SEMES waferrenser BLUEICE PRIME

SEMES' BLUEICE PRIME er et 300 mm fuldautomatisk enkeltwafer-rensesystem designet til avanceret procesteknologi (LPT) logik og hukommelseschipproduktion. Det er udviklet og fremstillet af SEMES, en kerneudstyrsleverandør under Samsung Electronics, og er et vigtigt stykke udstyr til at forbedre masseproduktionsudbyttet af banebrydende processer som 2nm.

Kernepræstation: Balancering af avancerede processer og kapacitet

Overlegen procesydelse: Kan fjerne partikler på 19 nm-niveau, hvilket forbedrer ætsningsensartetheden betydeligt med over 40%.

Højeffektiv kapacitetsdesign: Som et 300 mm enkeltwafer-rengøringssystem håndterer det over 500 wafers i timen (WPH) og opfylder dermed effektivt kravene til storskala masseproduktion.

Tekniske funktioner: Flere uafhængigt udviklede innovative designs

Innovativ højtemperaturfosforsyreproces: Kerneprocessen anvender højtemperaturfosforsyre til waferætsning og -stripping. Præcis kontrol af sprøjtning og temperatur reducerer effektivt processpredning og defektrater, hvilket forbedrer 2nm chipudbyttet betydeligt.

**Uafhængigt udviklet højtemperaturpatron:** Denne teknologi forbedrer temperaturensartetheden under waferopvarmning, reducerer procesfejl betydeligt og overvinder begrænsningerne ved traditionelle vådrensningsmetoder.

**Omfattende kontamineringskontrol:** NIC-kammeret (Non-Interaction Clean) forhindrer effektivt krydskontaminering kombineret med SF-Aerosol-teknologi (højhastigheds-/ensartede dråber) til fysisk rengøring.

**Stærkt integreret intelligent system:** Udstyret med APAC, AIS (automatisk detektionssystem) og SEAS (smart udstyrsanalysesystem) opnår det præcis flowkontrol og intelligent analyse af udstyrets status.

**Anvendelsesområder:** Baseret hos Samsung, der betjener førende globale kunder.

BLUEICE PRIME henvender sig primært til førende globale logikchipstøberier og hukommelsesproducenter. Ved at udnytte moderselskabet SEMES' status som et datterselskab af Samsung Group er dette udstyr dybt integreret i Samsungs mest avancerede waferfabrikationsproduktionslinjer. Dets vådrensningsløsning danner et komplet økosystem med andet kerneudstyr, såsom litografi (OMEGA-serien) og ætsning (MICHELAN-serien). Det er værd at bemærke, at SEMES har udvidet sit forretningsområde til hele HBM-produktionsområdet (High Bandwidth Memory) og med succes har udviklet og masseproduceret en termisk bindingsmaskine (TC Bonder) til HBM-chipstacking.

Kort sagt demonstrerer BLUEICE PRIME SEMES' store teknologiske styrke inden for halvlederudstyr. Det er en afgørende del af Samsung Groups bestræbelser på at styrke sin position som en global leder inden for avancerede procesteknologier og et nøgleværktøj, der understøtter banebrydende produktion under 2nm.