Почистващ препарат за вафли SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME на SEMES е 300-милиметрова напълно автоматизирана система за почистване на единични пластини, предназначена за производство на логика и чипове за памет с усъвършенствани технологични процеси (LPT). Разработена и произведена от SEMES, основен доставчик на оборудване към Samsung Electronics, тя е ключово оборудване за подобряване на добивите при масово производство на авангардни процеси като 2nm.

Основна производителност: Балансиране на усъвършенствани процеси и капацитет

Превъзходна производителност на процеса: Способен е да премахва частици на ниво 19 nm, което значително подобрява равномерността на ецването с над 40%.

Дизайн с висока ефективност: Като 300 мм система за почистване на единични пластини, тя обработва над 500 пластини на час (WPH), ефективно отговаряйки на изискванията на мащабното масово производство.

Технически характеристики: Множество независимо разработени иновативни дизайни

Иновативен процес с високотемпературна фосфорна киселина: Основният процес използва високотемпературна фосфорна киселина за ецване и оголване на пластини. Прецизният контрол на пръскането и температурата ефективно намалява дисперсията на процеса и процента на дефекти, като значително подобрява добива на 2nm чипове.

**Независимо разработен високотемпературен патронник:** Тази технология подобрява равномерността на температурата по време на нагряване на пластините, значително намалява дефектите в процеса и преодолява ограниченията на традиционните методи за мокро почистване.

**Цялостно контролиране на замърсяването:** Камерата NIC (Non-Interaction Clean) ефективно предотвратява кръстосано замърсяване, комбинирана с технологията SF-Aerosol (високоскоростна/равномерна капка) за физическо почистване.

**Високо интегрирана интелигентна система:** Оборудвана с APAC, AIS (система за автоматично разпознаване) и SEAS (система за интелигентен анализ на оборудване), тя постига прецизен контрол на потока и интелигентен анализ на състоянието на оборудването.

**Области на приложение:** Базирана в Samsung, обслужваща водещи световни клиенти.

BLUEICE PRIME е насочена предимно към водещи световни производители на логически чипове и памет. Възползвайки се от статута на компанията майка SEMES като дъщерно дружество на Samsung Group, това оборудване е дълбоко интегрирано в най-модерните производствени линии на Samsung за производство на пластини. Решението му за мокро почистване образува цялостна екосистема с друго основно оборудване, като литография (серия OMEGA) и ецване (серия MICHELAN). Заслужава да се отбележи, че SEMES разшири обхвата си на дейност до цялата област на производство на HBM (High Bandwidth Memory), като успешно разработи и произвежда масово машина за термично свързване (TC Bonder) за подреждане на HBM чипове.

В обобщение, BLUEICE PRIME демонстрира дълбоката технологична мощ на SEMES в областта на полупроводниковото оборудване. Това е ключова част от усилията на Samsung Group да затвърди позицията си на световен лидер в напредналите технологични процеси и ключов инструмент в подкрепа на авангардно производство под 2nm.