ThinkLaser SigmaClean leysimerkjavél fyrir skífur

ThinkLaser SigmaClean er fullkomlega sjálfvirkt „mjúkmerkingar“ leysigeislamerkingarkerfi sem er sérstaklega hannað fyrir 100 mm til 200 mm skífur og uppfyllir að fullu kröfur um hreinrými af flokki 1. Meginmarkmið þess er að nýta einkaleyfisvarða leysigeislatækni til að veita hálfleiðaraskífum skilvirkar, endingargóðar og mjög læsilegar merkingar — án þess að mynda agnamengun — og þannig gera sjálfvirka rekjanleika mögulega allan líftíma skífunnar.

**Tæknilegar meginreglur**

Helstu styrkleikar SigmaClean liggja í stýrðri hreinni tækni og stöðugri, nákvæmnislega hönnuðri vélbúnaðarhönnun.

**Patentvernduð SuperSoftMark® tækni:** Þetta er lykilatriðið sem greinir SigmaClean frá öðrum búnaði. Með því að stjórna orku leysigeislans nákvæmlega fæst sannarlega „rusllaus“ merking. Þessi eiginleiki útilokar í grundvallaratriðum hættuna á agnamengun, sem gerir kleift að nota kerfið á öruggan hátt í framleiðsluumhverfi þar sem hreinlætiskröfur eru afar strangar.

**Mjög stöðugur díóðudælu-föstu leysir:** Kerfið notar einkaleyfisvarinn díóðudælu-föstu leysi sem einkennist af einstakri stöðugleika milli púlsa. Þetta tryggir mikla samræmi í dýpt og ávölleika hvers merkts punkts og tryggir þannig stöðugleika og endurtekningarhæfni merkingargæða.

**Öflug ljós- og sjálfvirknikerfi:** Öll vélin er með fullkomlega sjálfvirkri hönnun, styður SECS II/GEM samskiptareglur fyrir sjálfvirka verksmiðju og samþættist óaðfinnanlega við almenn sjálfvirk kerfi fyrir meðhöndlun skífa, svo sem SMIF (Standard Mechanical Interface) skífuhylki.

**Helstu kostir og eiginleikar**

Kostir SigmaClean ná lengra en háþróaða merkingargetu þess heldur einnig til þess áþreifanlega gildis sem það veitir skífuframleiðslustöðvum.

**Óviðjafnanleg hreinlæti:** Uppfyllir kröfur um eindrægni í hreinrýmum í 1. flokki (alþjóðlegi staðallinn ISO flokkur 3), sem gerir það að kjörnum valkosti fyrir verksmiðjur sem framleiða skífur með afar kröfum um hreint umhverfi.

**Mikil afköst og hagkvæmni:** Þetta kerfi notar mjúka merkingarferlið — sem var sérstaklega þróað til að merkja slípaðar skífur í hreinum herbergjum og er nú staðall í greininni — til að veita mjög hagkvæma lausn.

**Samræmd gæði og rekjanleiki merkingar:** Framúrskarandi púlsstöðugleiki leysigeislans er lykillinn að því að ná einsleitri punktadýpt og ávölleika, sem er mikilvægur þáttur í að auka greiningartíðni síðari vélrænna sjónkerfa (sjónræn stafagreining, OCR). Samtímis býr kerfið til varanleg, læsileg merki, sem veitir rekjanleika á öllum stigum framleiðslunnar.

Mikil sveigjanleiki í notkun: Hægt er að setja marga merkjahópa í hvaða stefnu sem er á yfirborði skífunnar, þar sem merkingarstaðsetningar eru takmarkaðar við hringlaga svæði innan við 25 mm frá brún skífunnar.

Upplýsingar og rekstur/viðhald

Upplýsingar um flokkun | Ítarlegar breytur og lýsing

Flokkun búnaðar | Fullsjálfvirkt, ISO 3 / Class 1 hreinrýmishæft, 100–200 mm mjúkmerkjakerfi fyrir skífur

Stærð á skífu | Staðlað stuðningur fyrir 100 mm – 200 mm (4–8 tommur)

Tegund leysigeisla | Sigma100 IR díóðudælu-fastfasa leysir

Merkingartækni | Einkaleyfisvarið SuperSoftMark® (rusllaus mjúk merking)

Merkingarstaðsetning | Sérhver stefnumörkun innan 25 mm hringlaga svæðisins við brún skífunnar

Samskiptaviðmót | SECS II/GEM, hálfstaðlað hýsingarviðmót

Flutningur/Spóla | 3 opnar spólustöðvar; valfrjáls 200 mm SMIF hylki millistykki

Valfrjálsir eiginleikar | OCR/Strikamerkjalestur og endurmerking

Hugbúnaðarkerfi | Notendaviðmót fyrir Windows®

Samræmi og vottun | Í samræmi við SEMI S2/S8, CE og aðra staðla

Rafmagn og loftframboð | Staðlað iðnaðar einfasa 220V aflgjafi og hreint þrýstiloft

SigmaClean er einnig hannað með auðvelt viðhald í huga:

**Auðvelt viðhald:** Kerfishönnunin auðveldar einfalt daglegt viðhald; reglubundin eftirlit - eins og linsuhreinsun - er hægt að klára á um það bil 5 mínútum. Þar að auki býður búnaðurinn upp á sjálfvirka daglega sjálfgreiningu og veitir skýrar leiðbeiningar um viðhaldsferla ef bilun kemur upp, sem auðveldar notandastýrt viðhald.

**Öryggi og hreinlæti:** Heildarhönnun vélarinnar er í samræmi við alþjóðlega öryggisstaðla (t.d. SEMI S2/S8, CE o.s.frv.) og er búin innbyggðu ryksogskerfi, sem tryggir enn frekar öryggi og hreinlæti í framleiðsluumhverfinu.

**Helstu aðgerðir og notkunarsviðsmyndir**

**Framleiðsla á skífum að framan:** Hentar fyrir skífur úr efnum eins og kísil, SiC og GaAs, í stærð frá 100 mm til 200 mm. Með því að grafa einstakt auðkenni á upphafsstigum framleiðslunnar gerir kerfið kleift að rekja gæði frá upphafi til enda og stjórna tölfræðilegri ferlum (SPC).

**Ítarleg umbúðir:** Veitir mikilvæg rekjanleikaauðkenni innan umbúða á skífustigi (WLP) eða endurgerðra skífuferla.

**Rannsóknir og þróun og framleiðsla í litlum lotum:** Sveigjanleg og sjálfvirk hönnun gerir það tilvalið fyrir rannsóknir og þróun og tilraunaframleiðsluumhverfi sem einkennast af mikilli blöndun og litlu framleiðslumagni.

**Yfirlit og samanburður**

Í stuttu máli má segja að ThinkLaser SigmaClean er tæki sem uppfyllir fremstu staðla í greininni hvað varðar hreinleika, stöðugleika og sjálfvirkni. Með því að nýta sér einkaleyfisvarða SuperSoftMark® tækni sína leysir það á áhrifaríkan hátt kjarnavandamálið - agnamengun - sem oft tengist hefðbundnum merkingaraðferðum og þar með kemur það sér fyrir sem viðmið á sviði „mjúkrar merkingar“ fyrir 4 til 8 tommu skífur. Til að fá betri skilning á staðsetningu þess innan vörulínunnar, vinsamlegast skoðið eftirfarandi samanburð við SC300 - annað mjúkmerkingartæki:

**Eiginleiki** | **SigmaClean** | **SC300**

**Aðalstaðsetning** | Fullkomlega sjálfvirkt mjúkmerkingarkerfi fyrir 100–200 mm (4–8 tommur) skífur | Fullkomlega sjálfvirkt mjúkmerkingarkerfi fyrir 300 mm (12 tommur) skífur

**Notkun á markaði** | Miðað við verksmiðjur sem framleiða hálfleiðaraskífur og pökkunarstöðvar sem meðhöndla 8 tommu og minni skífur; þjónar sem leiðandi lausn á þessum markaðshluta | Víða notað af öllum framleiðendum samþættra tækja (IDM) og skífusteypustöðvum fyrir 300 mm

**Tæknilegir eiginleikar** | Samhæft við hreinrými í 1. flokki; notar einkaleyfisvarða SuperSoftMark® tækni til að ná fram rusllausri merkingu | Notar einnig mjúka merkingartækni, sem veitir nauðsynlega eindrægni, hreinleika, merkingargæði og áreiðanleika sem krafist er fyrir 300 mm fjöldaframleiðslu

**Flutningskerfi** | Venjulega stillt með 3 opnum kassettustöðvum; SMIF-hylki fáanleg sem valmöguleiki | Venjulega samhæft við sameinaðar hylki með opnun að framan (FOUP); styður OHT (yfirborðslyftuflutninga) kerfi

**Staða í greininni** | Leiðandi lausn í greininni fyrir mjúka merkingu á 4–8 tommu skífum | Staðallinn í greininni fyrir mjúka merkingu í 300 mm skífuframleiðslu, með gríðarlegan uppsettan grunn (yfir 140 einingar)