ឧបករណ៍ម៉ោនបន្ទះសៀគ្វី Nitto Semiconductor DR8500III

Nitto DR8500III គឺជាឧបករណ៍បិទកាសែតការពារដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញនៅក្នុងស៊េរី Nitto NEL SYSTEM™ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ (8 អ៊ីញ)។ និយាយឱ្យសាមញ្ញ មុខងារស្នូលរបស់វាគឺបិទស្រទាប់កាសែតការពារទាំងស្រុងទៅផ្នែកខាងមុខនៃបន្ទះសៀគ្វី (ផ្នែកដែលមានលំនាំសៀគ្វី) មុនពេលដំណើរការស្តើងផ្នែកខាងក្រោយដ៏សំខាន់ (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាការកិនផ្នែកខាងក្រោយ) ដើម្បីការពារការខូចខាតក្នុងអំឡុងពេលកិនល្បឿនលឿនជាបន្តបន្ទាប់។

ការប្រៀបធៀបប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូល DR8500III ទល់នឹង DR3000III

ដើម្បីជួយអ្នកឱ្យយល់បានយ៉ាងឆាប់រហ័សអំពីទីតាំងរបស់ DR8500III យើងបានប្រៀបធៀបវាជាមួយ DR3000III ដែលក៏គាំទ្របន្ទះសៀគ្វី 300mm ផងដែរ ដែលធ្វើឱ្យភាពខុសគ្នាជាក់ស្តែងភ្លាមៗ។

ធាតុប្រៀបធៀប៖ DR8500III (ការណែនាំសំខាន់) DR3000III

ទីតាំងសំខាន់៖ ឧបករណ៍លាបកាសែតការពារដោយស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់បន្ទះ 200 មីលីម៉ែត្រ; ឧបករណ៍លាបកាសែតការពារដោយស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់បន្ទះ 300 មីលីម៉ែត្រ

ទំហំបន្ទះស្តើងដែលអាចអនុវត្តបាន៖ ៨/៦/៥/៤ អ៊ីញ (២០០/១៥០/១២៥/១០០ ម.ម); ៣០០/២០០ ម.ម (១២ អ៊ីង/៨ អ៊ីង)

ទិន្នផល៖ ស្តង់ដារ៖ ៧៧ បន្ទះ/ម៉ោង

កំណែ RF៖ ៦៨ វ៉ាហ្វឺរ/ម៉ោង; ៦៨ វ៉ាហ្វឺរ/ម៉ោង

កម្រាស់បន្ទះសៀគ្វីដែលឆបគ្នា៖ បន្ទះសៀគ្វីដោយគ្មានការកិនផ្នែកខាងក្រោយ; 400µm ឬក្រាស់ជាងនេះ

លក្ខណៈពិសេសចម្បង និងលក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

លក្ខណៈពិសេសបច្ចេកទេសរបស់ DR8500III ពិចារណាយ៉ាងពេញលេញអំពីភាពឆបគ្នា ដំណើរការ និងភាពងាយស្រួលនៃប្រតិបត្តិការ។

ភាពឆបគ្នាយ៉ាងទូលំទូលាយនៃបន្ទះសៀគ្វី៖ ការគាំទ្រស្តង់ដារសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8/6/5 អ៊ីញ ជាមួយនឹងការគាំទ្រជាជម្រើសសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 4 អ៊ីញ។ លើសពីនេះ បន្ទះសៀគ្វី/រ៉ូឡឺរដែលមានកំដៅអាចត្រូវបានបន្ថែមជាជម្រើសមួយដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការផ្សេងៗ។

បច្ចេកវិទ្យាអនុវត្តខ្សែភាពយន្តភាពតានតឹងទាប៖ កំណែ RF របស់វាប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាអនុវត្តភាពតានតឹងទាប ដែលកាត់បន្ថយភាពតានតឹងលើបន្ទះ wafer យ៉ាងខ្លាំងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរួញ ឬការបាក់បែកបន្ទះ wafer។

ស្វ័យប្រវត្តិកម្មប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់តាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម៖ ឧបករណ៍នេះអនុញ្ញាតឱ្យប្រតិបត្តិករចូលប្រើប៉ារ៉ាម៉ែត្រផលិតកម្មដែលបានកំណត់ជាមុនបានយ៉ាងឆាប់រហ័សតាមរយៈបន្ទះប៉ះ និងមុខងាររូបមន្ត ដោយផ្តល់នូវប្រតិបត្តិការងាយស្រួល។ វាក៏អនុលោមតាមស្តង់ដារសុវត្ថិភាព CE និងផ្តល់ជូននូវពិធីការទំនាក់ទំនង SECS/GEM ជាជម្រើស ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងរលូនទៅក្នុងប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មរោងចក្រស៊ីមីកុងដុកទ័រទំនើប។

ផ្នែកអនុវត្ត៖ ទីផ្សារចម្បងរបស់ DR8500III គឺស្ថិតនៅក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រនៃបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ (8 អ៊ីញ) ដែលមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការសំខាន់ៗដូចខាងក្រោម៖

ការកិន​ខាងក្រោយ៖ នេះ​ជា​កម្មវិធី​ស្នូល​របស់​វា។ មុន​ពេល​ដំណើរការ​កិន​ខាងក្រោយ វា​ផ្តល់​នូវ​ការការពារ​មេកានិច​ដល់​ផ្នែកខាងមុខ​របស់​បន្ទះ​ស្តើង ដោយ​ការពារ​កង់​កិន​បង្វិល​លឿន​មិន​ឲ្យ​កោស​សៀគ្វី​អគ្គិសនី។ វា​ក៏​ផ្តល់​នូវ​ការការពារ​គីមី​ផងដែរ ដោយ​ការពារ​ការចម្លងរោគ​នៃ​ផ្ទៃ​បន្ទះ​ស្តើង​ដោយ​សារធាតុរាវ​ប៉ូលា និង​កំទេចកំទី។

ការ​ចិត/​ការ​កាត់​បន្ទះ​ស្តើងៗ៖ មុន​ពេល​ចិត​បន្ទះ​ស្តើង​ជា​បន្ទះ​តូចៗ​នីមួយៗ កាសែត​ចិត​ត្រូវ​បាន​បិទ​ដើម្បី​ជួសជុល​បន្ទះ​ស្តើង ដែល​ធានា​បាន​នូវ​ស្ថេរភាព និង​ភាព​ជាក់លាក់​ក្នុង​ដំណើរការ​ចិត។

ការងារសហការ និងប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ី

នៅលើខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មវេចខ្ចប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រពេញលេញ ម៉ាស៊ីន DR8500III ជាធម្មតាមិនដំណើរការតែម្នាក់ឯងទេ ប៉ុន្តែសហការជាមួយឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតដំណើរការផលិតរង្វិលជុំបិទជិតនៃ "ការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត - ដំណើរការ - ការដកខ្សែភាពយន្តចេញ"។

ការសហការជាមួយម៉ាស៊ីនដកខ្សែភាពយន្តចេញ៖ បន្ទាប់ពីដំណើរការដូចជាការស្តើងផ្នែកខាងក្រោយ និងការដុតឡាស៊ែរ កាសែតការពារត្រូវតែដកចេញ ដែលតម្រូវឱ្យមានម៉ាស៊ីនដកខ្សែភាពយន្តចេញ។ ឧទាហរណ៍ ម៉ាស៊ីនដកកាសែតចេញដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ HR8500III របស់ Nitto គឺជាជម្រើសទូទៅមួយដើម្បីផ្គូផ្គងជាមួយ DR8500III។

ការសហការជាមួយឧបករណ៍កិន/កាត់ជាដុំៗ៖ ដំណើរការលាបខ្សែភាពយន្តរបស់ DR8500III គឺជាតំណភ្ជាប់ដ៏សំខាន់មួយក្នុងការផ្តល់ "ការព្យាបាលសម្ភារៈជាមុន" សម្រាប់ឧបករណ៍ដំណើរការស្នូលដូចជាម៉ាស៊ីនកិន និងម៉ាស៊ីនកាត់ជាដុំៗ។

សង្ខេប

សរុបមក ម៉ាស៊ីន Nitto DR8500III គឺជាម៉ាស៊ីនដាក់ស្រទាប់ប្លាស្ទិកទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ដែលមានអាយុកាលយូរ មានស្ថេរភាព និងមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ តម្លៃស្នូលរបស់វាស្ថិតនៅក្នុងការផ្តល់ការការពារដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ស្រទាប់ប្លាស្ទិកមុនពេលដំណើរការសំខាន់ៗដូចជាការស្តើងផ្នែកខាងក្រោយតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ប្លាស្ទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ និងមានភាពតានតឹងទាប ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ធានាបាននូវទិន្នផល និងដំណើរការនៃបន្ទះឈីបចុងក្រោយ។