SCREEN plokštelių valiklis SU-3200

„SCREEN SU-3200“ – tai istorinė 300 mm vienos plokštelės valymo sistema puslaidininkių gamybos pramonėje. Dėl didelio našumo ir pirmaujančios švaros technologijos ji ilgą laiką buvo pagrindinis „SCREEN“ modelis, palaikantis loginių ir atminties lustų nuo 32 nm iki 7 nm ir dar pažangesnių mazgų gamybą, vaidindama labai svarbų vaidmenį valymo įrangos rinkoje.

Šerdies padėties nustatymas ir technologijos apžvalga: SU-3200 šerdies padėtis yra tokia, kad žymiai padidėtų vienos plokštelės valymo našumas, išlaikant itin aukštą švarą ir atitinkant pažangių procesų ekstremalius efektyvumo reikalavimus.

Didelio našumo konstrukcija: Dėl novatoriškos keturių sluoksnių architektūros vieną sistemą galima sukonfigūruoti su iki 12 nepriklausomų proceso kamerų, pasiekiant iki 800 plokštelių per valandą (WPH) apdorojimo pajėgumą, kuris tuo metu buvo pasaulinis lyderis tarp vienos plokštelės valymo sistemų.

Itin švari proceso aplinka: Siekiant atitikti griežtus 22 nm ir pažangesnių mazgų reikalavimus, SU-3200 aprūpintas patentuota SCREEN APAC (pažangios proceso atmosferos valdymo) technologija. Optimizuojant kameros aplinką keliais matmenimis, užtikrinamas maksimalus valymo proceso švarumas.

Pagrindinės techninės detalės: Siekiant dvigubo našumo ir švaros tikslų, SU-3200 naudoja keletą novatoriškų konstrukcijų, kurios išsamiai aprašytos toliau pateiktoje lentelėje:

Technologijos aspektas | Technologijos pavadinimas | Pagrindinė funkcija ir įgyvendinimo metodas

Proveržis pajėgumų didinime | Kompaktiška kamera | Sumažina vienos proceso kameros tūrį perpus, palyginti su ankstesnės kameros tūriu, todėl toje pačioje erdvėje galima išdėstyti daugiau kamerų, taip padidinant našumą ploto vienete.

Didelės spartos perdavimo sistema | Optimizuoja plokštelių perdavimo logiką ir greitį tarp kamerų, o tai yra pagrindinė priemonė siekiant didelio 800 plokštelių per valandą (WPH) pralaidumo.

Švaros užtikrinimas | APAC technologija | Itin švarios kameros technologija yra bendras terminas, apimantis technologijų seriją. Pagrindinės jos subtechnologijos apima:

AMC mikrokamera: vidinis kameros tūris sumažintas iki trečdalio, palyginti su ankstesne kamera, todėl dujos pakeičiamos greičiau ir efektyviai pagerinama aplinkos švara.

ABG oro srauto balansavimo pertvara: naudojama išlyginti švaraus oro srautą, pučiamą žemyn viršutinio didelio efektyvumo kietųjų dalelių filtro (FFU), siekiant išvengti sūkurių ar negyvų zonų kameroje ir užtikrinti efektyvų kietųjų dalelių pašalinimą.

ASP pažangi apsauga nuo purslų: dėl tikslaus dizaino, cheminių medžiagų purslų purškimo metu sumažinamas jų kiekis ir užtikrinama švari plokštelių apdorojimo aplinka.

APN oro apsaugos antgalis: džiovinimo metu naudojama „oro užuolaida“, skirta apsaugoti plokštelės paviršių ir išvengti vandens dėmių, kurias sukelia skysčio garavimo likučiai.

Lankstus cheminių medžiagų tiekimas: cheminių medžiagų šaltinius galima lanksčiai išdėstyti. Galima įsigyti tiek dinaminio tiesioginio įpurškimo (DDI), tiek spintinių tipo sistemas, todėl klientai gali lanksčiai rinktis pagal konkrečius proceso reikalavimus.

Lengva priežiūra: Ištraukiama konstrukcija: Proceso kamerą galima ištraukti kaip stalčių, kad būtų lengva valyti, keisti komponentus ir atlikti kitus priežiūros darbus, taip efektyviai sumažinant įrangos prastovų laiką. Taikymo sritys: Nuo pažangiausių mokslinių tyrimų ir plėtros iki brandžios gamybos.

SU-3200 turi platų pritaikymo spektrą, apimantį kelis pagrindinius puslaidininkių gamybos etapus.

Pažangūs loginiai ir atminties lustai: SU-3200 naudojamas lustų, įskaitant 7 nm ir pažangesnius mazgus, tyrimuose ir plėtroje bei gamyboje tiek priekinio (FEOL), tiek galinio (BEOL) procesuose.

Pagrindinės puslaidininkinės medžiagos ir procesai: Tarp daugelio procesų, kuriuos jis palaiko, yra trečios kartos puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip SiC (silicio karbidas) ir GaN (galio nitridas), valymas.

Pažangiausi tyrimai ir bendradarbiavimas ekosistemose: Dėl galingo SU-3200 našumo jį renkasi pirmaujančios mokslinių tyrimų ir plėtros institucijos visame pasaulyje. Pavyzdžiui, IBM įdiegė SU-3200 savo puslaidininkių tyrimų centre Olbani mieste, Niujorke. Be to, SCREEN bendradarbiauja su „Applied Materials“ ir įdiegė SU-3200 savo META centre, kad sukurtų pažangesnius lustų procesus.

Rinkos padėtis ir istorinis indėlis

SU-3200 yra ne tik sėkmingas produktas, bet ir pagrindinis veiksnys, įtvirtinęs „SCREEN“ rinkos lyderio poziciją.

Rinkos dominavimas: Po SU-3200 sėkmės „SCREEN“ dar labiau įtvirtino savo lyderio pozicijas valymo įrangos srityje. Remiantis oficialiais „SCREEN“ duomenimis, 2025 m. liepos mėn. bendros puslaidininkių valymo įrangos siuntos viršijo 15 000 vienetų ir užėmė pirmąją vietą pasaulinėje rinkoje keliuose segmentuose, įskaitant vienos plokštelės valymą, partijų valymą ir centrifuginį valymą.

Pajamų ramstis: Ilgą laiką SU-3200 buvo pagrindinis „SCREEN“ produktas, o jos valymo įrangos verslo pajamos labai priklausė nuo šio modelio.