SEMES kiekkojen puhdistusaine BLUEICE PRIME

SEMESin BLUEICE PRIME on 300 mm:n täysin automatisoitu yksittäisten kiekkojen puhdistusjärjestelmä, joka on suunniteltu edistyneen prosessitekniikan (LPT) logiikka- ja muistisirujen valmistukseen. SEMESin, Samsung Electronicsin ydinlaitteiden toimittajan, kehittämä ja valmistama järjestelmä on keskeinen laite huippuprosessien, kuten 2 nm:n, massatuotannon tuottavuuden parantamiseksi.

Ydinsuorituskyky: Edistyneiden prosessien ja kapasiteetin tasapainottaminen

Erinomainen prosessitehokkuus: Pystyy poistamaan hiukkasia 19 nm:n tasolla, mikä parantaa etsauksen tasaisuutta merkittävästi yli 40 %.

Tehokas kapasiteettisuunnittelu: 300 mm:n yksittäisten kiekkojen puhdistusjärjestelmänä se käsittelee yli 500 kiekkoa tunnissa (WPH), mikä vastaa tehokkaasti laajamittaisen massatuotannon vaatimuksiin.

Tekniset ominaisuudet: Useita itsenäisesti kehitettyjä innovatiivisia malleja

Innovatiivinen korkean lämpötilan fosforihappoprosessi: Sen ydinprosessissa käytetään korkean lämpötilan fosforihappoa kiekkojen etsaukseen ja kuorintaan. Tarkka ruiskutuksen ja lämpötilan säätö vähentää tehokkaasti prosessihajontaa ja vikaantumisastetta, mikä parantaa merkittävästi 2 nm:n sirun saantoa.

**Itsenäisesti kehitetty korkean lämpötilan istukka:** Tämä teknologia parantaa lämpötilan tasaisuutta kiekkojen lämmityksen aikana, vähentää merkittävästi prosessivirheitä ja voittaa perinteisten märkäpuhdistusmenetelmien rajoitukset.

**Kattava kontaminaation hallinta:** NIC (Non-Interaction Clean) -kammio estää tehokkaasti ristikontaminaation yhdistettynä SF-Aerosol-teknologiaan (nopea/tasainen pisarasuihkutus) fyysiseen puhdistukseen.

**Erittäin integroitu älykäs järjestelmä:** Varustettuna APAC:lla, AIS:llä (automaattinen tunnistusjärjestelmä) ja SEAS:lla (älykäs laiteanalyysijärjestelmä), se saavuttaa tarkan virtauksen säädön ja laitteiden tilan älykkään analysoinnin.

**Sovellusalueet:** Samsungilla toimiva yritys, joka palvelee globaaleja huippuasiakkaita.

BLUEICE PRIME on ensisijaisesti suunnattu maailmanlaajuisille johtaville logiikkapiirien valmistajille ja muistivalmistajille. Emoyhtiönsä SEMESin asemaa Samsung-konsernin tytäryhtiönä hyödyntäen tämä laite on integroitu syvästi Samsungin edistyneimpiin kiekkojen valmistuslinjoihin. Sen märkäpuhdistusratkaisu muodostaa täydellisen ekosysteemin muiden keskeisten alkupään laitteiden, kuten litografian (OMEGA-sarja) ja etsauksen (MICHELAN-sarja), kanssa. On syytä huomata, että SEMES on laajentanut liiketoimintaansa koko HBM:n (High Bandwidth Memory) valmistuskenttään kehittämällä ja massatuottamalla onnistuneesti lämpöliitoskoneen (TC Bonder) HBM-piirien pinoamista varten.

Yhteenvetona voidaan todeta, että BLUEICE PRIME osoittaa SEMESin vahvan teknologisen vahvuuden puolijohdelaitteiden alalla. Se on ratkaiseva osa Samsung-konsernin pyrkimyksiä vahvistaa asemaansa maailmanlaajuisena johtajana edistyneissä prosessiteknologioissa ja keskeinen työkalu, joka tukee huippuluokan valmistusta alle 2 nm:n tekniikalla.