Seo réamhrá mionsonraithe ar an NEL SYSTEM™ DR3000III ó Nitto Denko. Is meaisín feidhmithe téipe cosanta vaiféil lán-uathoibrithe é a bhfuil ról lárnach aige i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí.
Cumraíocht Chroí agus Sonraíochtaí Teicniúla
Seo a leanas príomhshonraíochtaí teicniúla an DR3000III:
Sonraíochtaí/Paraiméadair Mhíre
Cineál Trealaimh: Feidhmchlár téipe cosanta lán-uathoibrithe le haghaidh vaiféir 300mm
Méid an tSuibhleáin Infheidhme: 300mm (12 orlach) / 200mm (8 n-orlach)
Tiús an tSuibhleáin Infheidhme: 400μm nó níos tibhe
Tréchur: 68 sliseog/uair an chloig
Teicneolaíocht Feidhmchláir Téipe: Sásra rialaithe feidhmchláir chomhtháite saor ó theannas
Caighdeáin Chomhoiriúnacha: Comhlíonann sé marcáil CE agus sonraíochtaí SEMI S2/S8
Tabhair faoi deara: Tá na sonraíochtaí thuas faoi réir athraithe bunaithe ar an vaiféar, an téip agus coinníollacha eile, agus féadfaidh gnéithe roghnacha a bheith san áireamh freisin.
Príomhghnéithe agus Buntáistí
Cuireann gnéithe cumhachtacha an DR3000III ar leithligh é i réimse na déantúsaíochta beachtais:
Teicneolaíocht Feidhmchláir Gan Teannas: Seo ceann dá phríomhbhuntáistí teicneolaíochta. Trí theannas an téip a íoslaghdú roimh lannú, rialaítear go héifeachtach castacht na vaiféar tar éis meilt chúl, rud atá ríthábhachtach chun vaiféir mhóra, ultra-tanaí a láimhseáil.
Rialú lannaithe íseal-struis: Tá rialú nasctha íseal-teannais agus rialú struis ghreamaitheacha sa trealamh, rud a laghdaíonn go suntasach an baol damáiste do phatrún na vaiféir le linn lannaithe.
Comhoiriúnacht le vaiféir: Cé go bhfuil sé deartha le haghaidh vaiféir 300mm, tá sé comhoiriúnach siar le vaiféir 200mm agus tacaíonn sé le próisis speisialta le gnéithe roghnacha amhail tábla chuck téite (Uasmhéid 100°C) agus rollóirí téite (Uasmhéid 60°C). Ina theannta sin, láimhseálann sé vaiféir cnapáilte agus vaiféir a bhfuil méid áirithe castachta iontu go héifeachtach.
Uathoibriú agus faisnéis ard: Tá an trealamh feistithe leis na nithe seo a leanas:
Láimhseáil ábhar uathoibrithe: Tacaíonn sé le caiséid vaiféir oscailte tosaigh (FOUP) / caiséid oscailte, le lámh róbatach ionsuite le haghaidh luchtú agus díluchtú lán-uathoibrithe.
Ailíniú beacht: Úsáideann sé córas ailínithe CCD neamh-theagmhála chun cruinneas lannaithe a chinntiú.
Monatóireacht Chliste: Feistithe le feidhm comhaid loga chun inrianaitheacht sonraí a chinntiú; cuireann braiteadh crochta téipe cosc ar mhífheidhmeanna. Cuireann scanóir mapála vaiféil roghnach ar chumas cigireacht uathoibríoch ar ábhair atá ag teacht isteach.
Comhlíontach le Caighdeáin Arda Tionscail: Comhlíonann an trealamh caighdeáin sábháilteachta agus comhshaoil SEMI S2/S8 agus tá sé ar fáil le prótacail chumarsáide SECS/GEM roghnacha le haghaidh comhtháthú gan uaim i gcórais uathoibrithe monarchan leathsheoltóra nua-aimseartha.
Oibriú atá furasta le húsáid: Déanann scáileán tadhaill mór in éineacht le feidhm oidis an oibriú simplí agus iomasach. Ní gá d’úsáideoirí ach an t-oideas don táirge comhfhreagrach a ghlaoch chun na socruithe paraiméadair go léir a chomhlánú go huathoibríoch.
Prionsabal Oibre: Roimh an bpróiseas meilt chúl, greamaíonn an DR3000III téip chosanta go beacht le taobh patrúnach an tsaiféir ag baint úsáide as modh saor ó theannas chun damáiste meicniúil nó éilliú ceimiceach a chosc ar thaobh tosaigh an tsaiféir le linn meilt ardluais ina dhiaidh sin.
Réimsí Feidhme: Úsáidtear an DR3000III go príomha sna príomhréimsí seo a leanas:
Déantúsaíocht Leathsheoltóra: Sceallóga loighce agus sceallóga cuimhne (DRAM, Splanc NAND, srl.): Ag cosaint an struchtúir chiorcaid íogair ar thaobh tosaigh an tsliabháin i bpróisis chun cinn. Pacáistiú Ardleibhéil: Soláthraíonn sé cosaint slabháin le linn na bpróiseas pacáistithe ar leibhéal an tsliabháin 300mm atá ag éirí níos mó i gcónaí (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, srl.).
MEMS agus Braiteoirí: Cosnaíonn sé struchtúir mhicrimheicniúla agus limistéir braiteoirí le linn próiseas tanaithe ar an gcúl.
Gléasanna Leathsheoltóra Cumhachta: Próiseálann sé sceallóga le haghaidh gléasanna cumhachta amhail IGBTanna agus MOSFETanna, ag laghdú friotaíocht ar siúl agus ag feabhsú diomailt teasa trí thanú.
Comhoibriú le Trealamh Eile: Ar línte pacáistithe leathsheoltóra, oibríonn an DR3000III de ghnáth i gcomhar leis an trealamh seo a leanas:
Comhoibriú le Trealamh Feidhme Scannán: Oibríonn sé i gcomhar leis an trealamh bainte téipe Nitto NEL-MA3000-III roimh agus tar éis an phróisis tanaithe. Cuireann an DR3000III téip chosanta i bhfeidhm ar dtús chun an scealp a chosaint ar dhamáiste le linn tanaithe; tar éis tanaithe, baintear an téip chosanta go beacht leis an NEL-MA3000-III, rud a chinntíonn sláine agus sábháilteacht an scealp ultra-thanaí ar feadh an phróisis.
Comhoibriú le Trealamh Snasta: Oibríonn sé go dlúth le meaisíní snasta mar chéim chosanta. Tar éis na sceallóga a bheith brataithe le scannáin chosanta ag an DR3000III, cuirtear isteach i meaisín meilt iad ansin le haghaidh tanaithe ar an gcúl, rud a chinntíonn sábháilteacht agus cobhsaíocht an phróisis meilt go hiontaofa.
Tríd is tríd, is córas cosanta vaiféir atá speisialaithe go mór, uathoibrithe agus ardfheidhmíochta é an Nitto DR3000III. Trína theicneolaíocht lannaithe scannáin gan teannas, réitíonn sé go héifeachtach na fadhbanna coitianta maidir le lúbadh agus scealpadh a bhíonn le sárú i gcás vaiféir mhóra le linn an phróisis tanaithe ar an gcúl. Tá ról lárnach aige sa tionscal leathsheoltóra, ag feidhmiú mar phíosa trealaimh ríthábhachtach chun toradh agus iontaofacht déantúsaíochta sceallóga ardleibhéil a chinntiú. Le haghaidh luachana nó fiosrúcháin theicniúla, déan teagmháil dhíreach le hionadaithe oifigiúla Nitto nó le dáileoirí údaraithe sa tSín.


