It-TEL CELLESTA™ -i MD hija s-sistema ewlenija tat-tindif b'wejfer wieħed ta' 300mm ta' Tokyo Electron (TEL) għal nodi ta' proċess ta' 10nm u aktar avvanzati. Hija ddisinjata speċifikament biex tindirizza l-isfidi ewlenin tal-proċess bħas-suxxettibilità ta' strutturi b'mikro-mudelli għal ħsara waqt it-tindif u t-tnixxif fi proċessi avvanzati, u hija apparat ewlieni li jappoġġja rendimenti mtejba għal ċipep ta' kwalità għolja.
Prestazzjoni Ewlenija: Tqassim tat-Teknoloġija u Appoġġ għad-Data
Biex ikun hemm fehim aktar intuwittiv, il-karatteristiċi tekniċi ewlenin tiegħu huma miġbura fil-qosor hawn taħt:
Karatteristiċi Ewlenin Indikaturi tal-Prestazzjoni u Dettalji Tekniċi
Pożizzjonament tal-Proċess Jimmira lejn nodi tal-proċess ta' 10nm u aktar avvanzati, speċjalizzat fit-tindif mhux distruttiv u t-tneħħija tal-partiċelli ta' uċuħ tal-wejfers b'disinji.
Teknoloġiji Ewlenin: Tindif u Tnixxif Jikseb tnixxif mingħajr kollass tal-mudell permezz tal-kontroll tal-atmosfera tal-kamra u l-ottimizzazzjoni tal-prestazzjoni taż-żennuna tal-IPA (isopropyl alcohol); jista' juża soluzzjonijiet kimiċi bħal SC-1 u DHF għal inċiżjoni mxarrba; u jista' jintegra funzjonijiet ta' tindif fiżiku bħal tfarfir u bexx b'fluwidu doppju.
Output u modularità ta' effiċjenza għolja: Konfigurabbli b'sa 20 kamra tat-tindif, li tikseb kapaċità sa 1000 wejfer fis-siegħa (WPH), u tappoġġja espansjoni flessibbli ta' unitajiet tat-tindif tal-bevel.
Tħaddim bi prezz baxx: Is-sistema integrata ta' Riċiklaġġ Kimiku tnaqqas b'mod sinifikanti l-ispejjeż operattivi (CoO) u tiffranka b'mod effettiv il-konsum tal-aċidu sulfuriku.
Affidabbiltà: Is-sistema tat-trasport tagħha għaddiet minn 750 miljun ċiklu ta' mmaniġġjar tal-wejfers b'verifika ta' żero żbalji, u b'hekk żgurat stabbiltà estremament għolja fil-produzzjoni tal-massa.
Applikazzjonijiet: Bis-saħħa tat-teknoloġija ewlenija u l-prestazzjoni stabbli tagħha, CELLESTA™ -i MD tintuża ħafna fil-produzzjoni ta' apparati semikondutturi avvanzati, u għandha rwol indispensabbli fl-oqsma li ġejjin:
Ċipep loġiċi: Jipprovdi uċuħ nodfa tal-wejfer għall-manifattura ta' ċipep loġiċi ta' prestazzjoni għolja bħal CPUs, GPUs, u proċessuri tal-AI.
Ċipep tal-memorja: Użati fil-produzzjoni ta' ċipep tal-memorja bħal DRAM u 3D NAND Flash, li jiżguraw l-eżattezza u l-affidabbiltà taċ-ċelloli tal-memorja.
Imballaġġ avvanzat: Użat ħafna fil-passi tat-tindif ta' proċessi avvanzati tal-imballaġġ bħal BSI (back-illuminated), 3D stacking, back-powered, u SoIC (system-on-chip).
Evalwazzjoni tal-Industrija u Pożizzjoni fis-Suq
Bħala mudell ta' kwalità għolja fis-serje CELLESTA, l--i MD jirrappreżenta l-ogħla livell ta' TEL fit-tindif ta' wejfer wieħed. Bil-prestazzjoni superjuri tat-tindif u l-affidabbiltà għolja rikonoxxuta tagħha, din is-serje ta' pjattaformi, flimkien ma' SCREEN, iżżomm pożizzjoni ewlenija fis-suq globali tat-tagħmir tat-tindif tas-semikondutturi, u b'hekk hija biċċa tagħmir indispensabbli li tappoġġja l-produzzjoni tal-massa ta' ċipep avvanzati.



