Το DISCO DFG8541 είναι μια πλήρως αυτοματοποιημένη μηχανή λείανσης που αναπτύχθηκε για να καλύψει τις ανάγκες αραίωσης πλακιδίων για πλακίδια 8 ιντσών και μικρότερα. Ως αναβάθμιση του προκάτοχού του, του DFG8540 με τις καλύτερες πωλήσεις, μπορεί να τοποθετηθεί ως "βασικό μοντέλο για αραίωση πλακιδίων 8 ιντσών", γνωστό για την υψηλή ακρίβεια, την υψηλή καθαριότητα και την εξαιρετική σταθερότητά του, ιδιαίτερα κατάλληλο για την επεξεργασία σκληρών και εύθραυστων υλικών όπως το καρβίδιο του πυριτίου (SiC).
Ακολουθεί μια λεπτομερής εισαγωγή στην αρχή λειτουργίας του, τις βασικές λειτουργίες, τις προδιαγραφές και την αγοραία αξία του.
Αρχή λειτουργίας: Συνέργεια διπλού πυρήνα για απόδοση και ακρίβεια
Το DFG8541 υιοθετεί αρχιτεκτονική "διπλής ατράκτου, τριών κυπέλλων αναρρόφησης".
Σαφής Καταμερισμός Εργασίας: Η μία άτρακτος φέρει έναν χονδρό τροχό λείανσης για την γρήγορη αφαίρεση του κύριου υλικού από το πίσω μέρος του πλακιδίου. Η άλλη άτρακτος φέρει έναν λεπτό τροχό λείανσης για την λεπτή επεξεργασία της επιφάνειας, επιτυγχάνοντας ένα λείο, επίπεδο και χωρίς φθορές τελικό αποτέλεσμα.
Υψηλής Απόδοσης Διαδικασία: Η πλακέτα προσροφάται υπό κενό στην επιφάνεια εργασίας. Μέσω ακριβούς σχεδιασμού της διαδικασίας, επιτυγχάνεται μια πλήρως αυτοματοποιημένη ροή εργασίας «μία φορά σύσφιξης, συνεχούς επεξεργασίας», αποφεύγοντας τους κινδύνους μόλυνσης και ζημιών που προκαλούνται από τη μεταφορά υλικών μεταξύ διαφορετικών συσκευών.
Εφαρμογές και Ρόλοι: Πέρα από το Πυρίτιο
Ως συσκευή γενικής χρήσης, παίζει κρίσιμο ρόλο στον τομέα των ημιαγωγών τρίτης γενιάς.
Βασική Εργασία: Αραίωμα πλακιδίων 8 ιντσών και μικρότερων (Si/SiC) για στοχευμένα πάχη, διασφάλιση εξαιρετικής ομοιομορφίας πάχους (TTV) και αφαίρεση επιφανειακών στρωμάτων ζημιών που προκλήθηκαν από προηγούμενες διεργασίες.
Αναδυόμενο βασικό στήριγμα: Επιλέγοντας έναν άξονα υψηλής ροπής, το DFG8541 μπορεί να επεξεργάζεται σταθερά υλικά εξαιρετικά υψηλής σκληρότητας όπως το SiC. Αυτός είναι ο βασικός λόγος για τον οποίο προτιμάται ιδιαίτερα στην τρέχουσα αγορά ημιαγωγών ισχύος.
Επισκόπηση βασικών παραμέτρων
Κατηγορία παραμέτρων | Ειδικές προδιαγραφές
Εφαρμόσιμα τεμάχια εργασίας: Φ8 ίντσες (200 mm) και κάτω· συμβατό με πλακίδια Φ4, 5, 6 και 8 ιντσών χρησιμοποιώντας τσοκ γενικής χρήσης
Μέθοδος λείανσης: Περιστροφική διαμήκης λείανση τροφοδοσίας
Διαμόρφωση άξονα: Διπλοί άξονες (2 άξονες), άξονας με υδροστατικό ρουλεμάν αέρα (στάνταρ)
Ταχύτητα άξονα: 1.000 - 7.000 σ.α.λ.
Ισχύς άξονα: Τυπική 4,2 kW
Διαμόρφωση τραπεζιού εργασίας: Τρία τραπέζια εργασίας (3 τραπέζια με τσοκ)
Προδιαγραφές τροχού λείανσης: Τροχός λείανσης με διαμάντι Φ200 mm
Διαστάσεις εξοπλισμού (Π x Β x Υ): Περίπου 1.100 × 2.800 × 1.800 mm
Βάρος εξοπλισμού: Περίπου 3.000 kg
Βασικές λειτουργίες και χαρακτηριστικά
Το DFG8541 αντιπροσωπεύει μια σημαντική αναβάθμιση από το DFG8540.
Χαρακτηριστικά/Λειτουργίες Λεπτομερής Περιγραφή
Ανώτερες δυνατότητες καθαρισμού: Ακροφύσια πολλαπλών σταθμών δύο υγρών: Σε σύγκριση με τον παραδοσιακό καθαρισμό αέρα-νερού, αυτό το σύστημα αφαιρεί αποτελεσματικά τα λεπτά σωματίδια σκόνης που προσκολλώνται στο πλακίδιο μετά την άλεση. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικούς σταθμούς εργασίας, όπως βεντούζες και τεμάχια εργασίας, μειώνοντας αποτελεσματικά τον κίνδυνο θραύσης λεπτών πλακιδίων.
Ευθυγράμμιση χωρίς επαφή: Χρησιμοποιεί μια κάμερα για να εντοπίσει το κέντρο του πλακιδίου, αντικαθιστώντας τη φυσική επαφή και εξαλείφοντας τις γρατσουνιές ή τις ζημιές στις άκρες κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ευθυγράμμισης.
Έξυπνη Παραγωγή: Συνταγή ανά γκοφρέτα: Επιτρέπει την αυτόματη επεξεργασία διαφορετικών γκοφρετών εντός της ίδιας κασέτας γκοφρέτας σύμφωνα με τις αντίστοιχες προκαθορισμένες συνταγές τους (πάχος άλεσης, ταχύτητα κ.λπ.), προσαρμόζοντας τέλεια στην παραγωγή πολλαπλών ποικιλιών και μικρών παρτίδων.
Λειτουργίες προστασίας πλακιδίων: Ενσωματώνει πολλαπλούς μηχανισμούς προστασίας, όπως χαρτογράφηση πλακιδίων (κατά της κακής ευθυγράμμισης/κενού πλακιδίου), προκαταρκτικό έλεγχο πάχους (κατά της διπλής ταινίας) και συγκράτηση κενού (συναγερμός ξαφνικής διακοπής ρεύματος), διασφαλίζοντας την ασφάλεια των πλακιδίων υψηλής αξίας.
Ηλεκτρικά ρυθμιζόμενη διόρθωση κλίσης: Η κλίση της βεντούζας μπορεί να ρυθμιστεί ηλεκτρικά μέσω τιμών στην οθόνη, βελτιστοποιώντας το σχήμα επεξεργασίας και μειώνοντας τον χρόνο μη αυτόματης διακοπής λειτουργίας για βαθμονόμηση.
Σημαντικά βελτιωμένη χρηστικότητα: Μεγαλύτερη οθόνη 19 ιντσών με γραφικό περιβάλλον χρήστη: Σε σύγκριση με την οθόνη 15 ιντσών του DFG8540, η οθόνη δεν είναι μόνο μεγαλύτερη, αλλά διαθέτει και ένα εύχρηστο γραφικό περιβάλλον χρήστη.
Βελτιστοποιημένη Συντήρηση: Η βελτιωμένη εσωτερική δομή καθαρισμού διευκολύνει τη συντήρηση.
Εξοικονόμηση Ενέργειας και Συμπαγής Σχεδιασμός: Ο νέος άξονας αέρα μειώνει την κατανάλωση αέρα κατά 50%, ενώ ο σχεδιασμός της ενσωματωμένης αντλίας κενού μειώνει το αποτύπωμα κατά 15% σε σύγκριση με τον προκάτοχό του, επιτυγχάνοντας πράσινη εξοικονόμηση τόσο σε υλικό όσο και σε λειτουργία.
Τοποθέτηση στην Αγορά και Αξία: Σε σύγκριση με την ναυαρχίδα DGP8761 που στοχεύει στην αγορά των 12 ιντσών, η DFG8541 εστιάζει περισσότερο στην αγορά των 8 ιντσών, καθιστώντας την μια τυπική ναυαρχίδα "υψηλής απόδοσης, οικονομικά αποδοτική" συσκευή:
Τοποθέτηση Απόδοσης: Το DFG8541 αποτελεί σημείο αναφοράς απόδοσης για λειαντήρες 8 ιντσών. Επιλέγοντας έναν άξονα υψηλής ροπής, ξεπερνά με επιτυχία τις προκλήσεις λέπτυνσης σκληρών και εύθραυστων υλικών όπως το SiC, εδραιώνοντας το απόλυτο πλεονέκτημά του στην αγορά λειαντήρων 8 ιντσών.
Αξία Επένδυσης: Ως σταθερή αναβάθμιση σε μια ώριμη πλατφόρμα, είναι αξιόπιστο όσον αφορά τη μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία και τη συνεχή απόδοση, καθιστώντας το μια υψηλής απόδοσης, χαμηλού κινδύνου και αξιόπιστη επιλογή για επένδυση σε εξοπλισμό γραμμής παραγωγής 8 ιντσών. Κορυφαία εγχώρια πανεπιστήμια (όπως το Πανεπιστήμιο Xi'an Jiaotong) έχουν ήδη αγοράσει αυτόν τον εξοπλισμό για έρευνα αιχμής.
Απαιτήσεις Συντήρησης και Εγκατάστασης: Για να διασφαλιστεί η μακροπρόθεσμη σταθερή και υψηλής ακρίβειας λειτουργία του DFG8541, είναι απαραίτητη η αυστηρή τήρηση των απαιτήσεων της DISCO για το περιβάλλον εγκατάστασης:
Καθαριότητα περιβάλλοντος: Πρέπει να εγκατασταθεί σε καθαρό δωμάτιο υψηλής καθαριότητας. Η θερμοκρασία περιβάλλοντος πρέπει να είναι σταθερή στους 20-25℃, με ελεγχόμενες διακυμάνσεις εντός ±1℃. Η σχετική υγρασία συνήθως απαιτείται να είναι κάτω από 55%.
Τροφοδοσία ρεύματος:
Πεπιεσμένος αέρας: Απαιτείται καθαρός, ξηρός και χωρίς λάδι πεπιεσμένος αέρας υψηλής καθαρότητας σε πίεση 0,5 MPa ή υψηλότερη.
Ηλεκτρικό ρεύμα: Απαιτείται τριφασική παροχή ρεύματος που να ταιριάζει με τις απαιτήσεις ισχύος του εξοπλισμού.
Νερό ψύξης: Για την ψύξη του άξονα απαιτείται απιονισμένο νερό (DI νερό) με σταθερό ρυθμό ροής και σταθερή θερμοκρασία. Η θερμοκρασία του νερού θα πρέπει συνήθως να ταιριάζει με τη θερμοκρασία δωματίου με ελάχιστες διακυμάνσεις θερμοκρασίας.
Η τακτική επιθεώρηση και αντικατάσταση των τροχών λείανσης, ο καθαρισμός των τσοκ κενού και η συντήρηση του άξονα αέρα είναι ζωτικής σημασίας για την παράταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού και τη διασφάλιση της απόδοσης της επεξεργασίας.
Συνοψίζοντας, το DISCO DFG8541 είναι μια ώριμη και αξιόπιστη λύση αραίωσης πλακιδίων 8 ιντσών. Επιτυγχάνει κορυφαία απόδοση στον κλάδο στους βασικούς τομείς του και είναι πλήρως βελτιστοποιημένο για αυτοματοποίηση, καθαριότητα και ευκολία χρήσης, ώστε να καλύπτει τις ανάγκες της σύγχρονης κατασκευής.



