SKJÁRVÖFLUHREINSIR SU-3200

SCREEN SU-3200 er kennileiti í 300 mm einföldu hreinsikerfi fyrir hálfleiðaraframleiðslu. Með yfirburða afköstum og leiðandi hreinleikatækni var það lengi vel meginfyrirmynd SCREEN og studdi framleiðslu á rökfræði- og minnisflögum frá 32nm til 7nm og jafnvel flóknari hnútum og gegndi lykilhlutverki á markaði hreinsibúnaðar.

Kjarnastaðsetning og yfirlit yfir tækni: Kjarnamarkmið SU-3200 er að auka verulega afköst hreinsunar á einni skífu, en jafnframt viðhalda afar mikilli hreinleika, sem uppfyllir kröfur um mikla skilvirkni háþróaðra ferla.

Háafköst: Með nýstárlegri fjögurra laga staflaðri hönnun er hægt að stilla eitt kerfi með allt að 12 sjálfstæðum vinnsluklefum og ná vinnslugetu allt að 800 skífum á klukkustund (WPH), sem var leiðandi í heiminum meðal hreinsunarkerfa fyrir stakar skífur á þeim tíma.

Ofurhreint vinnsluumhverfi: Til að uppfylla strangar kröfur 22nm og flóknari hnúta er SU-3200 búinn sérhönnuðu APAC (Advanced Process Atmosphere Control) tækni SCREEN. Með því að fínstilla hólfumhverfið yfir margar víddir tryggir það fullkomna hreinleika í hreinsunarferlinu.

Lykil tæknilegar upplýsingar: Til að ná tvöföldum markmiðum um afköst og hreinleika notar SU-3200 röð nýstárlegra hönnunar, sem eru tilgreindar í töflunni hér að neðan:

Tæknivídd | Nafn tækni | Kjarnahlutverk og framkvæmdaraðferð

Byltingarkennd úrbót í afkastagetu | Samþjappað vinnsluhólf | Minnkar rúmmál eins vinnsluhólfs niður í helming miðað við forvera þess, sem gerir það mögulegt að setja upp fleiri hólf innan sama rýmis og þar með auka afköst á flatarmálseiningu.

Háhraða flutningskerfi | Hámarkar flutningsrökfræði og hraða skífa milli hólfa, sem er lykilatriði til að ná mikilli afköstum upp á 800 skífur/klst. (WPH).

Hreinlætistrygging | Tækni í Asíu og Kyrrahafi | Tækni fyrir ofurhreinar hólf er samheiti yfir röð tækni. Helstu undirtækni hennar eru meðal annars:

AMC örhólf: Minnkar innra rúmmál hólfsins niður í þriðjung af fyrri hólfinu, sem gerir kleift að hraða gasskiptingu og bætir umhverfishreinleika á áhrifaríkan hátt.

ABG loftflæðisjöfnunarhlíf: Notuð til að jafna hreint loftflæði sem efri, skilvirka agnasían (FFU) blæs niður, til að koma í veg fyrir hvirfilbyl eða dauð svæði í hólfinu og tryggja skilvirka fjarlægingu agna.

ASP háþróuð skvettuvörn: Með nákvæmri hönnun er efnaskvettum lágmarkað við efnaúðun og tryggt hreint umhverfi við vinnslu á skífum.

APN loftverndarstút: Notar „lofttjald“ á þurrkunarstigi til að vernda yfirborð skífunnar og koma í veg fyrir vatnsbletti af völdum vökvauppgufunarleifa.

Sveigjanleg efnaframboð: Hægt er að útvega efnagjafa á sveigjanlegan hátt. Bæði bein innspýting (DDI) og skápakerfi eru í boði, sem gerir viðskiptavinum kleift að velja sveigjanlega í samræmi við sérstakar kröfur um ferli.

Auðvelt viðhald: Útdraganleg uppbygging: Hægt er að draga vinnsluhólfið út eins og skúffu til að auðvelda þrif, skipta um íhluti og annað viðhald, sem dregur verulega úr niðurtíma búnaðar. Notkunarsvið: Frá nýjustu rannsóknum og þróun til fullþróaðrar framleiðslu

SU-3200 hefur fjölbreytt notkunarsvið og nær yfir mörg lykilstig í framleiðslu hálfleiðara.

Háþróaðar rökfræði- og minnisflögur: SU-3200 er notað í rannsóknum og þróun og framleiðslu á flögum, þar á meðal 7nm og háþróaðri hnútum, bæði í framenda (FEOL) og bakenda (BEOL) ferlum.

Lykilefni og ferli hálfleiðara: Meðal þeirra fjölmörgu ferla sem það styður er hreinsun þriðju kynslóðar hálfleiðaraefna eins og SiC (kísillkarbíð) og GaN (gallíumnítríð).

Rannsóknir á fremstu brún og samstarf um vistkerfi: Öflug afköst SU-3200 gera það að vali leiðandi rannsóknar- og þróunarstofnana um allan heim. Til dæmis hefur IBM innleitt SU-3200 í rannsóknarmiðstöð sinni fyrir hálfleiðara í Albany, New York. Þar að auki hefur SCREEN tekið höndum saman með Applied Materials og sett upp SU-3200 í META Center sínu til að þróa flóknari örgjörvaferla.

Markaðsstaða og söguleg framlög

SU-3200 er ekki aðeins farsæl vara heldur einnig lykilþáttur í að koma SCREEN á fót markaðsleiðtogastöðu.

Markaðsyfirráð: Í kjölfar velgengni SU-3200 styrkti SCREEN enn frekar leiðandi stöðu sína á sviði hreinsibúnaðar. Samkvæmt opinberum gögnum SCREEN fóru samanlagðar sendingar af hálfleiðarahreinsibúnaði yfir 15.000 einingar í júlí 2025 og eru með mesta markaðshlutdeild á heimsvísu í mörgum geirum, þar á meðal hreinsun á einstökum skífum, lotuhreinsun og snúningshreinsun.

Tekjuþáttur: Lengi vel var SU-3200 aðalafurð SCREEN og tekjur fyrirtækisins af hreinsibúnaði voru mjög háðar þessari gerð.