Meilteoir vaiféir DISCO DFG8830

Is meaisín tanaithe agus snasta lán-uathoibrithe é an DISCO DFG8830 le haghaidh ábhar crua agus sobhriste, arna sheoladh ag DISCO Corporation na Seapáine. Díríonn sé go príomha ar thanú éifeachtach, íseal-damáiste d’ábhair chrua agus sobhriste leathsheoltóra/optúla tríú glúin ar nós SiC agus saifír. Le hailtireacht 4-ais, 5-chéim, cothromaíonn sé tréchur ard agus cruinneas ard, rud a fhágann gur meaisín príomhshrutha é le haghaidh tanú vaiféir chrua agus sobhriste 6-8 n-orlach.

I. Príomhshuíomh agus Cásanna Feidhmchláir

1. Seasamh Croí

Meaisín snasta agus tanaithe lán-uathoibrithe atá deartha go sonrach le haghaidh ábhar ard-chruas, ard-bhriste (SiC, saifír, criadóireacht, gloine, srl.), ag réiteach fadhbanna na trealaimh thraidisiúnta maidir le héifeachtúlacht íseal próiseála, damáiste ard, agus toradh íseal.

2. Feidhmchláir Ghnátha

Leathsheoltóirí: Tanú sceallóga cumhachta SiC/GaN (6-8 n-orlach), tanú foshraitheanna saifír (sceallóga LED).

Optaic: Tanú gloine optúil, foshraitheanna ceirmeacha, agus ábhar infridhearg.

Pacáistiú Ardleibhéil: Tanú sceallóga ilchodacha le foshraitheanna tacaíochta gloine/ceirmeacha (tiús iomlán ≤ 3.5mm).

3. Méideanna Comhoiriúnacha

Vaiféir Próiseáilte: Φ4/5/6 orlach (uasmhéid Φ150mm).

Foshraitheanna Tacaíochta: Φ5/6/8 orlach (comhoiriúnach le foshraitheanna 8-orlach a thacaíonn le sceallóga 6-orlach).

II. Struchtúr Foriomlán agus Cumraíocht Chroí

1. Ailtireacht Fhoriomlán

Leagan Amach: 4 fhearsaid + 5 bhord chuck + 1 bhord rothlach, ag comhtháthú an phróisis iomláin luchtaithe, meilt, glanadh, triomú agus díluchtaithe, ag áitiú ach 3.5㎡, dlúth agus éifeachtach.

Toisí (L×D×A): 1400×2500×2000mm; Meáchan: Thart ar 6000kg.

2. Comhpháirteanna Croí

(1) Córas Fearsaid (4 ais, Z1-Z4)

Cumhacht: Tá 6.3kW ag Z1-Z3 (ard-dhochtú, ard-chasmhóiminte, oiriúnach le haghaidh ualaí troma ar ábhair chrua agus sobhriste); is é Z4 an ais chríochnaithe. Luas rothlaithe: 1000-4000 min⁻¹ (aschur cumhachta tairiseach, oiriúnach le haghaidh meilt gharbh/mhín).

Roth meilt: Roth meilt diamant caighdeánach Φ300mm (trastomhas mór, ráta bainte ard, oiriúnach d'ábhair chrua agus sobhriste).

(2) Córas tábla oibre

Cumasaíonn 5 bhord oibre cupán súite folúis agus 1 bhord rothlach próiseáil chomhthreomhar agus oibriú leanúnach, le UPH (acmhainn uachtarach in aghaidh na huaire) trí huaire níos mó ná trealamh aon-ais (amhail DFG8340).

Cinntíonn ionsú folúis + cruinneas suímh ±2μm go bhfuil TTV (diall iomlán tiús) an tsaiféir tar éis tanaithe ≤2μm.

(3) Córas rialaithe

Comhéadan oibriúcháin: GUI tadhaill 15-orlach, oibriú bunaithe ar dheilbhíní, tacaíonn sé le monatóireacht fhíor-ama, stóráil paraiméadar, agus aláraim neamhghnácha.

Croí rialaithe: Servo ardchruinneas + grátáil lúb dúnta, cruinneas rialaithe tiús ±0.1μm, tacaíonn sé le tanú ar leibhéal micrón (síos go 50μm). 3. Príomhmhodúil

Modúl Meilt: roinnt saothair 4-ais (meilt gharbh Z1 → meilt mheánach Z2 → meilt mhín Z3 → snasú/bailchríoch Z4), ag críochnú ilphróisis in aon chlampáil amháin, ag laghdú damáiste láimhseála.

Modúl Glantacháin agus Triomú: Spraeáil uisce íon + triomú aeir ian tar éis meilt, gan aon iarmhar ná uiscemharcanna a fhágáil, ag comhlíonadh ceanglais glaineachta leathsheoltóra.

Luchtú agus Díluchtú Uathoibríoch: Boscaí ábhair dhúbailte (25 sceallóg in aghaidh an bhosca), ag sainaithint sceallóga/foshraitheanna go huathoibríoch, ag laghdú idirghabhála láimhe.

III. Prionsabal Oibre agus Sreabhadh Próisis

1. Prionsabal Meilt

Úsáideann sé modh rothlaithe na sliseán + meilt isteach-bheathú: Rothlaíonn an sliseán ar luas ard leis an mbord oibre, agus beathaíonn an roth meilt diamant go haiseach, ag baint ábhar trí ghearradh scríobach + micrea-bhriste. I gcás ábhar crua agus sobhriste, is é baint na sobhriste an príomh-mhodh, agus baintear plaisteach leis, rud a rialaíonn doimhneacht na scoilte ≤5μm.

2. Sreabhadh Próisis Chaighdeánach

Luchtú: Tógann lámh róbatach an vaiféar ón mbosca ábhair → cuireann sé i bhfeidhm é → déanann folúsghlanadh é a ionsú ar an mbord oibre.

Meilt Garbh (Z1): Ráta bainte ard (50-100μm/nóim), ag tanú go tapa go dtí an tiús sprice + 20μm.

Meilt Mheánach (Z2): Ráta bainte meánach (20-50μm/nóim), ag laghdú an chiseal damáiste go dtí an tiús sprice + 5μm.

Meilt Mhín (Z3): Ráta bainte íseal (5-10μm/nóim), TTV ≤ 2μm, ciseal damáiste ≤ 2μm.

Snasú/Críochnú Dromchla (Z4): Críochnú scátháin, garbhúlacht dromchla Ra ≤ 0.1μm.

Glanadh agus Triomú: Spraeáil uisce íon → triomú aeir ian → díluchtú isteach sa bhosca ábhair.

3. Sreabhadh Próiseála Foshraithe Tacaíochta: Oiriúnaíonn sé do sceallóga ilchodacha foshraithe gloine/ceirmeacha (tiús iomlán ≤ 3.5mm), cosnaíonn ionsú folúis an tsubstráit taobh tosaigh an sceallóige, ag meilt an taobh cúil amháin, ag réiteach na bhfadhbanna casta agus briste a bhaineann le sceallóga ultra-tanaí.

IV. Príomhbhuntáistí Teicneolaíocha

1. Inoiriúnaitheacht láidir d’ábhair chrua agus bhriste

Fearsaid ardchumhachta (6.3kW) + roth meilt diamant trastomhas mór, rud a mhéadaíonn éifeachtúlacht próiseála SiC/saifír faoi 3 agus a shíneann saolré an rotha faoi 50%.

Próiseas meilt íseal-damáiste: Ciseal damáiste ≤2μm, toradh ≥99%, i bhfad níos mó ná próisis lapála traidisiúnta.

2. Cumas táirgthe ardéifeachtúlachta (4 ais, 5 tábla oibre)

Próiseáil chomhthreomhar: 4 ais ag obair ag an am céanna, 5 bhord oibre ag rothlú go leanúnach, sceallóga UPH≥30 (SiC 6-orlach), 3 huaire níos mó ná trealamh aon-ais.

Lán-uathoibrithe: Luchtú, díluchtú, meilt, glanadh agus triomú comhtháite; oibriú leanúnach gan mhaoirseacht ar feadh 24 uair an chloig.

3. Cruinneas ard agus cobhsaíocht ard

Rialú tiús: ±0.1μm, TTV≤2μm, ag comhlíonadh riachtanais sceallóga SiC grád feithicleach.

Struchtúr righin: Corp iarainn teilgthe + dearadh maolaithe creatha, creathadh ≤0.5μm, gan aon athrú ar chruinneas le linn oibríochta fadtéarmach. 4. Inoiriúnaitheacht Sholúbtha agus Costais Oibriúcháin Íseal

Comhoiriúnacht Ilmhéide: Ag luí le sceallóga 6-orlach agus foshraitheanna 8-orlach, rud a chuireann ar chumas úsáide ilchuspóirí agus a laghdaíonn infheistíocht i dtrealamh.

Próiseáil Ghlas: Ní úsáideann sé ach uisce íon, rud a chuireann deireadh le truailliú sloda snasta; is féidir fuíolluisce a urscaoileadh go díreach, rud a laghdaíonn costais oibriúcháin 30%.

V. Tábla na bPríomhpharaiméadair Theicniúla

Luach Paraiméadar Tábla

Méid an tSaiféir Phróiseála Φ4/5/6 orlach (uasmhéid Φ150mm)

Méid an Fhoshraithe Tacaíochta Φ5/6/8 orlach

Líon na bhFearsaidí / Cumhacht 4 ais, Z1-Z3: 6.3kW

Luas na Fearsaide 1000-4000nóim⁻¹

Sonraíocht Roth Meilt Roth Meilt Diamant Φ300mm

Cruinneas Rialaithe Tiús ±0.1μm

TTV (Diall Iomlán Tiús) ≤2μm

Garbhacht Dromchla Ra≤0.1μm

Cumas (SiC 6-orlach) vaiféir UPH≥30

Toisí Foriomlána an Mheaisín (L×D×A) 1400×2500×2000mm

Meáchan Thart ar 6000kg

Achar Urláir 3.5㎡

VI. Comparáid le Trealamh Comhchosúil (DFG8830 vs DFG8340)

Mír Chomparáide Tábla DFG8830 (4 ais, 5 tábla oibre) DFG8340 (1-ais, 2-chéim)

Cumraíocht an fhearsaid: 4 × 6.3kW, rannán garbh/bailchríochnaithe/snasta: 1 × 4.2kW, próiseas aonair

Cumas: vaiféir UPH≥30 (SiC 6-orlach), vaiféir UPH≤10 (SiC 6-orlach)

Cruinneas próiseála: TTV≤2μm, ciseal damáiste≤2μm, TTV≤5μm, ciseal damáiste≤5μm

Ábhair oiriúnacha: SiC, saifír, sliseáin ilchodacha (le foshraith), sliseáin sileacain, criadóireacht ísealchruas

Oidhreacht: 3.5㎡, 2㎡

Cásanna infheidhme: Léiriú mais, ábhair ardchruas agus sobhriste; Baisceanna beaga, sceallóga sileacain/ábhair ísealchruas

VII. Achoimre agus Luach Tionscail

Tá an DISCO DFG8830, lena ailtireacht 4-ais, 5-chéim, a fhearsaid ardchumhachta, agus a phróiseas íseal-damáiste, ina threalamh tagarmhairc chun leathsheoltóirí tríú glúin (SiC/GaN) agus foshraitheanna optúla sapphire a thanú, ag réiteach pointí pian an tionscail maidir le héifeachtúlacht íseal, damáiste ard, agus toradh íseal i bpróiseáil ábhar crua agus sobhriste. I réimsí ar nós feithiclí nua fuinnimh, cumarsáid 5G, agus soilsiú LED, cuidíonn an DFG8830 le gléasanna cumhachta SiC agus sceallóga LED sapphire olltáirgeadh a bhaint amach, ag tiomáint an tionscail leathsheoltóra i dtreo bearna banna níos leithne, próifílí níos tanaí, agus feidhmíocht níos airde.