BLUEICE PRIME ta' SEMES hija sistema ta' tindif ta' wejfer wieħed ta' 300mm kompletament awtomatizzata, iddisinjata għal-loġika tat-teknoloġija tal-proċess avvanzata (LPT) u l-manifattura taċ-ċippa tal-memorja. Żviluppata u manifatturata minn SEMES, fornitur ewlieni ta' tagħmir taħt Samsung Electronics, hija biċċa tagħmir ewlenija għat-titjib tar-rendimenti tal-produzzjoni tal-massa ta' proċessi avvanzati bħal 2nm.
Prestazzjoni Ewlenija: Bilanċjar bejn Proċessi Avvanzati u Kapaċità
Prestazzjoni Superjuri tal-Proċess: Kapaċi jneħħi l-partiċelli fil-livell ta' 19nm, u jtejjeb b'mod sinifikanti l-uniformità tal-inċiżjoni b'aktar minn 40%.
Disinn ta' Kapaċità ta' Effiċjenza Għolja: Bħala sistema ta' tindif b'wejfer wieħed ta' 300mm, timmaniġġja aktar minn 500 wejfer fis-siegħa (WPH), u tissodisfa b'mod effettiv id-domandi tal-produzzjoni tal-massa fuq skala kbira.
Karatteristiċi Tekniċi: Disinji Innovattivi Żviluppati b'Mod Indipendenti minn Diversi
Proċess Innovattiv ta' Aċidu Fosforiku f'Temperatura Għolja: Il-proċess ewlieni tiegħu juża aċidu fosforiku f'temperatura għolja għall-inċiżjoni u t-tqaxxir tal-wejfers. Kontroll preċiż tal-isprejjar u t-temperatura jnaqqas b'mod effettiv it-tixrid tal-proċess u r-rati tad-difetti, u b'hekk itejjeb b'mod sinifikanti r-rendimenti taċ-ċippa ta' 2nm.
**Chuck għal Temperatura Għolja Żviluppat Indipendentement:** Din it-teknoloġija ttejjeb l-uniformità tat-temperatura waqt it-tisħin tal-wejfer, tnaqqas b'mod sinifikanti d-difetti fil-proċess, u tegħleb il-limitazzjonijiet tal-metodi tradizzjonali tat-tindif bl-imxarrab.
**Kontroll Komprensiv tal-Kontaminazzjoni:** Il-kompartiment NIC (Non-Interaction Clean - Tindif Mingħajr Interazzjoni) jipprevjeni b'mod effettiv il-kontaminazzjoni inkroċjata, flimkien mat-teknoloġija SF-Aerosol (qtar b'veloċità għolja/uniformi) għat-tindif fiżiku.
**Sistema Intelliġenti Integrata Ħafna:** Mgħammra b'APAC, AIS (Sistema ta' Sejbien Awtomatiku), u SEAS (Sistema ta' Analiżi tat-Tagħmir Intelliġenti), tikseb kontroll preċiż tal-fluss u analiżi intelliġenti tal-istatus tat-tagħmir.
**Oqsma ta' Applikazzjoni:** Ibbażat f'Samsung, li jservi klijenti globali ewlenin.
BLUEICE PRIME timmira primarjament lejn l-aqwa funderiji globali taċ-ċipep loġiċi u manifatturi tal-memorja. Billi tuża l-istatus tal-kumpanija prinċipali tagħha SEMES bħala sussidjarja tal-Grupp Samsung, dan it-tagħmir huwa integrat profondament fil-linji ta' produzzjoni tal-fabbrikazzjoni tal-wejfers l-aktar avvanzati ta' Samsung. Is-soluzzjoni tat-tindif bl-imxarrab tagħha tifforma ekosistema kompluta ma' tagħmir ieħor ewlieni front-end bħal-litografija (serje OMEGA) u l-inċiżjoni (serje MICHELAN). Ta' min jinnota li SEMES espandiet l-ambitu tan-negozju tagħha għall-qasam kollu tal-manifattura tal-HBM (High Bandwidth Memory), billi żviluppat u pproduċiet bil-massa b'suċċess magna tat-twaħħil termali (TC Bonder) għall-istivar taċ-ċipep tal-HBM.
Fil-qosor, BLUEICE PRIME turi s-saħħa teknoloġika profonda ta' SEMES fil-qasam tat-tagħmir tas-semikondutturi. Hija parti kruċjali mill-isforzi ta' Samsung Group biex tissaħħaħ il-pożizzjoni tagħha bħala mexxejja globali fit-teknoloġiji avvanzati tal-proċess u għodda ewlenija li tappoġġja l-manifattura avvanzata taħt it-2nm.

