ޑިސްކޯ ޑީއެފްޖީ8830 ވޭފަރ ގްރައިންޑަރ

ޑިސްކޯ ޑީއެފްޖީ8830 އަކީ ޖަޕާނުގެ ޑިސްކޯ ކޯޕަރޭޝަނުން ތައާރަފްކުރި ހަރު އަދި ފަޅައިގެންދާ ތަކެތި ފުރިހަމައަށް އޮޓޮމެޓިކްކޮށް ތުނިކޮށް ޕޮލިޝް ކުރާ މެޝިނެކެވެ. އޭގެ މައިގަނޑު ފޯކަސް އަކީ ތިންވަނަ ޖީލުގެ ސެމީކޮންޑަކްޓަރ/އޮޕްޓިކަލް ހާޑް އަދި ބްރިޓްލް މެޓީރިއަލްސް ކަމަށްވާ ސިސީ އަދި ސެފަޔަރ ފަދަ ތަކެތި ރަނގަޅަށް، ގެއްލުން ކުޑަ ތުނިންގ އަށެވެ. 4 އެކްސިސް، 5 ސްޓޭޖް އަރކިޓެކްޗަރ އެއް އެކުލެވޭ މި މެޝިނަކީ ހައި ތްރޫޕުޓާއި ހައި ޕްރެސިޝަން ބެލެންސް ކުރާ އެއްޗަކަށް ވާތީ، 6-8 އިންޗީގެ ހަރު އަދި ބްރިޓްލް ވޭފަރސް ތުނިކުރުމަށް މެއިންސްޓްރީމް މެޝިނަކަށް ވެގެންދެއެވެ.

އައި.ކޯރ ޕޮޒިޝަނިންގ އެންޑް އެޕްލިކޭޝަން ސީނަރީސް

1. ކޯރ ޕޮޒިޝަނިންގ

ޕްރޮސެސިންގ އެފިޝަންސީ ދަށްވުމާއި، ގެއްލުން ބޮޑުވުމާއި، ސަގާފީ ސާމާނުގެ އުފެއްދުންތެރިކަން ކުޑަވުމުގެ ވޭން ޕޮއިންޓްތައް ހައްލުކޮށްދޭ، ހައި-ހަރޑްނެސް، ހައި-ބްރިޓްލް މެޓީރިއަލްސް (SiC، ސެފަޔަރ، ސެރަމިކްސް، ބިއްލޫރި ފަދަ) އަށް ޚާއްޞަކޮށް ފަރުމާކޮށްފައިވާ ފުލް އޮޓޮމެޓިކް ޕޮލިޝިންގ އަދި ތިންނިންގ މެޝިނެކެވެ.

2. އާދައިގެ އެޕްލިކޭޝަންތައް

ސެމީކޮންޑަކްޓަރސް: SiC/GaN ޕަވަރ ވޭފަރސް (6-8 އިންޗި) ތުނިކުރުން، ސެފަޔަރ ސަބްސްޓްރޭޓްސް (އެލްއީޑީ ޗިޕްސް) ތުނިކުރުން.

އޮޕްޓިކްސް: އޮޕްޓިކަލް ބިއްލޫރި، ސެރަމިކް ސަބްސްޓްރޭޓް، އަދި އިންފްރާރެޑް މެޓީރިއަލްސް ތުނިކުރުން.

އެޑްވާންސްޑް ޕެކޭޖިންގ: ބިއްލޫރި/ސެރަމިކް ސަޕޯޓް ސަބްސްޓްރޭޓްސް (ޖުމްލަ ބޯމިން ≤ 3.5އެމްއެމް) އިން ކޮމްޕޮޒިޓް ވޭފަރސް ތުނިކުރުން.

3. އެއްގޮތްވާ ސައިޒުތައް

ޕްރޮސެސްޑް ވޭފަރސް: Φ4/5/6 އިންޗި (ގިނަވެގެން Φ150އެމްއެމް) އެވެ.

ސަޕޯޓިންގ ސަބްސްޓްރޭޓްސް: Φ5/6/8 އިންޗި (6 އިންޗީގެ ވޭފަރސް އަށް ސަޕޯޓްކުރާ 8 އިންޗީގެ ސަބްސްޓްރޭޓްސް އާއި ގުޅޭ) އެވެ.

II. ޖުމްލަ ސްޓްރަކްޗަރ އަދި ކޯރ ކޮންފިގްރޭޝަން

1. ޖުމްލަ އާކިޓެކްޗަރ

ލޭއައުޓް: 4 ސްޕިންޑްލް + 5 ޗަކް ޓޭބަލް + 1 ރޮޓޭރީ ޓޭބަލް، ލޯޑިންގ، ގްރައިންޑް، ކްލީނިންގ، ޑްރައިއިން، އަދި އަންލޯޑިންގ ގެ މުޅި ޕްރޮސެސް އިންޓަގްރޭޓްކޮށް، އެންމެ 3.5 މީޓަރު ހިފެހެއްޓި، ކޮމްޕެކްޓް އަދި އެފިޝަންޓް.

ޑިމައިންސް (ޑަބްލިއު×ޑީ×އެޗް): 1400×2500×2000އެމްއެމް؛ ބަރުދަން: ގާތްގަނޑަކަށް 6000ކިލޯ އެވެ.

2. ކޯރ ކޮމްޕޮނެންޓްސް

(1) ސްޕިންޑްލް ސިސްޓަމް (4 އެކްސް، ޒެޑް1-ޒެޑް4)

ޕަވަރ: ޒެޑް1-ޒެޑް3 އަކީ 6.3ކިލޯވޮޓް (މަތީ ރިޖިޑިޓީ، މަތީ ޓޯކް، ހަރު އަދި ފަޅައިގެންދާ ތަކެތީގެ މައްޗަށް ބޮޑެތި ލޯޑްތަކަށް އެކަށީގެންވާ)؛ ޒެޑް4 އަކީ ފިނިޝިންގ އެކްސިސް އެވެ. އެނބުރޭ ސްޕީޑް: 1000-4000 މިނިޓް−1 (ކޮންސްޓަންޓް ޕަވަރ އައުޓްޕުޓް، ރަފް/ފައިން ގްރައިންޑިންގ އަށް އެކަށީގެންވާ) އެވެ.

ގްރައިންޑިންގ ވީލް: ސްޓޭންޑަރޑް Φ300އެމްއެމް ޑައިމަންޑް ގްރައިންޑިންގ ވީލް (ބޮޑު ދިގުމިނެއް، ރިމޫވަލް ރޭޓް މަތި، ހަރު އަދި ފަޅައިގެންދާ ތަކެތި ބޭނުންކުރުމަށް އެކަށީގެންވާ) އެވެ.

(2) ވޯކްޓޭބަލް ސިސްޓަމް

5 ވެކިއުމް ސަކްޝަން ކަޕް ވޯކްޓޭބަލް އަދި 1 ރޮޓޭރީ ޓޭބަލް ޕެރެލަލް ޕްރޮސެސިންގ އަދި ކޮންޓިނިއުއަސް އޮޕަރޭޝަން ކުރެވޭއިރު، ސިންގަލް އެކްސިސް އިކުއިޕްމަންޓް (DFG8340 ފަދަ) ގެ ތިންގުނަ ޔޫޕީއެޗް (ގަޑިއަކު މަތީ ކެޕޭސިޓީ) އެއް ލިބިގެންދެއެވެ.

ވޭކިއުމް އެޑްސޮޕްޝަން + ޕޮޒިޝަނިންގ އެކިއުރެސީ ±2μm އިން ކަށަވަރުކޮށްދެނީ ތުނިކުރުމަށްފަހު ވޭފާގެ ޓީޓީވީ (ޓޯޓަލް ތުކްނެސް ޑިވިއޭޝަން) ≤2μm ކަމެވެ.

(3) ކޮންޓްރޯލް ސިސްޓަމް

އޮޕަރޭޓިން އިންޓަފޭސް: 15 އިންޗީގެ ޓަޗް ޖީއައި، އައިކޮން އަށް ބިނާކޮށް އޮޕަރޭޝަން ކުރާއިރު، ރިއަލް ޓައިމް މޮނިޓަރިން، ޕެރެމިޓަރ ސްޓޯރޭޖް، އަދި އާދަޔާ ހިލާފު އެލާމްތަކަށް ސަޕޯޓް ކުރެ އެވެ.

ކޮންޓްރޯލް ކޯރ: ހައި-ޕްރެސިޝަން ސާރވޯ + ގްރޭޓިންގ ކްލޯޒްޑް-ލޫޕް، ތުކްނެސް ކޮންޓްރޯލް އެކިއުރެސީ ±0.1μm، މައިކްރޯން ލެވެލް ތިންނިންގ (50μm އަށް ތިރިއަށް) އަށް ސަޕޯޓްކުރެއެވެ. 3. ކީ މޮޑިއުލްސް

ގްރައިންޑިންގ މޮޑިއުލް: 4 އެކްސިސް ޑިވިޝަން އޮފް ލޭބަރ (Z1 ރަފް ގްރައިންޑިންގ → Z2 މީޑިއަމް ގްރައިންޑިންގ → Z3 ފައިން ގްރައިންޑިންގ → Z4 ޕޮލިޝިންގ/ފިނިޝިންގ)، އެއް ކްލެމްޕިންގ ގައި އެތައް ޕްރޮސެސްއެއް ފުރިހަމަކޮށް، ހެންޑްލިންގ އަށް ލިބޭ ގެއްލުން ކުޑަކުރުން.

ސާފުކުރުމާއި ހިއްކުމުގެ މޮޑިއުލް: ސެމީކޮންޑަކްޓަރ ސާފުތާހިރުކަމުގެ ޝަރުތުތައް ފުރިހަމަވާ ގޮތަށް ގްރައިންޑް ކުރުމަށްފަހު ސާފު ފެން ސްޕްރޭކުރުން + އަޔަން އެއަރ ޑްރައިކުރުން، އެއްވެސް ބާވަތެއްގެ ރެސިޑިއުއެއް ނުވަތަ ވޯޓަރމާރކެއް ނުބާއްވާ.

އޮޓޮމެޓިކް ލޯޑިންގ އެންޑް އަންލޯޑިންގ: ޑައުއަލް މެޓީރިއަލް ބޮކްސް (ފޮށިގަނޑަކަށް 25 ވޭފަރ)، އޮޓޮމެޓިކުން ވޭފަރ/ސަބްސްޓްރޭޓް ދެނެގަނެ، މެނުއަލް އިންޓަރވެންޝަން މަދުކުރުން.

III. ވޯކިންގ ޕްރިންސިޕަލް އަދި ޕްރޮސެސް ފްލޯ

1. ގްރައިންޑިންގ ޕްރިންސިޕަލް

ވޭފަރ ރޮޓޭޝަން + އިން-ފީޑް ގްރައިންޑިންގ މެތޯޑް ބޭނުންކުރެއެވެ: ވޭފަރ ވޯކްޓޭބަލް އާއި އެކު ބާރު ސްޕީޑެއްގައި އެނބުރޭއިރު، ޑައިމަންޑް ގްރައިންޑިންގ ވީލް އެކްސިއަލްކޮށް ފީޑްކޮށް، އެބްރޭސިވް ކަޓިންގ + މައިކްރޯ ފްރެކްޗަރ މެދުވެރިކޮށް މެޓީރިއަލް ނައްތާލައެވެ. ހަރު އަދި ފަޅައިގެންދާ މާއްދާތަކަށް، ބްރިޓްލް ނައްތާލުމަކީ ޕްރައިމަރީ މެތެޑެވެ، ޕްލާސްޓިކް ނައްތާލުމުން ސަޕްލިމެންޓްކޮށް، ރެނދުގެ އަޑި ≤5μm ކޮންޓްރޯލް ކުރުމެވެ.

2. ސްޓޭންޑަރޑް ޕްރޮސެސް ފްލޯ

ލޯޑިންގ: ރޮބޮޓިކް އަތެއް މެޓީރިއަލް ފޮށިން ވޭފަރ ނަގައިގެން → ޕޮޒިޝަން ކުރަނީ → ވޭކިއުމް އިން ވޯކްޓޭބަލް އަށް އެޑްސޮރބް ކުރެއެވެ.

ކޯސް ގްރައިންޑިންގ (Z1): ރިމޫވަލް ރޭޓް މަތި (50-100μm/min)، ޓާގެޓް ތުކްނެސް + 20μm އަށް ހަލުވިކަމާއެކު ތުނިވުން.

މީޑިއަމް ގްރައިންޑިންގ (Z2): މީޑިއަމް ރިމޫވަލް ރޭޓް (20-50μm/min)، ހަލާކުވެފައިވާ ފަށަލަ ޓާގެޓް ތުކްނެސް + 5μm އަށް ދަށްކުރުން.

ފައިން ގްރައިންޑިންގ (Z3): ރިމޫވަލް ރޭޓް ދަށް (5-10μm/min)، ޓީޓީވީ ≤ 2μm، ހަލާކުވެފައިވާ ފަށަލަ ≤ 2μm.

ޕޮލިޝިންގ/ސަރފޭސް ފިނިޝިންގ (Z4): މިރޯ ފިނިޝިންގ، ސަރފޭސް ރަފްނެސް Ra ≤ 0.1μm.

ސާފުކުރުމާއި ހިއްކުން: ސާފު ފެން ސްޕްރޭ → އަޔަން އެއަރ ޑްރައިއިން → މެޓީރިއަލް ފޮށްޓަށް އަންލޯޑްކުރުން.

3. ސަޕޯޓް ސަބްސްޓްރޭޓް ޕްރޮސެސިންގ ފްލޯ: ބިއްލޫރި/ސެރަމިކް ސަބްސްޓްރޭޓް ކޮމްޕޮޒިޓް ވޭފަރސް (ޖުމްލަ ތުނިމިން ≤ 3.5އެމްއެމް) އަށް އެޑެޕްޓްވެ، ސަބްސްޓްރޭޓްގެ ވޭކިއުމް އެޑްސޮޕްޝަން އިން ވޭފަރުގެ ކުރިމަތީ ފަރާތް ރައްކާތެރިކޮށް، ހަމައެކަނި ފަހަތު ފަރާތް ގްރައިންޑްކޮށް، އަލްޓްރާ ތިން ވޭފަރސްގެ ވާރޕިންގ އަދި ބްރޭކޭޖް މައްސަލަތައް ހައްލުކުރެއެވެ.

IV. ކޯރ ޓެކްނޮލޮޖިކަލް އެޑްވާންޓޭޖްސް

1. ހަރު އަދި ބްރިޓްލް މެޓީރިއަލްސް އަށް ވަރުގަދަ އެޑެޕްޓޭބިލިޓީއެއް

ހައި-ޕަވަރ ސްޕިންޑްލް (6.3ކިލޯވޮޓް) + ބޮޑު ދިގުމިނުގެ ޑައިމަންޑް ގްރައިންޑިންގ ވީލް، ސިސީ/ސެފަޔަރ ޕްރޮސެސިންގ އެފިޝަންސީ 3 ގުނަ އިތުރުކޮށް، ފުރޮޅުލީ އުޅަނދުގެ އުމުރު %50 އިތުރުކޮށްދެއެވެ.

ލޯ-ޑޭމަޖް ގްރައިންޑިންގ ޕްރޮސެސް: ޑޭމަޖް ލޭޔަރ ≤2μm، ޔީލްޑް ≥99%، ސަގާފީ ލެޕިންގ ޕްރޮސެސްތަކަށްވުރެ މާ މަތީގައެވެ.

2. ހައި-އެފިޝަންސީ ޕްރޮޑަކްޝަން ކެޕޭސިޓީ (4 އެކްސް، 5 ވޯކްޓޭބަލް) .

ޕެރެލަލް ޕްރޮސެސިންގ: 4 އެކްސް އެއްފަހަރާ މަސައްކަތްކުރާ، 5 ވޯކްޓޭބަލް މެދުނުކެނޑި އެނބުރޭ، UPH≥30 ވޭފަރ (6 އިންޗި SiC)، ސިންގަލް އެކްސިސް އިކުއިޕްމަންޓްގެ 3 ގުނަ.

ފުރިހަމައަށް އޮޓޮމެޓިކް: އިންޓަގްރޭޓެޑް ލޯޑިންގ، އަންލޯޑިންގ، ގްރައިންޑް، ކްލީނިންގ، އަދި ޑްރައިއިން؛ 24 ގަޑިއިރު ވަންދެން ބެލެހެއްޓުމެއް ނެތި މެދުނުކެނޑި ހިންގުން.

3. މަތީ ޕްރެސިޝަން އަދި މަތީ ސްޓެބިލިޓީ

ތުކްނެސް ކޮންޓްރޯލް: ±0.1μm، TTV≤2μm، އޮޓޯމޯޓިވް ގްރޭޑް SiC ވޭފަރ ރިކުއަރމަންޓްސް ފުރިހަމަވާ.

ރިޖިޑް ސްޓްރަކްޗަރ: ކާސްޓް އަޔަން ބޮޑީ + ވައިބަރޭޝަން ޑެމްޕިންގ ޑިޒައިން، ވައިބަރޭޝަން ≤0.5μm، ދިގުމުއްދަތަކަށް އޮޕަރޭޝަން ކުރާއިރު އޭކިއުރެސީގައި ޑްރިފްޓް އެއް ނެތް. 4. ފްލެކްސިބަލް އެޑަޕްޓެބިލިޓީ އަދި ލޯ އޮޕަރޭޓިންގ ކޮސްޓްސް

މަލްޓި ސައިޒް ކޮމްޕެޓިބިލިޓީ: 6 އިންޗީގެ ވޭފަރސް އަދި 8 އިންޗީގެ ސަބްސްޓްރޭޓްތަކާ އެއްގޮތްވާތީ، މަލްޓި ޕާޕަސް ބޭނުންކުރުމުގެ ފުރުސަތު ލިބި، އިކުއިޕްމަންޓް އިންވެސްޓްމަންޓް މަދުކުރެވޭނެއެވެ.

ގްރީން ޕްރޮސެސިންގ: ބޭނުންކުރަނީ ހަމައެކަނި ސާފު ފެން، ޕޮލިޝިންގ ސްލަރީ ތަޣައްޔަރުވުން ނައްތާލާ؛ ކުނި ސީދާ ދޫކުރެވޭއިރު، އޮޕަރޭޓިން ހަރަދު %30 ކުޑަވެގެންދެއެވެ.

V. ކީ ޓެކްނިކަލް ޕެރަމިޓަރސް ތާވަލް

ޓޭބަލް ޕެރެމިޓަރ ވެލިއު

ޕްރޮސެސިންގ ވޭފަރ ސައިޒް Φ4/5/6 އިންޗި (ގިނަވެގެން Φ150mm)

ސަޕޯޓް ސަބްސްޓްރޭޓް ސައިޒް Φ5/6/8 އިންޗި

ސްޕިންޑްލްސްގެ އަދަދު / ޕަވަރ 4 އެކްސް، ޒެޑް1-ޒެޑް3: 6.3ކިލޯވޮޓް

ސްޕިންޑްލް ސްޕީޑް 1000-4000މިނިޓް−1

ގްރައިންޑިންގ ވީލް ސްޕެސިފިކޭޝަން Φ300mm ޑައިމަންޑް ގްރައިންޑިންގ ވީލް

ތުކްނެސް ކޮންޓްރޯލް އެކިއުރެސީ ±0.1μm

ޓީޓީވީ (ޓޯޓަލް ތުކްނެސް ޑިވިއޭޝަން) ≤2μm

ސަރަހައްދުގެ ރަފްނެސް Ra≤0.1μm

ކެޕޭސިޓީ (6 އިންޗީގެ SiC) UPH≥30 ވޭފަރސް

ޖުމްލަ މެޝިންގެ ޑިމައިންސް (ޑަބްލިއު×ޑީ×އެޗް) 1400×2500×2000އެމްއެމް އެވެ

ބަރުދަން ގާތްގަނޑަކަށް. 6000ކިލޯ އެވެ

ފްލޯރ އޭރިއާ 3.52

VI. އެއްގޮތް ސާމާނާ އަޅާކިޔުން (DFG8830 vs DFG8340)

ތާވަލް އަޅާކިޔުމުގެ ތަކެތި DFG8830 (4 އެކްސް، 5 ވޯކްޓޭބަލް) DFG8340 (1-އެކްސިސް، 2-ސްޓޭޖް)

ސްޕިންޑްލް ކޮންފިގްރޭޝަން: 4×6.3ކިލޯވޮޓް، ރަފިންގ/ފިނިޝިންގ/ޕޮލިޝިންގ ޑިވިޝަން: 1×4.2ކިލޯވޮޓް، ސިންގަލް ޕްރޮސެސް

ކެޕޭސިޓީ: UPH≥30 ވޭފަރ (6 އިންޗީގެ SiC)، UPH≤10 ވޭފަރ (6 އިންޗީގެ SiC)

ޕްރޮސެސިންގ އެކިއުރެސީ: ޓީޓީވީ≤2μm، ޑެމޭޖް ލޭޔަރ≤2μm، ޓީޓީވީ≤5μm، ޑެމޭޖް ލޭޔަރ≤5μm

އެކަށީގެންވާ ތަކެތި: SiC، ސެފަޔަރ، ކޮމްޕޮޒިޓް ވޭފަރސް (ސަބްސްޓްރޭޓް އާއި އެކު)، ސިލިކަން ވޭފަރސް، ލޯ-ހަރޑްނެސް ސެރަމިކްސް

ލެގަސީ: 3.5 މީޓަރު، 2 މީޓަރު

އެޕްލިކޭބަލް މަންޒަރުތައް: މާސް ޕްރޮޑަކްޝަން، ހައި-ހަރޑްނެސް އަދި ބްރިޓްލް މެޓީރިއަލްސް؛ ކުޑަ ބެޗް، ސިލިކަން ވޭފަރސް/ލޯ-ހަރޑްނެސް މެޓީރިއަލްސް

VII. ޚުލާސާއާއި ސިނާޢަތުގެ އަގު

4 އެކްސިސް، 5 ސްޓޭޖް އަރކިޓެކްޗާ، ހައި ޕަވަރ ސްޕިންޑްލް، އަދި ލޯ ޑޭމަޖް ޕްރޮސެސް އެކުލެވޭ ޑިސްކޯ ޑީއެފްޖީ8830 އަކީ ތިންވަނަ ޖީލުގެ ސެމީކޮންޑަކްޓަރސް (SiC/GaN) އަދި ސެފަޔަރ އޮޕްޓިކަލް ސަބްސްޓްރޭޓްތައް ތުނިކުރުމަށް ބެންޗްމާކް އިކުއިޕްމަންޓަކަށް ވެ، ހަރު އަދި ބްރިޓްލް މެޓީރިއަލްސް ޕްރޮސެސްކުރުމުގައި އިންޑަސްޓްރީގެ ޕޭން ޕޮއިންޓްތައް ދަށް، ގެއްލުން ބޮޑު، އަދި އުފެއްދުންތެރިކަން ކުޑަކަން ހައްލުކޮށްދޭ އެއްޗެކެވެ. އާ ހަކަތަ އުފައްދާ އުޅަނދުތަކާއި، 5ޖީ މުވާސަލާތީ ވަސީލަތްތަކާއި، އެލްއީޑީ ލައިޓިން ފަދަ ދާއިރާތަކުގައި ޑީއެފްޖީ8830 ގެ ސަބަބުން އެސްއައިސީ ޕަވަރ ޑިވައިސްތަކާއި ސެފަޔަރ އެލްއީޑީ ޗިޕްތައް މާސް ޕްރޮޑަކްޝަން ހޯދުމަށް އެހީތެރިވެދީ، ސެމީކޮންޑަކްޓަރ އިންޑަސްޓްރީ ފުޅާ ބެންޑްގޭޕް، ތުނި ޕްރޮފައިލް، އަދި މަތީ ޕާފޯމަންސަކަށް ދުއްވާލައެވެ.