SEMES BLUEICE PRIME þvottaefnishreinsir

BLUEICE PRIME frá SEMES er 300 mm fullkomlega sjálfvirkt hreinsikerfi fyrir eina skífu, hannað fyrir framleiðslu á háþróaðri ferlistækni (LPT) og minnisflögum. Þetta er þróað og framleitt af SEMES, lykilbúnaðarbirgja Samsung Electronics, og er lykilbúnaður til að bæta fjöldaframleiðslugetu í nýjustu ferlum eins og 2nm.

Kjarnaárangur: Jafnvægi á háþróuðum ferlum og afkastagetu

Framúrskarandi afköst í ferlinu: Fær um að fjarlægja agnir á 19nm stigi, sem bætir verulega einsleitni etsunar um meira en 40%.

Hágæða hönnun með afkastagetu: Sem 300 mm hreinsunarkerfi fyrir eina skífu meðhöndlar það yfir 500 skífur á klukkustund (WPH) og uppfyllir þannig á áhrifaríkan hátt kröfur stórfelldrar fjöldaframleiðslu.

Tæknilegir eiginleikar: Margar sjálfstætt þróaðar nýstárlegar hönnunar

Nýstárleg háhita fosfórsýruferli: Kjarnaferlið notar háhita fosfórsýru til að etsa og fjarlægja skífur. Nákvæm stjórnun á úðun og hitastigi dregur á áhrifaríkan hátt úr dreifingu og gallatíðni í ferlinu, sem bætir verulega 2nm flísafköst.

**Sjálfstætt þróaður háhitaspennubúnaður:** Þessi tækni bætir hitastigsjöfnuði við upphitun skífna, dregur verulega úr ferlisgöllum og vinnur bug á takmörkunum hefðbundinna blauthreinsunaraðferða.

**Ítarleg mengunarstýring:** NIC (Non-Interaction Clean) hólfið kemur í veg fyrir krossmengun á áhrifaríkan hátt, ásamt SF-Aerosol (hraði/einn dropatækni) fyrir líkamlega hreinsun.

**Mjög samþætt greindarkerfi:** Það er búið APAC, AIS (sjálfvirku greiningarkerfi) og SEAS (snjallt búnaðargreiningarkerfi) og nær nákvæmri flæðisstýringu og snjallri greiningu á stöðu búnaðar.

**Notkunarsvið:** Staðsett hjá Samsung, þjónustar helstu viðskiptavini um allan heim.

BLUEICE PRIME miðar fyrst og fremst á leiðandi framleiðendur alþjóðlegra rökfræðiflísa og minnisframleiðenda. Þessi búnaður nýtir sér stöðu móðurfélagsins SEMES sem dótturfélags Samsung Group og er djúpt samþættur fullkomnustu framleiðslulínum Samsung fyrir skífur. Blauthreinsunarlausn þess myndar heildstætt vistkerfi með öðrum kjarnabúnaði eins og litografíu (OMEGA serían) og etsun (MICHELAN serían). Það er vert að taka fram að SEMES hefur stækkað viðskiptasvið sitt til alls HBM (High Bandwidth Memory) framleiðslusviðsins og þróað og fjöldaframleitt með góðum árangri hitalímingarvél (TC Bonder) fyrir HBM flísauppbyggingu.

Í stuttu máli sýnir BLUEICE PRIME fram á mikla tæknilega styrk SEMES á sviði hálfleiðarabúnaðar. Það er mikilvægur þáttur í viðleitni Samsung Group til að styrkja stöðu sína sem leiðandi á heimsvísu í háþróaðri ferlatækni og lykiltæki til að styðja við framsækna framleiðslu undir 2nm.