Nitto Semiconductor Wafer mount DR8500III

Το Nitto DR8500III είναι μια πλήρως αυτοματοποιημένη συσκευή εφαρμογής προστατευτικής ταινίας της σειράς Nitto NEL SYSTEM™, ειδικά σχεδιασμένη για πλακίδια 200 mm (8 ιντσών). Με απλά λόγια, η βασική του λειτουργία είναι να εφαρμόζει ένα στρώμα προστατευτικής ταινίας πλήρως στην μπροστινή πλευρά του πλακιδίου (την πλευρά με τα μοτίβα κυκλώματος) πριν από την κρίσιμη διαδικασία λέπτυνσης της πίσω πλευράς (γνωστή και ως λείανση της πίσω πλευράς), αποτρέποντας ζημιές κατά την επακόλουθη λείανση υψηλής ταχύτητας.

Σύγκριση παραμέτρων πυρήνα DR8500III έναντι DR3000III

Για να σας βοηθήσουμε να κατανοήσετε γρήγορα τη θέση του DR8500III, το συγκρίναμε με το DR3000III, το οποίο υποστηρίζει επίσης πλακίδια 300 mm, καθιστώντας τις διαφορές αμέσως εμφανείς.

Στοιχεία σύγκρισης: DR8500III (Κύρια εισαγωγή) DR3000III

Κύρια τοποθέτηση: Πλήρως αυτόματος εφαρμογέας προστατευτικής ταινίας για γκοφρέτες 200 mm. Πλήρως αυτόματος εφαρμογέας προστατευτικής ταινίας για γκοφρέτες 300 mm.

Εφαρμόσιμα μεγέθη πλακιδίων: 8/6/5/4 ίντσες (200/150/125/100mm)· 300/200mm (12 ίντσες/8 ίντσες)

Απόδοση: Τυπική: 77 πλακίδια/ώρα

Έκδοση RF: 68 πλακίδια/ώρα; 68 πλακίδια/ώρα

Συμβατό πάχος πλακιδίων: Πλακίδια χωρίς λείανση από πίσω, 400µm ή παχύτερα

Κύρια χαρακτηριστικά και τεχνικά χαρακτηριστικά:

Τα τεχνικά χαρακτηριστικά του DR8500III λαμβάνουν πλήρως υπόψη τη συμβατότητα, την απόδοση της διαδικασίας και την ευκολία λειτουργίας.

Εκτεταμένη συμβατότητα πλακιδίων: Τυπική υποστήριξη για πλακίδια 8/6/5 ιντσών, με προαιρετική υποστήριξη για πλακίδια 4 ιντσών. Επιπλέον, μπορούν να προστεθούν θερμαινόμενα τσοκ/κύλινδροι ως επιλογή για την κάλυψη διαφορετικών απαιτήσεων διεργασίας.

Τεχνολογία εφαρμογής φιλμ χαμηλής τάσης: Η έκδοση RF χρησιμοποιεί τεχνολογία εφαρμογής χαμηλής τάσης, μειώνοντας σημαντικά την τάση στο πλακίδιο κατά τη διαδικασία εφαρμογής του και μειώνοντας τον κίνδυνο στρέβλωσης ή θραύσης του πλακιδίου.

Αυτοματισμός υψηλής απόδοσης βιομηχανικού προτύπου: Ο εξοπλισμός επιτρέπει στους χειριστές να έχουν γρήγορη πρόσβαση σε προκαθορισμένες παραμέτρους παραγωγής μέσω μιας οθόνης αφής και λειτουργικότητας συνταγής, παρέχοντας διαισθητικό χειρισμό. Συμμορφώνεται επίσης με τα πρότυπα ασφαλείας CE και προσφέρει προαιρετικά πρωτόκολλα επικοινωνίας SECS/GEM, επιτρέποντας την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε σύγχρονα συστήματα αυτοματισμού εργοστασίων ημιαγωγών.

Τομείς εφαρμογής: Η κύρια αγορά του DR8500III είναι η κατασκευή ημιαγωγών πλακιδίων 200 mm (8 ιντσών), η οποία είναι ιδιαίτερα σημαντική στις ακόλουθες βασικές διεργασίες:

Λείανση με φόντο: Αυτή είναι η βασική του εφαρμογή. Πριν από τη διαδικασία λείανσης με φόντο, παρέχει μηχανική προστασία στην μπροστινή πλευρά της πλακέτας, εμποδίζοντας τους τροχούς λείανσης υψηλής ταχύτητας να γρατσουνίσουν τα κυκλώματα. Παρέχει επίσης χημική προστασία, αποτρέποντας τη μόλυνση της επιφάνειας της πλακέτας από υγρό στίλβωσης και υπολείμματα.

Κοπή/Πριόνισμα πλακιδίων: Πριν από την κοπή του πλακιδίου σε μεμονωμένα τσιπς, εφαρμόζεται ταινία κοπής για τη στερέωση του πλακιδίου, εξασφαλίζοντας σταθερότητα και ακρίβεια κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κοπής.

Συνεργατική Εργασία και Οικοσύστημα

Σε μια ολοκληρωμένη γραμμή παραγωγής συσκευασιών ημιαγωγών, το DR8500III συνήθως δεν λειτουργεί μόνο του, αλλά συνεργάζεται με άλλο εξοπλισμό για να διαμορφώσει μια κλειστή διαδικασία παραγωγής "εφαρμογή φιλμ - επεξεργασία - αφαίρεση φιλμ".

Συνεργασία με μηχανήματα αφαίρεσης ταινίας: Μετά από διαδικασίες όπως η λέπτυνση της πίσω πλευράς και η ανόπτηση με λέιζερ, η προστατευτική ταινία πρέπει να αφαιρεθεί, απαιτώντας μηχανή αφαίρεσης ταινίας. Για παράδειγμα, η πλήρως αυτόματη μηχανή αφαίρεσης ταινίας HR8500III της Nitto είναι μια συνηθισμένη επιλογή για συνδυασμό με το DR8500III.

Συνεργασία με εξοπλισμό λείανσης/κοπής σε κύβους: Η διαδικασία εφαρμογής μεμβράνης του DR8500III αποτελεί κρίσιμο κρίκο στην παροχή «προεπεξεργασίας υλικού» για τον βασικό εξοπλισμό διεργασιών, όπως οι λειαντήρες και τα πριόνια κοπής σε κύβους.

Περίληψη

Συνοπτικά, το Nitto DR8500III είναι μια ώριμη, σταθερή και αποτελεσματική, πλήρως αυτόματη μηχανή εφαρμογής φιλμ πλακιδίων 200 mm. Η βασική του αξία έγκειται στην παροχή αξιόπιστης προστασίας για το πλακίδιο πριν από κρίσιμες διεργασίες, όπως η λεπτή λεπτή επιφάνεια μέσω ακριβούς τεχνολογίας εφαρμογής φιλμ χαμηλής τάσης, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για τη διασφάλιση της απόδοσης και της απόδοσης του τελικού τσιπ.