Καθαριστικό πλακιδίων οθόνης SU-3200

Το SCREEN SU-3200 είναι ένα ορόσημο σύστημα καθαρισμού μονής πλακέτας 300 mm στον κλάδο κατασκευής ημιαγωγών. Με την ανώτερη απόδοση και την κορυφαία τεχνολογία καθαριότητας, αποτέλεσε το βασικό μοντέλο της SCREEN για μεγάλο χρονικό διάστημα, υποστηρίζοντας την κατασκευή λογικών τσιπ και τσιπ μνήμης από 32nm έως 7nm και ακόμη πιο προηγμένων κόμβων, παίζοντας κρίσιμο ρόλο στην αγορά εξοπλισμού καθαρισμού.

Επισκόπηση Θέσης Πυρήνα και Τεχνολογίας: Η τοποθέτηση πυρήνα του SU-3200 έχει ως στόχο να αυξήσει σημαντικά την απόδοση καθαρισμού μεμονωμένων πλακιδίων, διατηρώντας παράλληλα εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα, καλύπτοντας τις ακραίες απαιτήσεις απόδοσης των προηγμένων διαδικασιών.

Σχεδιασμός υψηλής απόδοσης: Μέσω μιας καινοτόμου αρχιτεκτονικής τεσσάρων επιπέδων σε στοίβα, ένα ενιαίο σύστημα μπορεί να διαμορφωθεί με έως και 12 ανεξάρτητους θαλάμους επεξεργασίας, επιτυγχάνοντας χωρητικότητα επεξεργασίας έως και 800 πλακιδίων ανά ώρα (WPH), η οποία ήταν κορυφαία παγκοσμίως μεταξύ των συστημάτων καθαρισμού μεμονωμένων πλακιδίων εκείνη την εποχή.

Υπερκαθαρό περιβάλλον διεργασίας: Για να ανταποκριθεί στις αυστηρές απαιτήσεις των κόμβων 22nm και πιο προηγμένων, το SU-3200 είναι εξοπλισμένο με την ιδιόκτητη τεχνολογία APAC (Advanced Process Atmosphere Control) της SCREEN. Βελτιστοποιώντας το περιβάλλον του θαλάμου σε πολλαπλές διαστάσεις, διασφαλίζεται η απόλυτη καθαριότητα της διαδικασίας καθαρισμού.

Βασικές Τεχνικές Λεπτομέρειες: Για την επίτευξη του διττού στόχου της απόδοσης και της καθαριότητας, το SU-3200 χρησιμοποιεί μια σειρά από καινοτόμα σχέδια, τα οποία παρουσιάζονται λεπτομερώς στον παρακάτω πίνακα:

Διάσταση Τεχνολογίας | Όνομα Τεχνολογίας | Βασική Λειτουργία και Μέθοδος Υλοποίησης

Πρωτοποριακή Βελτίωση Χωρητικότητας | Συμπαγής Θάλαμος | Μειώνει τον όγκο ενός μεμονωμένου θαλάμου διεργασίας στο μισό από αυτόν του προκατόχου του, καθιστώντας δυνατή την ανάπτυξη περισσότερων θαλάμων στον ίδιο χώρο, αυξάνοντας έτσι την απόδοση ανά μονάδα επιφάνειας.

Σύστημα μεταφοράς υψηλής ταχύτητας | Βελτιστοποιεί τη λογική μεταφοράς και την ταχύτητα των πλακιδίων μεταξύ των θαλάμων, μια βασική υποστήριξη για την επίτευξη υψηλής απόδοσης 800 πλακιδίων/ώρα (WPH).

Διασφάλιση Καθαριότητας | Τεχνολογία APAC | Η τεχνολογία εξαιρετικά καθαρού θαλάμου είναι ένας συλλογικός όρος για μια σειρά τεχνολογιών. Οι βασικές υποτεχνολογίες της περιλαμβάνουν:

Μικροθάλαμος AMC: Μείωση του εσωτερικού όγκου του θαλάμου στο ένα τρίτο του προκατόχου του, επιτρέποντας ταχύτερη αντικατάσταση αερίου και βελτιώνοντας αποτελεσματικά την περιβαλλοντική καθαριότητα.

Διάφραγμα εξισορρόπησης ροής αέρα ABG: Χρησιμοποιείται για την εξισορρόπηση της καθαρής ροής αέρα που διοχετεύεται από το επάνω φίλτρο σωματιδίων υψηλής απόδοσης (FFU), αποτρέποντας τους στροβιλισμούς ή τις νεκρές ζώνες μέσα στον θάλαμο και διασφαλίζοντας την αποτελεσματική απομάκρυνση των σωματιδίων.

Προηγμένη προστασία από πιτσιλίσματα ASP: Μέσω ακριβούς σχεδιασμού, ελαχιστοποιώντας τα πιτσιλίσματα χημικών κατά τον ψεκασμό χημικών, εξασφαλίζοντας ένα καθαρό περιβάλλον επεξεργασίας πλακιδίων.

Ακροφύσιο προστασίας αέρα APN: Χρήση μιας «κουρτίνας αέρα» κατά το στάδιο ξήρανσης για την προστασία της επιφάνειας της γκοφρέτας και την αποφυγή λεκέδων νερού που προκαλούνται από υπολείμματα εξάτμισης υγρών.

Ευέλικτη Προμήθεια Χημικών: Οι πηγές χημικών μπορούν να διευθετηθούν με ευελιξία. Διατίθενται συστήματα Δυναμικής Άμεσης Έγχυσης (DDI) και συστήματα τύπου θαλάμου, επιτρέποντας στους πελάτες να επιλέγουν με ευελιξία ανάλογα με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις της διεργασίας.

Ευκολία συντήρησης: Δομή με δυνατότητα εξαγωγής: Ο θάλαμος διεργασίας μπορεί να τραβηχτεί προς τα έξω σαν συρτάρι για εύκολο καθάρισμα, αντικατάσταση εξαρτημάτων και άλλες εργασίες συντήρησης, μειώνοντας αποτελεσματικά τον χρόνο διακοπής λειτουργίας του εξοπλισμού. Τομείς εφαρμογής: Από την πρωτοποριακή έρευνα και ανάπτυξη έως την ώριμη κατασκευή.

Το SU-3200 έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, καλύπτοντας πολλαπλά βασικά στάδια της κατασκευής ημιαγωγών.

Προηγμένα Τσιπ Λογικής και Μνήμης: Το SU-3200 χρησιμοποιείται στην Έρευνα και Ανάπτυξη (R&D) και την παραγωγή τσιπ, συμπεριλαμβανομένων κόμβων 7nm και πιο προηγμένων, τόσο σε διαδικασίες front-end (FEOL) όσο και σε διαδικασίες back-end (BEOL).

Βασικά υλικά και διεργασίες ημιαγωγών: Μεταξύ των πολλών διεργασιών που υποστηρίζει είναι ο καθαρισμός ημιαγωγών τρίτης γενιάς όπως το SiC (καρβίδιο του πυριτίου) και το GaN (νιτρίδιο του γαλλίου).

Πρωτοποριακή Έρευνα και Συνεργασία Οικοσυστημάτων: Η ισχυρή απόδοση του SU-3200 το καθιστά την επιλογή κορυφαίων ιδρυμάτων Έρευνας και Ανάπτυξης παγκοσμίως. Για παράδειγμα, η IBM έχει υλοποιήσει το SU-3200 στο ερευνητικό κέντρο ημιαγωγών της στο Όλμπανι της Νέας Υόρκης. Επιπλέον, η SCREEN έχει συνεργαστεί με την Applied Materials, εγκαθιστώντας το SU-3200 στο Κέντρο META για την ανάπτυξη πιο προηγμένων διαδικασιών τσιπ.

Θέση στην αγορά και ιστορικές συνεισφορές

Το SU-3200 δεν είναι μόνο ένα επιτυχημένο προϊόν, αλλά και ένας βασικός παράγοντας για την εδραίωση της ηγετικής θέσης της SCREEN στην αγορά.

Κυριαρχία στην Αγορά: Μετά την επιτυχία του SU-3200, η ​​SCREEN εδραίωσε περαιτέρω την ηγετική της θέση στον τομέα του εξοπλισμού καθαρισμού. Σύμφωνα με επίσημα στοιχεία της SCREEN, από τον Ιούλιο του 2025, οι συνολικές αποστολές εξοπλισμού καθαρισμού ημιαγωγών ξεπέρασαν τις 15.000 μονάδες, κατέχοντας το νούμερο ένα μερίδιο αγοράς παγκοσμίως σε πολλαπλά τμήματα, όπως ο καθαρισμός μεμονωμένων πλακιδίων, ο καθαρισμός σε παρτίδες και ο καθαρισμός με περιστροφή.

Πυλώνας εσόδων: Για μεγάλο χρονικό διάστημα, το SU-3200 ήταν το κορυφαίο προϊόν της SCREEN και τα έσοδα από την επιχείρηση εξοπλισμού καθαρισμού εξαρτώνταν σε μεγάλο βαθμό από αυτό το μοντέλο.