ACCRETECH Probe Station UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX er en elektrisk signaldetektionsenhed for hver chip på hver wafer, designet til at sikre kvaliteten af ​​halvlederprodukter. Enheden bruger næste generations teknologi, som markant forbedrer produktionskapaciteten gennem nye algoritmer og waferhåndteringsteknologi. Dens højhastigheds- og støjsvage X- og Y-akseplatforme nyder godt af det nye drivsystem, mens Z-aksen sikrer belastningskapacitet og høj præcision i verdensklasse. Enhedens designstruktur eliminerer pålideligt kraften på flyet gennem den gode kombination af optimalt strukturelt design og topologi. Derudover gør det avancerede OTS-positionsbehandlingssystem og farvewafer-billedjusteringssystem, samt den lille maksimale forstørrelsesfunktion udstyret, UF3000EX til en højpræcis og funktionsdygtig enhed i branchen.

Hovedtræk

Høj hastighed og lav støj: Det nye drivsystem får X- og Y-akseplatformene til at køre effektivt og støjsvagt.

Høj præcision: Z-aksen sikrer belastningskapacitet og høj præcision i verdensklasse.

Strukturel optimering: Kraften på flyet elimineres gennem den gode kombination af optimalt strukturelt design og topologi.

Avanceret positioneringssystem: Udstyret med avanceret OTS-positionsbehandlingssystem og farvewafer-billedjusteringssystem med lille maksimal forstørrelsesforstørrelsesfunktion.

Kompatibilitet: Velegnet til wafere med stor diameter (φ300 mm, op til 12 tommer), med automatisk styresystem, højpræcisionsdetektion, høj gennemstrømning, lav vibration osv.

Ansøgningsfelt

UF3000EX sondestation er meget udbredt i wafertest i halvlederfremstillingsprocessen, især i produktionslinjerne i LSI og VLSI, som kan give effektiv og nøjagtig elektrisk signaldetektion for at sikre produktkvalitet og produktionseffektivitet