ទឹកសម្អាតបន្ទះអេក្រង់ SU-3200

SCREEN SU-3200 គឺជាប្រព័ន្ធសម្អាតបន្ទះសៀគ្វីតែមួយទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រ ដ៏ល្បីល្បាញមួយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតបន្ទះឈីបពាក់កណ្តាលសៀគ្វី។ ជាមួយនឹងទិន្នផលខ្ពស់ និងបច្ចេកវិទ្យាសម្អាតឈានមុខគេ វាបានបម្រើជាគំរូចម្បងរបស់ SCREEN អស់រយៈពេលជាយូរមកហើយ ដោយគាំទ្រដល់ការផលិតបន្ទះឈីបឡូជីខល និងអង្គចងចាំចាប់ពី 32nm ដល់ 7nm និងសូម្បីតែណូតកម្រិតខ្ពស់ជាងនេះ ដោយដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងទីផ្សារឧបករណ៍សម្អាត។

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃការកំណត់ទីតាំងស្នូល និងបច្ចេកវិទ្យា៖ ការកំណត់ទីតាំងស្នូលរបស់ SU-3200 គឺដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការសម្អាតបន្ទះតែមួយយ៉ាងសំខាន់ ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវអនាម័យខ្ពស់បំផុត ដោយបំពេញតាមតម្រូវការប្រសិទ្ធភាពខ្លាំងនៃដំណើរការជឿនលឿន។

ការរចនាដែលមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់៖ តាមរយៈស្ថាបត្យកម្មជង់គ្នាបួនស្រទាប់ប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិត ប្រព័ន្ធតែមួយអាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាមួយនឹងបន្ទប់ដំណើរការឯករាជ្យរហូតដល់ 12 ដោយសម្រេចបានសមត្ថភាពដំណើរការរហូតដល់ 800 បន្ទះសៀគ្វីក្នុងមួយម៉ោង (WPH) ដែលជាប្រព័ន្ធឈានមុខគេលើពិភពលោកក្នុងចំណោមប្រព័ន្ធសម្អាតបន្ទះសៀគ្វីតែមួយនៅពេលនោះ។

បរិស្ថានដំណើរការស្អាតបំផុត៖ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃណូត 22nm និងកម្រិតខ្ពស់ជាងនេះ SU-3200 ត្រូវបានបំពាក់ដោយបច្ចេកវិទ្យា APAC (Advanced Process Atmosphere Control) ដែលមានកម្មសិទ្ធិរបស់ SCREEN។ តាមរយៈការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវបរិស្ថានបន្ទប់នៅទូទាំងវិមាត្រច្រើន វាធានាបាននូវភាពស្អាតចុងក្រោយនៃដំណើរការសម្អាត។

ព័ត៌មានលម្អិតបច្ចេកទេសសំខាន់ៗ៖ ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលដៅពីរគឺ អត្រាលំហូរ និង អនាម័យ ម៉ាស៊ីន SU-3200 ប្រើប្រាស់ការរចនាប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិតជាបន្តបន្ទាប់ ដែលមានលម្អិតនៅក្នុងតារាងខាងក្រោម៖

វិមាត្របច្ចេកវិទ្យា | ឈ្មោះបច្ចេកវិទ្យា | មុខងារស្នូល និងវិធីសាស្ត្រអនុវត្ត

ការកែលម្អសមត្ថភាពដ៏លេចធ្លោ | បន្ទប់តូច | កាត់បន្ថយបរិមាណនៃបន្ទប់ដំណើរការតែមួយមកត្រឹមពាក់កណ្តាលនៃបន្ទប់មុនរបស់វា ដែលធ្វើឱ្យវាអាចដាក់ពង្រាយបន្ទប់បន្ថែមទៀតនៅក្នុងកន្លែងតែមួយ ដោយហេតុនេះបង្កើនបរិមាណការងារក្នុងមួយឯកតា។

ប្រព័ន្ធផ្ទេរល្បឿនលឿន | ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវតក្កវិជ្ជាផ្ទេរ និងល្បឿននៃបន្ទះសៀគ្វីរវាងបន្ទប់ ដែលជាការគាំទ្រដ៏សំខាន់សម្រាប់សម្រេចបាននូវទិន្នផលខ្ពស់ចំនួន 800 បន្ទះសៀគ្វី/ម៉ោង (WPH)។

ការធានាអនាម័យ | បច្ចេកវិទ្យា APAC | បច្ចេកវិទ្យាបន្ទប់ស្អាតខ្លាំង គឺជាពាក្យសមូហភាពសម្រាប់ស៊េរីនៃបច្ចេកវិទ្យា។ បច្ចេកវិទ្យារងស្នូលរបស់វារួមមាន៖

បន្ទប់​មីក្រូ AMC៖ កាត់បន្ថយបរិមាណខាងក្នុងនៃបន្ទប់មកត្រឹមមួយភាគបីនៃទំហំមុនរបស់វា ដែលអាចឱ្យមានការជំនួសឧស្ម័នលឿនជាងមុន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអនាម័យបរិស្ថានប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។

បន្ទះទប់លំនឹងលំហូរខ្យល់ ABG៖ ត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យលំហូរខ្យល់ស្អាតដែលបក់ចុះដោយតម្រងភាគល្អិតប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ (FFU) ស្មើគ្នា ការពារការហូរច្រោះ ឬតំបន់ងាប់នៅក្នុងបន្ទប់ និងធានាបាននូវការដកយកភាគល្អិតចេញប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។

ការការពារការប្រឡាក់កម្រិតខ្ពស់ ASP៖ តាមរយៈការរចនាដ៏ច្បាស់លាស់ កាត់បន្ថយការប្រឡាក់សារធាតុគីមីអំឡុងពេលបាញ់ថ្នាំគីមី ធានាបាននូវបរិយាកាសដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីស្អាត។

ក្បាលបាញ់ការពារខ្យល់ APN៖ ប្រើប្រាស់ "វាំងននខ្យល់" ក្នុងដំណាក់កាលស្ងួត ដើម្បីការពារផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី និងការពារស្នាមប្រឡាក់ទឹកដែលបណ្តាលមកពីសំណល់ហួតរាវ។

ការផ្គត់ផ្គង់សារធាតុគីមីដែលអាចបត់បែនបាន៖ ប្រភពគីមីអាចត្រូវបានរៀបចំយ៉ាងបត់បែន។ ទាំងប្រព័ន្ធចាក់ដោយផ្ទាល់ថាមវន្ត (DDI) និងប្រព័ន្ធប្រភេទទូមាន ដែលអនុញ្ញាតឱ្យអតិថិជនជ្រើសរើសយ៉ាងបត់បែនតាមតម្រូវការដំណើរការជាក់លាក់។

ភាពងាយស្រួលនៃការថែទាំ៖ រចនាសម្ព័ន្ធដែលអាចទាញចេញបាន៖ បន្ទប់ដំណើរការអាចត្រូវបានទាញចេញដូចជាថតសម្រាប់សម្អាតងាយស្រួល ជំនួសគ្រឿងបន្លាស់ និងការងារថែទាំផ្សេងទៀត ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំឧបករណ៍បានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ តំបន់អនុវត្ត៖ ពីការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ទំនើបៗរហូតដល់ការផលិតចាស់ទុំ

SU-3200 មានកម្មវិធីជាច្រើនប្រភេទ ដែលគ្របដណ្តប់លើដំណាក់កាលសំខាន់ៗជាច្រើននៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

បន្ទះឈីបតក្កវិជ្ជា និងអង្គចងចាំកម្រិតខ្ពស់៖ SU-3200 ត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) និងការផលិតបន្ទះឈីប រួមទាំងណូត 7nm និងកម្រិតខ្ពស់ជាងនេះ ទាំងនៅក្នុងដំណើរការផ្នែកខាងមុខ (FEOL) និងផ្នែកខាងក្រោយ (BEOL)។

សម្ភារៈ និងដំណើរការសំខាន់ៗរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ក្នុងចំណោមដំណើរការជាច្រើនដែលវាគាំទ្រគឺការសម្អាតសម្ភារៈឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ទីបី ដូចជា SiC (Silicon Carbide) និង GaN (Gallium Nitride)។

ការស្រាវជ្រាវទំនើប និងកិច្ចសហការប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ី៖ ដំណើរការដ៏មានអានុភាពរបស់ SU-3200 ធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសរបស់ស្ថាប័នស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ឈានមុខគេនៅទូទាំងពិភពលោក។ ឧទាហរណ៍ IBM បានអនុវត្ត SU-3200 នៅមជ្ឈមណ្ឌលស្រាវជ្រាវស៊ីមីកុងដុកទ័ររបស់ខ្លួននៅ Albany រដ្ឋញូវយ៉ក។ លើសពីនេះ SCREEN បានសហការជាមួយ Applied Materials ដោយដំឡើង SU-3200 នៅមជ្ឈមណ្ឌល META របស់ខ្លួនសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍដំណើរការបន្ទះឈីបកម្រិតខ្ពស់ជាងមុន។

ទីតាំងទីផ្សារ និងការចូលរួមចំណែកក្នុងប្រវត្តិសាស្ត្រ

SU-3200 មិនត្រឹមតែជាផលិតផលដ៏ជោគជ័យមួយប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាកត្តាសំខាន់ក្នុងការបង្កើតតំណែងជាអ្នកដឹកនាំទីផ្សាររបស់ SCREEN ផងដែរ។

ការត្រួតត្រាទីផ្សារ៖ បន្ទាប់ពីភាពជោគជ័យរបស់ SU-3200 ក្រុមហ៊ុន SCREEN បានពង្រឹងជំហរឈានមុខគេរបស់ខ្លួនបន្ថែមទៀតនៅក្នុងវិស័យឧបករណ៍សម្អាត។ យោងតាមទិន្នន័យផ្លូវការរបស់ SCREEN គិតត្រឹមខែកក្កដា ឆ្នាំ 2025 ការដឹកជញ្ជូនឧបករណ៍សម្អាតស៊ីមីកុងដុកទ័រសរុបរបស់ខ្លួនលើសពី 15,000 គ្រឿង ដោយកាន់កាប់ចំណែកទីផ្សារសកលលេខមួយនៅក្នុងផ្នែកជាច្រើន រួមទាំងការសម្អាតបន្ទះតែមួយ ការសម្អាតជាបាច់ និងការសម្អាតដោយបង្វិល។

សសរស្តម្ភចំណូល៖ អស់រយៈពេលជាយូរមកហើយ SU-3200 គឺជាផលិតផលសំខាន់របស់ SCREEN ហើយប្រាក់ចំណូលពីអាជីវកម្មឧបករណ៍សម្អាតរបស់វាពឹងផ្អែកយ៉ាងខ្លាំងទៅលើម៉ូដែលនេះ។