Glantóir vaiféil SCÁILEÁIN SU-3200

Is córas glantacháin aon-shliseáin 300mm ceannródaíoch é an SCREEN SU-3200 i dtionscal déantúsaíochta leathsheoltóirí. Leis an tréchur den scoth agus an teicneolaíocht ghlantacháin cheannródaíoch atá aige, d'fhóin sé mar phríomhshamhail SCREEN ar feadh i bhfad, ag tacú le monarú sceallóga loighce agus cuimhne ó 32nm go 7nm agus nóid níos forbartha fós, agus ról ríthábhachtach aige i margadh an trealaimh ghlantacháin.

Seasamh Croí agus Forbhreathnú Teicneolaíochta: Is é príomhshuíomh an SU-3200 ná an tréchur glantacháin aon-shliseáin a mhéadú go suntasach agus glantacht thar a bheith ard a choinneáil, ag freastal ar éilimh éifeachtúlachta foircneacha próiseas chun cinn.

Dearadh Ard-Tréchur: Trí ailtireacht chruachta ceithre shraith nuálach, is féidir córas aonair a chumrú le suas le 12 sheomra próiseála neamhspleácha, ag baint amach acmhainn phróiseála suas le 800 vaiféar san uair (WPH), a bhí i gceannas ar fud an domhain i measc córas glantacháin vaiféar aonair ag an am.

Timpeallacht Próisis Thar a Bheith Glan: Chun freastal ar riachtanais dhian nóid 22nm agus nóid níos forbartha, tá an SU-3200 feistithe le teicneolaíocht dhílseánaigh APAC (Rialú Atmaisféir Próisis Ardleibhéil) SCREEN. Trí thimpeallacht an tseomra a bharrfheabhsú thar ilthoisí, cinntíonn sé glanadh deiridh an phróisis ghlantacháin.

Sonraí Teicniúla Príomhúla: Chun na spriocanna déacha maidir le tréchur agus glaineacht a bhaint amach, úsáideann an SU-3200 sraith dearaí nuálacha, atá mionsonraithe sa tábla thíos:

Gné Theicneolaíochta | Ainm na Teicneolaíochta | Feidhm Lárnach agus Modh Cur Chun Feidhme

Feabhsú Ceannródaíoch ar Chumas | Seomra Dlúth | Laghdaíonn sé toirt seomra próisis aonair go leath toirt a réamhtheachtaí, rud a fhágann gur féidir níos mó seomraí a imscaradh laistigh den spás céanna, rud a mhéadaíonn an tréchur in aghaidh an aonaid achair.

Córas Aistrithe Ardluais | Déanann sé an loighic aistrithe agus luas na sceallóga idir seomraí a bharrfheabhsú, rud is príomhthábhacht chun tréchur ard de 800 sceallóg/uair an chloig (WPH) a bhaint amach.

Dearbhú Glantachta | Teicneolaíocht APAC | Is téarma comhchoiteann é teicneolaíocht seomra thar a bheith glan do shraith teicneolaíochtaí. Áirítear ar a fo-theicneolaíochtaí lárnacha:

Micrea-sheomra AMC: Laghdú ar thoirt inmheánach an tseomra go dtí aon trian dá réamhtheachtaí, rud a chuireann athsholáthar gáis níos tapúla ar chumas agus a fheabhsaíonn glaineacht chomhshaoil ​​​​go héifeachtach.

Baifle Cothromúcháin Sreafa Aeir ABG: Úsáidtear é chun an sreabhadh aeir glan a shéideann an scagaire cáithníní ardéifeachtúlachta (FFU) barr a chothromú, rud a chuireann cosc ​​ar chodladh nó ar chriosanna marbha laistigh den seomra agus a chinntíonn go mbaintear ábhar cáithníneach go héifeachtach.

Cosaint Ard-Splancscáileáin ASP: Trí dhearadh beacht, íoslaghdaítear splancscáileán ceimiceach le linn spraeáil cheimiceach, rud a chinntíonn timpeallacht phróiseála vaiféir ghlan.

Soic Chosanta Aeir APN: Úsáidtear "cuirtín aeir" le linn chéim an triomú chun dromchla an tsliabháin a chosaint agus chun stains uisce de bharr iarmhar galúcháin leachta a chosc.

Soláthar Ceimiceach Solúbtha: Is féidir foinsí ceimiceacha a shocrú go solúbtha. Tá córais Instealladh Díreach Dinimiciúil (DDI) agus córais de chineál caibinéid ar fáil, rud a ligeann do chustaiméirí rogha solúbtha a dhéanamh de réir riachtanais phróisis shonracha.

Éasca le Cothabháil: Struchtúr Tarraingthe Amach: Is féidir an seomra próiseála a tharraingt amach cosúil le tarraiceán le haghaidh glanadh éasca, athsholáthar comhpháirteanna, agus obair chothabhála eile, rud a laghdaíonn am neamhfhónaimh trealaimh go héifeachtach. Réimsí Feidhme: Ó T&F Ceannródaíoch go Déantúsaíocht Aibí

Tá raon leathan feidhmchlár ag an SU-3200, a chlúdaíonn céimeanna tábhachtacha iomadúla de mhonarú leathsheoltóirí.

Sceallóga Loighice agus Cuimhne Ardleibhéil: Úsáidtear an SU-3200 i dtaighde agus forbairt agus i dtáirgeadh sceallóga, lena n-áirítear nóid 7nm agus nóid níos forbartha, i bpróisis tosaigh (FEOL) agus chúl-deireadh (BEOL) araon.

Ábhair agus Próisis Leathsheoltóra Tábhachtacha: I measc na bpróiseas iomadúla a dtacaítear leo tá glanadh ábhar leathsheoltóra den tríú glúin amhail SiC (Carbaíd Sileacain) agus GaN (Níotráit Ghailliam).

Taighde Ceannródaíoch agus Comhoibriú Éiceachórais: A bhuíochas dá fheidhmíocht chumhachtach, is rogha é an SU-3200 ag institiúidí T&F ceannródaíocha ar fud an domhain. Mar shampla, chuir IBM an SU-3200 i bhfeidhm ina ionad taighde leathsheoltóra in Albany, Nua-Eabhrac. Ina theannta sin, tá SCREEN i gcomhpháirtíocht le Applied Materials, ag suiteáil an SU-3200 ina Ionad META chun próisis sliseanna níos forbartha a fhorbairt.

Seasamh sa Mhargadh agus Ranníocaíochtaí Stairiúla

Ní hamháin gur táirge rathúil é an SU-3200 ach is fachtóir ríthábhachtach é freisin chun seasamh ceannaireachta margaidh SCREEN a bhunú.

Ceannas an Mhargaidh: Tar éis rath an SU-3200, dhaingnigh SCREEN a sheasamh ceannródaíoch i réimse an trealaimh ghlantacháin tuilleadh. De réir sonraí oifigiúla SCREEN, ó mhí Iúil 2025, sháraigh a loingsithe carnacha de threalamh glantacháin leathsheoltóra 15,000 aonad, agus tá an sciar den mhargadh domhanda uimhir a haon acu i roinnt deighleog lena n-áirítear glanadh aon-shliseáin, glanadh baisce, agus glanadh sníomh.

Colún Ioncaim: Ar feadh i bhfad, ba é an SU-3200 príomhtháirge SCREEN, agus bhí ioncam a ghnó trealaimh ghlantacháin ag brath go mór ar an tsamhail seo.