehnologija | Tehnologija ultra čistih komora je zajednički termin za niz tehnologija. Njene ključne podtehnologije uključuju:

AMC mikrokomora: Smanjenje unutrašnjeg volumena komore na jednu trećinu u odnosu na prethodni model, omogućava bržu zamjenu plina i efikasno poboljšanje čistoće okoliša.

ABG pregrada za uravnoteženje protoka zraka: Koristi se za ujednačavanje čistog protoka zraka koji uduvava gornji visokoefikasni filter čestica (FFU), sprječavajući vrtloge ili mrtve zone unutar komore i osiguravajući efikasno uklanjanje čestica.

ASP napredna zaštita od prskanja: Precizan dizajn minimizira prskanje hemikalija tokom hemijskog prskanja, osiguravajući čisto okruženje za obradu pločica.

APN mlaznica za zaštitu od zraka: Korištenje "zračne zavjese" tokom faze sušenja kako bi se zaštitila površina pločice i spriječile mrlje od vode uzrokovane ostacima isparavanja tekućine.

Fleksibilna opskrba hemikalijama: Izvori hemikalija mogu se fleksibilno organizirati. Dostupni su i sistemi dinamičkog direktnog ubrizgavanja (DDI) i sistemi kabinetnog tipa, što kupcima omogućava fleksibilan izbor prema specifičnim zahtjevima procesa.

Jednostavnost održavanja: Izvlačna struktura: Procesna komora se može izvući poput ladice radi lakšeg čišćenja, zamjene komponenti i drugih radova na održavanju, čime se efikasno smanjuje vrijeme zastoja opreme. Područja primjene: Od najsavremenijeg istraživanja i razvoja do zrele proizvodnje

SU-3200 ima širok spektar primjena, pokrivajući više ključnih faza proizvodnje poluprovodnika.

Napredni logički i memorijski čipovi: SU-3200 se koristi u istraživanju i razvoju i proizvodnji čipova, uključujući 7nm i naprednije čvorove, kako u front-end (FEOL), tako i u back-end (BEOL) procesima.

Ključni poluprovodnički materijali i procesi: Među mnogim procesima koje podržava je čišćenje poluprovodničkih materijala treće generacije kao što su SiC (silicijum karbid) i GaN (galijum nitrid).

Najsavremenija istraživanja i saradnja u ekosistemu: Snažne performanse SU-3200 čine ga izborom vodećih istraživačko-razvojnih institucija širom svijeta. Na primjer, IBM je implementirao SU-3200 u svom istraživačkom centru za poluprovodnike u Albanyju, New York. Nadalje, SCREEN je sklopio partnerstvo s Applied Materials, instalirajući SU-3200 u svom META centru za razvoj naprednijih procesa čipova.

Tržišna pozicija i historijski doprinosi

SU-3200 nije samo uspješan proizvod, već i ključni faktor u uspostavljanju vodeće pozicije kompanije SCREEN na tržištu.

Dominacija na tržištu: Nakon uspjeha SU-3200, SCREEN je dodatno učvrstio svoju vodeću poziciju u oblasti opreme za čišćenje. Prema zvaničnim podacima SCREEN-a, od jula 2025. godine, ukupne isporuke opreme za čišćenje poluprovodnika premašile su 15.000 jedinica, držeći vodeći globalni tržišni udio u više segmenata, uključujući čišćenje pojedinačnih pločica, čišćenje u serijama i čišćenje centrifugiranjem.

Prihodni stub: Dugo vremena, SU-3200 je bio SCREEN-ov glavni proizvod, a prihod od poslovanja s opremom za čišćenje uveliko je zavisio od ovog modela.