SEMES sredstvo za čišćenje oblatne BLUEICE PRIME

SEMES-ov BLUEICE PRIME je potpuno automatizirani sistem za čišćenje pojedinačnih pločica od 300 mm, dizajniran za proizvodnju logičkih i memorijskih čipova napredne procesne tehnologije (LPT). Razvijen i proizveden od strane SEMES-a, glavnog dobavljača opreme u okviru kompanije Samsung Electronics, ključni je dio opreme za poboljšanje prinosa masovne proizvodnje najsavremenijih procesa kao što je 2nm.

Osnovne performanse: Balansiranje naprednih procesa i kapaciteta

Vrhunske performanse procesa: Sposoban za uklanjanje čestica na nivou od 19 nm, značajno poboljšavajući ujednačenost nagrizanja za preko 40%.

Dizajn visokog kapaciteta: Kao sistem za čišćenje pojedinačnih pločica od 300 mm, obrađuje preko 500 pločica na sat (WPH), efikasno zadovoljavajući zahtjeve masovne proizvodnje velikih razmjera.

Tehničke karakteristike: Višestruki nezavisno razvijeni inovativni dizajni

Inovativni proces s fosfornom kiselinom na visokim temperaturama: Njegov osnovni proces koristi fosfornu kiselinu na visokim temperaturama za nagrizanje i skidanje pločica. Precizna kontrola prskanja i temperature efikasno smanjuje disperziju procesa i stopu defekata, značajno poboljšavajući prinos 2nm čipova.

**Nezavisno razvijena visokotemperaturna stezna glava:** Ova tehnologija poboljšava ujednačenost temperature tokom zagrijavanja pločice, značajno smanjuje nedostatke u procesu i prevazilazi ograničenja tradicionalnih metoda mokrog čišćenja.

**Sveobuhvatna kontrola kontaminacije:** Komora NIC (Non-Interaction Clean) efikasno sprečava unakrsnu kontaminaciju, u kombinaciji sa SF-Aerosol (velika brzina/ujednačene kapljice) tehnologijom za fizičko čišćenje.

**Visoko integrirani inteligentni sistem:** Opremljen APAC-om, AIS-om (sistemom za automatsko otkrivanje) i SEAS-om (sistemom za analizu pametne opreme), postiže preciznu kontrolu protoka i inteligentnu analizu statusa opreme.

**Područja primjene:** Sa sjedištem u Samsungu, pružamo usluge vodećim globalnim klijentima.

BLUEICE PRIME prvenstveno cilja na vodeće globalne ljevaonice logičkih čipova i proizvođače memorije. Iskorištavajući status svoje matične kompanije SEMES kao podružnice Samsung Grupe, ova oprema je duboko integrirana u najnaprednije proizvodne linije Samsungovih wafera. Njihovo rješenje za mokro čišćenje formira kompletan ekosistem s drugom osnovnom opremom za prednji dio, kao što su litografija (OMEGA serija) i nagrizanje (MICHELAN serija). Vrijedi napomenuti da je SEMES proširio svoj poslovni opseg na cijelo područje proizvodnje HBM-a (High Bandwidth Memory), uspješno razvijajući i masovno proizvodeći mašinu za termičko lijepljenje (TC Bonder) za slaganje HBM čipova.

Ukratko, BLUEICE PRIME demonstrira SEMES-ovu izuzetnu tehnološku snagu u oblasti poluprovodničke opreme. To je ključni dio napora Samsung Grupe da učvrsti svoju poziciju globalnog lidera u naprednim procesnim tehnologijama i ključnog alata koji podržava najsavremeniju proizvodnju ispod 2nm.