ឧបករណ៍ ASM SIPLACE ACT 03068036

ឧបករណ៍ ASM 03068036 ACT (Advanced Calibration Tool) គឺជាប្រព័ន្ធក្រិតខ្នាតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងជាពិសេសសម្រាប់ម៉ាស៊ីនដាក់ SIPLACE ។ វា​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​សម្រាប់​ការ​ក្រិត​ខ្នាត​ទូលំទូលាយ និង​សំណង​នៃ​ប្រព័ន្ធ​ចលនា​របស់​ឧបករណ៍ ប្រព័ន្ធ​មើលឃើញ និង​ក្បាល​ដាក់។ វាគឺជាឧបករណ៍ថែទាំស្នូលដែលមានការបញ្ជាក់ ASM ។

2. តម្លៃស្នូល

ត្រូវប្រាកដថាម៉ាស៊ីនដាក់រក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់±25μmក្នុងរយៈពេលយូរ

អនុវត្តដំណើរការក្រិតដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ ដើម្បីកាត់បន្ថយកំហុសក្នុងការធ្វើអន្តរាគមន៍ដោយដៃ

គាំទ្រការថែទាំតាមការព្យាករណ៍ និងពន្យារអាយុឧបករណ៍ច្រើនជាង 30%

II. លក្ខណៈបច្ចេកទេស

ធាតុ ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេស

ប្រភេទការក្រិតតាមខ្នាត ចលនា/ចក្ខុវិស័យ/ក្បាលម៉ាស៊ីន/សីតុណ្ហភាព សំណងគ្របដណ្តប់ពេញលេញនៃតម្រូវការក្រិត

កម្រិតភាពត្រឹមត្រូវ 0.5μm laser interferometer + 2MP calibration camera ភាពត្រឹមត្រូវជាងឧបករណ៍ភាគីទីបី 3 ដង

ឧបករណ៍ដែលត្រូវគ្នា SIPLACE X/X4S/TX/D Series គាំទ្រការប្តូរដោយចុចតែម្តងនៃម៉ូដែលច្រើន

ចំណុចប្រទាក់ប្រតិបត្តិការ អេក្រង់ប៉ះទំហំ 10.1 អ៊ីង (ការការពារ IP65) ការរចនាប្រឆាំងនឹងប្រេង/ប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត

ចំណុចប្រទាក់ទំនាក់ទំនង GigE+USB3.0+WiFi 6 អត្រាបញ្ជូនទិន្នន័យរហូតដល់ 1Gbps

របៀបផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ថ្មលីចូម (អាយុកាលថ្ម 8 ម៉ោង) / DC 24V dual mode គាំទ្រការក្រិតតាមអ៊ីនធឺណិត

កម្រិតការពារ IP54 សម្របទៅនឹងបរិយាកាសសិក្ខាសាលា

III. ការពន្យល់លម្អិតនៃមុខងារស្នូល

1. ការក្រិតតាមខ្នាតចលនាដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ

សំណងអ័ក្សលីនេអ៊ែរ៖

Laser interferometer រកឃើញកំហុសទីតាំងអ័ក្ស X/Y/Z

បង្កើតតារាងសំណងជម្រេដោយស្វ័យប្រវត្តិ (រហូតដល់ 1000 ពិន្ទុ)

ការក្រិតតាមអ័ក្សបង្វិល៖

ការកែចំណុចសូន្យអ័ក្ស θ (ភាពត្រឹមត្រូវ ± 0.001°)

ការរកឃើញថាមវន្តរ៉ាឌីកាល់រត់ចេញ

2. ការក្រិតតាមប្រព័ន្ធមើលឃើញ

គំនូសតាង

កូដ

គាំទ្ររបៀបក្រិតតាមខ្នាតច្រើនកម្រិត 5-point/9-point/25-point

គណនាមេគុណបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយរ៉ាឌីកាល់/តង់សង់ដោយស្វ័យប្រវត្តិ (K1/K2/K3)

3. មុខងារវិនិច្ឆ័យឆ្លាតវៃ

ការវិភាគការពាក់មេកានិក៖ កំណត់ស្ថានភាពផ្លូវដែក/វីសតាមរយៈវិសាលគមរំញ័រ

គំរូរសាត់សីតុណ្ហភាព៖ បង្កើតខ្សែកោងសំណងភាពជាក់លាក់សីតុណ្ហភាព

ការវាយតម្លៃសុខភាពរបស់ Nozzle៖ រកឃើញការលេចធ្លាយសុញ្ញកាស/គម្លាតនៃការប្រមូលផ្តុំ

IV. ដំណើរការប្រតិបត្តិការ

ដំណើរការក្រិតតាមខ្នាតស្តង់ដារ (យកអ័ក្ស X ជាឧទាហរណ៍)៖

ដំឡើងឧបករណ៍ឆ្លុះឡាស៊ែរ interferometer (កៅអីយោងម៉ាញេទិក)

ដំណើរការ AutoTrack របៀបតាមដានដោយស្វ័យប្រវត្តិ

ប្រព័ន្ធប្រមូលទិន្នន័យកំណត់ទីតាំងចំនួន 20 សំណុំ (ដំណើរការពេញលេញ ≤ 3 នាទី)

បង្កើតឯកសារសំណង ហើយបង្ហោះទៅម៉ាស៊ីនដាក់

V. សេណារីយ៉ូកម្មវិធីធម្មតា។

សេណារីយ៉ូ កម្មវិធីជាក់លាក់

ការទទួលយកម៉ាស៊ីនថ្មី ធ្វើតេស្តស្ថេរភាពរយៈពេល 72 ម៉ោងក្រោមស្តង់ដារ ISO 9001 (CPK≥1.67)

ការថែទាំធម្មតា ការក្រិតតាមខ្នាតម៉ាស៊ីនពេញមួយត្រីមាស (រួមទាំងការធ្វើតេស្តរងចំនួន 12)

ការជួសជុលកំហុស កំណត់ទីតាំងផ្នែកពាក់នៃផ្លូវដែក XY ឱ្យបានត្រឹមត្រូវ (ការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យចន្លោះពេល 50mm)

ដំណើរការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង គាំទ្រការផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពត្រឹមត្រូវមុនការដាក់សមាសភាគ 01005

VI. ការថែទាំនិងការថែទាំ

1. ឧបករណ៍ថែទាំដោយខ្លួនឯង។

ប្រចាំថ្ងៃ៖

សម្អាតកញ្ចក់អុបទិក (ប្រើដំបងសម្អាតពិសេស)

ពិនិត្យមើលកញ្ចក់យោងសម្រាប់កោស (ត្រូវការភាពរដុប≤0.1μm)

ប្រចាំខែ៖

ក្រិត​តាម​រយៈ​រលក​ឡាស៊ែរ (633nm±0.01nm)

អាប់ដេតកម្មវិធីបង្កប់ (តាមរយៈ ASM Service Hub)

2. ការគ្រប់គ្រងសម្ភារៈប្រើប្រាស់

វដ្តជំនួសសម្ភារៈប្រើប្រាស់ គំរូដើម

ក្តារក្រិត 2 ឆ្នាំ / 500 ដង 03068036-CP

Laser Reflector ៥ឆ្នាំ 03068036-MR

ហ្វីលការពារអេក្រង់ប៉ះ 6ខែ 03068036-TF

VII. មគ្គុទ្ទេសក៍ដោះស្រាយបញ្ហា

ដំណោះស្រាយបាតុភូតកូដកំហុស

E6831 បាត់សញ្ញាឡាស៊ែរ 1. ពិនិត្យមើលការស្ទះផ្លូវពន្លឺ

2. សម្អាតឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំង

E6832 ការផ្តោតអារម្មណ៍របស់កាមេរ៉ាបានបរាជ័យ 1. អនុវត្តនីតិវិធី autofocus

2. ជំនួសក្រុមកញ្ចក់

E6833 ការទំនាក់ទំនងទិន្នន័យត្រូវបានរំខាន 1. ចាប់ផ្ដើមម៉ូឌុលវ៉ាយហ្វាយឡើងវិញ

2. ប្រើការតភ្ជាប់តាមខ្សែ

E6834 អាយុកាលថ្មមិនគ្រប់គ្រាន់ 1. បើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC

2. ជំនួសកញ្ចប់ថ្ម (48Wh)

VIII. ការវិវត្តន៍បច្ចេកវិទ្យា

ផែនការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង 2024:

រួមបញ្ចូលមុខងារណែនាំ AR (បង្ហាញជំហាននៃការក្រិតតាមខ្នាតតាមរយៈវ៉ែនតាឆ្លាតវៃ)

បន្ថែមការព្យាករណ៍កំហុស AI (ផ្អែកលើការវិភាគទិន្នន័យប្រវត្តិសាស្ត្រ)

ការកែលម្អពណ៌បៃតង៖

ម៉ូឌុលសាកថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ (ជាជម្រើស)

IX ការណែនាំអំពីការប្រើប្រាស់

តម្រូវការបុគ្គលិក៖

ការបណ្តុះបណ្តាលវិញ្ញាបនប័ត្រ ASM L2

ប្រតិបត្តិការ​មនុស្ស​ពីរ​នាក់​ត្រូវ​បាន​ណែនាំ (មនុស្ស 1 នាក់​ដើម្បី​ប្រតិបត្តិការ 1 នាក់​ដើម្បី​ពិនិត្យ​មើល)

ការអនុវត្តល្អបំផុត៖

Preheat ឧបករណ៍សម្រាប់≥30នាទីមុនពេលក្រិត

ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរយៈពេល ± 1 ℃ / ម៉ោង។

យុទ្ធសាស្ត្រគ្រឿងបន្លាស់៖

សម្ភារៈប្រើប្រាស់សំខាន់ៗត្រូវបានរក្សាទុកក្នុងស្តុកក្នុងសមាមាត្រ 1:3

វាត្រូវបានណែនាំឱ្យកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធម៉ាស៊ីនទំនេរ (សម្រាប់ខ្សែផលិតកម្មសំខាន់ៗ)

X. សេចក្តីសង្ខេប និងការវាយតម្លៃ

ឧបករណ៍ ACT ដឹងពីឌីជីថលភាវូបនីយកម្ម ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងភាពឆ្លាតវៃនៃការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់នៃម៉ាស៊ីនដាក់តាមរយៈប្រព័ន្ធបិទជិត "ការរកឃើញ-វិភាគ-សំណង"។ គុណសម្បត្តិស្នូលរបស់វាគឺ៖

សិទ្ធិអនុញ្ញាតនៃទិន្នន័យដើមរបស់រោងចក្រ៖ លទ្ធផលនៃការក្រិតតាមខ្នាតត្រូវបានសរសេរដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូលនៃឧបករណ៍

ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាព៖ ដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញគឺលឿនជាងការក្រិតដោយដៃ 5 ដង

តម្លៃពន្យារអាយុជីវិត៖ ការប្រើប្រាស់ជាប្រចាំអាចកាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់នៃការផ្លាស់ប្តូរឧបករណ៍បាន 40%