DISCO mlin za oblatne DFG8541

DISCO DFG8541 je potpuno automatizirana brusilica razvijena da zadovolji potrebe stanjivanja pločica od 8 inča i manje. Kao nadogradnja svog prethodnika, najprodavanijeg DFG8540, može se pozicionirati kao "glavni model za stanjivanje pločica od 8 inča", poznat po svojoj visokoj preciznosti, visokoj čistoći i odličnoj stabilnosti, posebno pogodna za obradu tvrdih i krhkih materijala poput silicijum karbida (SiC).

Slijedi detaljan uvod u njegov princip rada, osnovne funkcije, specifikacije i tržišnu vrijednost.

Princip rada: Sinergija efikasnosti i preciznosti s dvostrukim jezgrom

DFG8541 usvaja arhitekturu "dvostrukog vretena i tri vakuumske čašice".

Jasna podjela rada: Jedno vreteno nosi grubi brusni točak za brzo uklanjanje glavnog materijala sa stražnje strane pločice; drugo vreteno nosi fini brusni točak za finu završnu obradu površine, postižući gladak, ravan i konačni rezultat bez oštećenja.

Visoko efikasan proces: Pločica se vakuumski adsorbira na radni sto. Preciznim planiranjem procesa postiže se potpuno automatizovani tijek rada "jednokratno stezanje, kontinuirana obrada", čime se izbjegavaju rizici od kontaminacije i oštećenja uzrokovanih prenosom materijala između različitih uređaja.

Primjene i uloge: Iznad silikona

Kao uređaj opšte namjene, igra ključnu ulogu u oblasti poluprovodnika treće generacije.

Osnovni zadatak: Stanjivanje pločica (Si/SiC) od 8 inča i manjih do ciljanih debljina, osiguravajući izvrsnu ujednačenost debljine (TTV) i uklanjajući površinske oštećene slojeve uzrokovane prethodnim procesima.

Novi oslonac: Odabirom vretena visokog obrtnog momenta, DFG8541 može stabilno obrađivati ​​materijale ultra visoke tvrdoće poput SiC-a. To je glavni razlog zašto je veoma popularan na trenutnom tržištu energetskih poluprovodnika.

Pregled ključnih parametara

Kategorija parametra | Specifične specifikacije

Primjenjivi radni komadi: Φ8 inča (200 mm) i manje; kompatibilno s pločicama Φ4, 5, 6 i 8 inča pomoću univerzalne stezne glave

Metoda brušenja: Rotacijsko uzdužno brušenje s uvlačenjem

Konfiguracija vretena: Dvostruka vretena (2 ose), vreteno sa zračno-hidrostatičkim ležajem (standardno)

Brzina vretena: 1.000 - 7.000 o/min

Snaga vretena: Standardno 4,2 kW

Konfiguracija radnog stola: Tri radna stola (3 stezna stola)

Specifikacije brusnog kotača: Dijamantski brusni kotač Φ200 mm

Dimenzije opreme (Š x D x V): približno 1.100 × 2.800 × 1.800 mm

Težina opreme: cca. 3.000 kg

Ključne funkcije i karakteristike

DFG8541 predstavlja značajno unapređenje u odnosu na DFG8540.

Detaljan opis karakteristika/funkcija

Vrhunske mogućnosti čišćenja: Višenamjenske mlaznice s dvije tekućine: U usporedbi s tradicionalnim čišćenjem zrakom i vodom, ovo snažno uklanja fine čestice prašine koje se lijepe za pločicu nakon brušenja. Ova tehnologija se široko koristi u osnovnim radnim stanicama kao što su vakuumske čašice i radni komadi, učinkovito smanjujući rizik od loma tanke pločice.

Beskontaktno poravnanje: Koristi kameru za lociranje središta pločice, zamjenjujući fizički kontakt i eliminirajući ogrebotine ili oštećenja rubova tokom procesa poravnanja.

Inteligentna proizvodnja: Recept po pločici: Omogućava automatsku obradu različitih pločica unutar iste kasete za pločice prema njihovim odgovarajućim unaprijed postavljenim receptima (debljina mljevenja, brzina itd.), savršeno se prilagođavajući proizvodnji više vrsta i malih serija.

Funkcije zaštite pločice: Integrira više mehanizama zaštite, uključujući mapiranje pločice (zaštita od neusklađenosti/prazne pločice), prethodnu inspekciju debljine (zaštita od dvostrukog lijepljenja trake) i vakuumsko držanje (alarm za iznenadni nestanak napajanja), osiguravajući sigurnost visokovrijednih pločica.

Električno podesiva korekcija nagiba: Nagib vakuumske čašice može se električno fino podesiti putem vrijednosti na ekranu, optimizirajući oblik obrade i smanjujući ručno vrijeme zastoja za kalibraciju.

Značajno poboljšana upotrebljivost: Veći grafički korisnički interfejs na 19-inčnom ekranu: U poređenju sa 15-inčnim ekranom modela DFG8540, ekran nije samo veći, već ima i intuitivan grafički korisnički interfejs.

Optimizovano održavanje: Poboljšana unutrašnja struktura čišćenja olakšava održavanje.

Ušteda energije i kompaktan dizajn: Novo zračno vreteno smanjuje potrošnju zraka za 50%; ugrađeni dizajn vakuumske pumpe smanjuje zauzetu površinu za 15% u usporedbi s prethodnikom, postižući ekološke uštede i u hardveru i u radu.

Pozicioniranje na tržištu i vrijednost: U poređenju sa vodećim modelom DGP8761 koji cilja na tržište od 12 inča, DFG8541 se više fokusira na tržište od 8 inča, što ga čini tipičnom vodećom mašinom "visokih performansi i isplativosti":

Pozicioniranje performansi: DFG8541 je mjerilo performansi za brusilice od 8 inča. Odabirom vretena visokog obrtnog momenta, uspješno savladava izazove stanjivanja tvrdih i krhkih materijala poput SiC-a, učvršćujući svoju apsolutnu prednost na tržištu brusilica od 8 inča.

Investiciona vrijednost: Kao stabilna nadogradnja zrele platforme, pouzdana je u smislu dugoročnog stabilnog rada i kontinuirane proizvodnje, što je čini visoko efikasnim, niskorizičnim i pouzdanim izborom za ulaganje u opremu proizvodne linije od 8 inča. Vodeći domaći univerziteti (kao što je Univerzitet Xi'an Jiaotong) već su kupili ovu opremu za najsavremenija istraživanja.

Zahtjevi za održavanje i instalaciju: Da bi se osigurao dugoročan stabilan i visokoprecizan rad DFG8541, neophodno je strogo pridržavanje DISCO zahtjeva za okruženje instalacije:

Čistoća okoline: Mora biti instaliran u čistoj prostoriji s visokim stupnjem čistoće. Temperatura okoline mora biti stabilna na 20-25℃, s kontroliranim fluktuacijama unutar ±1℃. Relativna vlažnost zraka obično mora biti ispod 55%.

Napajanje:

Komprimovani vazduh: Potreban je čist, suv i bezuljni komprimovani vazduh visoke čistoće, pod pritiskom od 0,5 MPa ili više.

Električna energija: Potrebno je trofazno napajanje koje odgovara zahtjevima opreme za napajanje.

Voda za hlađenje: Za hlađenje vretena potrebna je deionizirana voda (DI voda) sa stabilnim protokom i konstantnom temperaturom. Temperatura vode obično treba odgovarati sobnoj temperaturi s minimalnim temperaturnim fluktuacijama.

Redovna inspekcija i zamjena brusnih ploča, čišćenje vakuumskih steznih glava i održavanje zračnog vretena ključni su za produženje vijeka trajanja opreme i osiguranje prinosa obrade.

Ukratko, DISCO DFG8541 je zrelo i pouzdano rješenje za stanjivanje 8-inčnih pločica. Postiže vodeće performanse u industriji u svojim ključnim područjima i sveobuhvatno je optimiziran za automatizaciju, čistoću i jednostavnost korištenja kako bi zadovoljio potrebe moderne proizvodnje.