SEMES plokštelių valiklis BLUEICE PRIME

„SEMES“ sukurta ir pagaminta „BLUEICE PRIME“ – tai 300 mm visiškai automatizuota vienos plokštelės valymo sistema, skirta pažangių procesų technologijų (LPT) logikos ir atminties lustų gamybai. Šią sistemą sukūrė ir pagamino „SEMES“, pagrindinės įrangos tiekėja, priklausanti „Samsung Electronics“. Tai yra pagrindinė įranga, skirta pagerinti masinės gamybos našumą tokiuose pažangiausiuose procesuose kaip 2 nm.

Pagrindinis našumas: pažangių procesų ir pajėgumų balansavimas

Puikus proceso našumas: geba pašalinti daleles 19 nm lygyje, žymiai pagerindamas ėsdinimo vienodumą daugiau nei 40 %.

Didelio efektyvumo pajėgumų konstrukcija: kaip 300 mm vienos plokštelės valymo sistema, ji apdoroja daugiau nei 500 plokštelių per valandą (WPH), efektyviai patenkindama didelio masto masinės gamybos poreikius.

Techninės savybės: keli nepriklausomai sukurti novatoriški dizainai

Novatoriškas aukštos temperatūros fosforo rūgšties procesas: pagrindiniame procese plokštelių ėsdinimui ir nuėmimui naudojama aukštos temperatūros fosforo rūgštis. Tikslus purškimo ir temperatūros valdymas efektyviai sumažina proceso sklaidą ir defektų skaičių, žymiai padidindamas 2 nm lustų išeigą.

**Nepriklausomai sukurtas aukštos temperatūros griebtuvas:** Ši technologija pagerina temperatūros vienodumą plokštelių kaitinimo metu, žymiai sumažina proceso defektus ir įveikia tradicinių šlapio valymo metodų apribojimus.

**Visapusiška užterštumo kontrolė:** NIC (valymo be sąveikos) kamera efektyviai apsaugo nuo kryžminio užteršimo, kartu su SF-Aerosol (didelio greičio / vienodo lašėjimo) technologija fiziniam valymui.

**Labai integruota išmanioji sistema:** Įrenginyje yra APAC, AIS (automatinio aptikimo sistema) ir SEAS (išmanioji įrangos analizės sistema), todėl jis užtikrina tikslų srauto valdymą ir išmaniąją įrangos būsenos analizę.

**Taikymo sritys:** Įsikūrusi „Samsung“, aptarnauja didžiausius pasaulinius klientus.

„BLUEICE PRIME“ pirmiausia orientuojasi į pirmaujančias pasaulines loginių lustų liejyklas ir atminties gamintojus. Pasinaudodama savo patronuojančios bendrovės „SEMES“, kaip „Samsung Group“ dukterinės įmonės, statusu, ši įranga yra glaudžiai integruota į pažangiausias „Samsung“ plokštelių gamybos linijas. Jos šlapio valymo sprendimas sudaro visą ekosistemą su kita pagrindine įranga, pavyzdžiui, litografija (OMEGA serija) ir ėsdinimu (MICHELAN serija). Verta paminėti, kad „SEMES“ išplėtė savo verslo apimtį iki visos HBM (didelio pralaidumo atminties) gamybos srities, sėkmingai sukurdama ir masiškai gamindama terminio sujungimo mašiną (TC Bonder), skirtą HBM lustų sluoksniavimui.

Apibendrinant, „BLUEICE PRIME“ demonstruoja didžiulį „SEMES“ technologinį pranašumą puslaidininkių įrangos srityje. Tai labai svarbi „Samsung Group“ pastangų įtvirtinti savo, kaip pasaulinės lyderės pažangių procesų technologijų srityje, dalis ir pagrindinė priemonė, palaikanti pažangiausią gamybą, kurios technologinis procesas mažesnis nei 2 nm.