DISCO vöfflukvörn DFG8541

DISCO DFG8541 er fullkomlega sjálfvirk kvörnunarvél sem þróuð er til að mæta þörfum þynningar á 8 tommu skífum og minni. Sem uppfærsla á forvera sínum, metsöluvélinni DFG8540, má staðsetja hana sem „aðalgerð fyrir þynningu 8 tommu skífa,“ þekkt fyrir mikla nákvæmni, hreinleika og framúrskarandi stöðugleika, sérstaklega hentug til vinnslu á hörðum og brothættum efnum eins og kísilkarbíði (SiC).

Eftirfarandi er ítarleg kynning á starfsháttum þess, kjarnastarfsemi, forskriftum og markaðsvirði.

Vinnuregla: Tvöfaldur kjarna samvirkni skilvirkni og nákvæmni

DFG8541 notar „tvíþætta spindla, þrjá sogbolla“ arkitektúr.

Skýr verkaskipting: Einn spindillinn er með gróft slípihjól til að fjarlægja aðalefnið fljótt af bakhlið skífunnar; hinn spindillinn er með fínt slípihjól til að fínpússa yfirborðið og ná fram sléttri, flatri og skemmdalausri lokaniðurstöðu.

Mjög skilvirkt ferli: Skífan er lofttæmd á vinnuborðið. Með nákvæmri ferlisskipulagningu er náð fram fullkomlega sjálfvirku vinnuflæði með „einskiptis klemmu, samfelldri vinnslu“, sem kemur í veg fyrir hættu á mengun og skemmdum af völdum flutnings efna á milli mismunandi tækja.

Notkun og hlutverk: Meira en kísill

Sem almennur tæki gegnir það lykilhlutverki í þriðju kynslóð hálfleiðara.

Kjarnaverkefni: Þynning 8 tommu og minni skífur (Si/SiC) til að ná fram þykkt, tryggja framúrskarandi þykktarjöfnu (TTV) og fjarlægja yfirborðsskemmdir sem orsakast af fyrri ferlum.

Vaxandi aðalatriði: Með því að velja spindil með miklu togi getur DFG8541 unnið stöðugt með efni með mjög miklum hörku eins og SiC. Þetta er aðalástæðan fyrir því að hann er mjög vinsæll á núverandi markaði fyrir aflgjafa.

Yfirlit yfir lykilbreytur

Færibreytuflokkur | Sérstakar forskriftir

Viðeigandi vinnustykki: Φ8 tommur (200 mm) og minna; samhæft við Φ4, 5, 6 og 8 tommu skífur með alhliða klemmu.

Malaaðferð: Snúnings langsum innfóðrunarmala

Snældustilling: Tvöfaldur snælda (2 ásar), loftvökvastýrður snælda (staðall)

Snúningshraði: 1.000 - 7.000 snúningar á mínútu

Snælduafl: Staðlað 4,2 kW

Vinnuborðsstillingar: Þrjú vinnuborð (3 chuckborð)

Upplýsingar um slípihjól: Φ200 mm demantslípihjól

Stærð búnaðar (B x D x H): U.þ.b. 1.100 × 2.800 × 1.800 mm

Þyngd búnaðar: U.þ.b. 3.000 kg

Lykilvirkni og eiginleikar

DFG8541 er veruleg uppfærsla frá DFG8540.

Eiginleikar/virkni Nánari lýsing

Yfirburða hreinsunargeta: Fjölstöðva stútar með tveimur vökva: Í samanburði við hefðbundna loft-vatnshreinsun fjarlægir þessi tækni kröftuglega fínar rykagnir sem festast við skífuna eftir kvörnun. Þessi tækni er mikið notuð í kjarnavinnustöðvum eins og sogskálum og vinnustykkjum, sem dregur á áhrifaríkan hátt úr hættu á að þunnar skífur brotni.

Snertilaus jöfnun: Notar myndavél til að staðsetja miðju skífunnar, koma í stað líkamlegrar snertingar og útrýma rispum eða skemmdum á brúnum meðan á jöfnunarferlinu stendur.

Snjöll framleiðsla: Uppskrift fyrir hverja skífu: Gerir kleift að vinna sjálfkrafa úr mismunandi skífum innan sömu skífukassettu samkvæmt viðkomandi forstilltum uppskriftum (kvörnunarþykkt, hraði o.s.frv.) og aðlagast fullkomlega að framleiðslu á fjölbreytni í litlum lotum.

Verndunaraðgerðir fyrir skífur: Samþættir marga verndarkerfi, þar á meðal kortlagningu skífa (gegn rangri stillingu/tómri skífu), forskoðun á þykkt (gegn tvöföldu límbandi) og lofttæmishald (viðvörun um skyndilegt rafmagnsleysi), sem tryggir öryggi verðmætra skífa.

Rafstillanleg hallaleiðrétting: Hægt er að fínstilla halla sogbollans rafrænt með gildum á skjánum, sem fínstillir vinnsluformið og dregur úr handvirkum niðurtíma vegna kvörðunar.

Verulega bætt notendaviðmót: 19 tommu stærri skjár með notendaviðmóti: Í samanburði við 15 tommu skjáinn á DFG8540 er skjárinn ekki aðeins stærri heldur er hann einnig með innsæi og notendavænt grafískt viðmót.

Bætt viðhald: Bætt innri hreinsunarbygging auðveldar viðhald.

Orkusparandi og nett hönnun: Nýja loftsnúran dregur úr loftnotkun um 50%; innbyggða lofttæmisdælan minnkar pláss um 15% samanborið við forverann, sem sparar bæði vélbúnað og rekstur.

Markaðsstaða og virði: Í samanburði við flaggskipið DGP8761 sem miðar á 12 tommu markaðinn, einbeitir DFG8541 sér meira að 8 tommu markaðnum, sem gerir það að dæmigerðri „afkastamikilli og hagkvæmri“ flaggskipsvél:

Afkastastaða: DFG8541 er afkastamikill viðmiðunarpunktur fyrir 8 tommu kvörn. Með því að velja snúningsás með miklu togi tekst henni að sigrast á þynningarvandamálum hörðra og brothættra efna eins og SiC og styrkir þannig algjöran yfirburði sína á 8 tommu markaðnum.

Fjárfestingargildi: Sem stöðug uppfærsla á þroskuðum vettvangi er það áreiðanlegt hvað varðar langtíma stöðugan rekstur og samfellda framleiðslu, sem gerir það að mjög skilvirkum, lágáhættulegum og áreiðanlegum valkosti fyrir fjárfestingu í 8 tommu framleiðslulínubúnaði. Fremstu innlendu háskólarnir (eins og Xi'an Jiaotong háskólinn) hafa þegar keypt þennan búnað fyrir framsækna rannsóknir.

Kröfur um viðhald og uppsetningu: Til að tryggja stöðugan og nákvæman rekstur DFG8541 til langs tíma er nauðsynlegt að fylgja kröfum DISCO um uppsetningarumhverfið stranglega:

Hreinlæti umhverfis: Það verður að vera sett upp í hreinu herbergi þar sem mikil hreinlæti er gætt. Umhverfishitastigið verður að vera stöðugt á bilinu 20-25°C, með sveiflum innan ±1°C. Rakastig þarf yfirleitt að vera undir 55%.

Aflgjafi:

Þrýstiloft: Nauðsynlegt er að nota hreint, þurrt og olíulaust, hágæða þrýstiloft við þrýsting upp á 0,5 MPa eða hærra.

Rafmagn: Þriggja fasa aflgjafa sem passar við aflþarfir búnaðarins er nauðsynlegur.

Kælivatn: Afjónað vatn (DI vatn) með stöðugum rennslishraða og föstu hitastigi er nauðsynlegt fyrir kælingu á spindlinum. Vatnshitastigið ætti venjulega að vera í samræmi við stofuhita með lágmarks hitasveiflum.

Regluleg skoðun og skipti á slípihjólum, hreinsun á lofttæmisspennum og viðhald á loftsnúru eru mikilvæg til að lengja líftíma búnaðarins og tryggja vinnsluafköst.

Í stuttu máli er DISCO DFG8541 þróuð og áreiðanleg 8 tommu lausn til að þynna skífur. Hún nær fremstu frammistöðu í greininni á kjarnasviðum sínum og er fullkomlega fínstillt fyrir sjálfvirkni, hreinleika og auðvelda notkun til að mæta þörfum nútíma framleiðslu.