TEL CELLESTA™ -i MD skífuhreinsir

TEL CELLESTA™ -i MD er flaggskip Tokyo Electron (TEL) í 300 mm einföldum hreinsunarkerfi fyrir 10nm og flóknari vinnsluhnúta. Það er sérstaklega hannað til að takast á við áskoranir í kjarnaferlum eins og viðkvæmni örmynstraðra bygginga fyrir skemmdum við hreinsun og þurrkun í flóknum ferlum og er lykiltæki sem styður við aukna afköst fyrir hágæða flísar.

Kjarnaafköst: Sundurliðun tækni og gagnastuðningur

Til að veita betri skilning eru helstu tæknilegu eiginleikar þess teknir saman hér að neðan:

Helstu eiginleikar, afkastavísar og tæknilegar upplýsingar

Staðsetning ferla Markmið 10nm og flóknari ferlahnúta, sérhæfing í eyðileggjandi hreinsun og agnaeyðingu á mynstruðum yfirborðum skífa.

Kjarnatækni: Þrif og þurrkun Ná fram þurrkun án þess að mynstrið falli saman með stjórnun á andrúmslofti í hólfinu og hámarksnýtingu á afköstum IPA (ísóprópýlalkóhóls) stúta; getur notað efnalausnir eins og SC-1 og DHF fyrir blautetsun; og getur samþætt líkamlega hreinsunaraðgerðir eins og burstun og tvívökvaúðun.

Mikil afköst og mátbygging: Hægt að stilla með allt að 20 hreinsihólfum, sem nær afkastagetu allt að 1000 skífum á klukkustund (WPH) og styður sveigjanlega stækkun á skáhreinsieiningum.

Lágur rekstur: Innbyggt efnaendurvinnslukerfi dregur verulega úr rekstrarkostnaði (CoO2) og sparar á áhrifaríkan hátt notkun brennisteinssýru.

Áreiðanleiki: Flutningskerfi þess hefur farið í gegnum 750 milljón meðhöndlunarlotur á skífum án villustaðfestingar, sem tryggir afar mikinn stöðugleika í fjöldaframleiðslu.

Notkun: Þökk sé leiðandi tækni og stöðugri afköstum er CELLESTA™ -i MD mikið notað í framleiðslu á háþróuðum hálfleiðurum og gegnir ómissandi hlutverki á eftirfarandi sviðum:

Rökfræðiflísar: Veita hreina yfirborðsfleti skífa til framleiðslu á afkastamiklum rökfræðiflísum eins og örgjörvum, skjákortum og gervigreindarörgjörvum.

Minnisflísar: Notaðir við framleiðslu á minnisflísum eins og DRAM og 3D NAND Flash, sem tryggja nákvæmni og áreiðanleika minnisfruma.

Háþróaðar umbúðir: Víða notaðar í hreinsunarskrefum háþróaðra umbúðaferla eins og BSI (baklýst), 3D staflanningu, bakknúnum umbúðum og SoIC (kerfi á flís).

Mat á iðnaði og markaðsstaða

Sem hágæða gerð í CELLESTA seríunni er -i MD dæmi um fremstu röð TEL í hreinsun á einstökum skífum. Með framúrskarandi hreinsunargetu og viðurkenndri mikilli áreiðanleika hefur þessi sería af kerfum, ásamt SCREEN, trausta leiðandi stöðu á alþjóðlegum markaði fyrir hreinsunarbúnað fyrir hálfleiðara, sem gerir hana að ómissandi búnaði sem styður við fjöldaframleiðslu á nýjustu örgjörvum.