Grinder tal-wejfer DISCO DFG8541

Id-DISCO DFG8541 hija magna tat-tħin kompletament awtomatizzata żviluppata biex tissodisfa l-ħtiġijiet tat-tnaqqija tal-wejfers għal wejfers ta' 8 pulzieri u iżgħar. Bħala aġġornament għall-predeċessur tagħha, id-DFG8540 li nbiegħ l-aktar, tista' titqiegħed bħala "mudell ewlieni għat-tnaqqija tal-wejfers ta' 8 pulzieri", magħrufa għall-preċiżjoni għolja tagħha, l-indafa għolja, u l-istabbiltà eċċellenti, speċjalment adattata għall-ipproċessar ta' materjali iebsin u fraġli bħall-karbur tas-silikon (SiC).

Din li ġejja hija introduzzjoni dettaljata għall-prinċipju tax-xogħol tiegħu, il-funzjonijiet ewlenin, l-ispeċifikazzjonijiet, u l-valur tas-suq.

Prinċipju ta' Ħidma: Sinerġija b'Dual-Core ta' Effiċjenza u Preċiżjoni

Id-DFG8541 jadotta arkitettura ta' "dual-spindle, three-suction-cup".

Diviżjoni Ċara tax-Xogħol: Mandrin wieħed iġorr rota tat-tħin oħxon biex ineħħi malajr il-materjal prinċipali minn wara tal-wejfer; il-mandrin l-ieħor iġorr rota tat-tħin fina biex jirfina l-wiċċ b'mod fin, u jikseb riżultat finali lixx, ċatt u mingħajr ħsara.

Proċess Effiċjenti Ħafna: Il-wejfer jiġi assorbit bil-vakwu fuq il-mejda tax-xogħol. Permezz ta' ppjanar preċiż tal-proċess, jinkiseb fluss tax-xogħol kompletament awtomatizzat ta' "kklampjar ta' darba, ipproċessar kontinwu", li jevita r-riskji ta' kontaminazzjoni u ħsara kkawżati mit-trasferiment ta' materjali bejn apparati differenti.

Applikazzjonijiet u Rwoli: Lil hinn mis-Silikon

Bħala apparat għal skop ġenerali, għandu rwol kruċjali fil-qasam tas-semikondutturi tat-tielet ġenerazzjoni.

Kompitu Prinċipali: Irqaq ta' wejfers ta' 8 pulzieri u iżgħar (Si/SiC) biex jilħqu l-ħxuna mixtieqa, filwaqt li tiġi żgurata uniformità eċċellenti tal-ħxuna (TTV), u jitneħħew saffi ta' ħsara fil-wiċċ ikkawżati minn proċessi preċedenti.

Piż Emerġenti: Billi tagħżel spindle b'torque għoli, id-DFG8541 jista' jipproċessa b'mod stabbli materjali b'ebusija ultra-għolja bħas-SiC. Din hija r-raġuni ewlenija għaliex huwa ferm iffavorit fis-suq attwali tas-semikondutturi tal-enerġija.

Ħarsa Ġenerali lejn il-Parametri Ewlenin

Kategorija tal-Parametri | Speċifikazzjonijiet Speċifiċi

Biċċiet tax-Xogħol Applikabbli: Φ8 pulzieri (200mm) u inqas; kompatibbli ma' wejfers ta' Φ4, 5, 6, u 8 pulzieri bl-użu ta' chuck universali

Metodu tat-tħin: Tħin lonġitudinali rotatorju fl-għalf

Konfigurazzjoni tal-magħżel: Magħżel doppju (2 assi), magħżel b'berings idrostatiċi tal-arja (standard)

Veloċità tal-magħżel: 1,000 - 7,000 rpm

Qawwa tal-magħżel: Standard 4.2 kW

Konfigurazzjoni tal-Mejda tax-Xogħol: Tliet mejdiet tax-xogħol (3 mejdiet taċ-ċokk)

Speċifikazzjonijiet tar-Rota tat-Tħin: Rota tat-tħin tad-djamanti Φ200 mm

Dimensjonijiet tat-Tagħmir (W x D x H): Madwar 1,100 × 2,800 × 1,800 mm

Piż tat-Tagħmir: Madwar 3,000 kg

Funzjonijiet u Karatteristiċi Ewlenin

Id-DFG8541 jirrappreżenta aġġornament sinifikanti mid-DFG8540.

Karatteristiċi/Funzjonijiet Deskrizzjoni Dettaljata

Kapaċitajiet Superjuri ta' Tindif: Żennuni b'żewġ fluwidi b'ħafna stazzjonijiet: Meta mqabbla mat-tindif tradizzjonali bl-arja u l-ilma, dan ineħħi b'mod qawwi l-partiċelli fini tat-trab li jkunu mwaħħlin mal-wejfer wara t-tħin. Din it-teknoloġija tintuża ħafna f'stazzjonijiet tax-xogħol ewlenin bħal tazzi tal-ġbid u biċċiet tax-xogħol, u tnaqqas b'mod effettiv ir-riskju ta' ksur tal-wejfer irqiq.

Allinjament Mingħajr Kuntatt: Juża kamera biex jillokalizza ċ-ċentru tal-wejfer, u b'hekk jissostitwixxi l-kuntatt fiżiku u jelimina l-grif jew il-ħsara fit-truf matul il-proċess ta' allinjament.

Produzzjoni Intelliġenti: Riċetta għal Kull Wejfer: Tippermetti li wejfers differenti fl-istess cassette tal-wejfer jiġu pproċessati awtomatikament skont ir-riċetti rispettivi tagħhom issettjati minn qabel (ħxuna tat-tħin, veloċità, eċċ.), u tadatta perfettament għall-produzzjoni ta' varjetà multipla u lottijiet żgħar.

Funzjonijiet ta' Protezzjoni tal-Wafer: Tintegra mekkaniżmi multipli ta' protezzjoni, inkluż l-immappjar tal-wejfer (kontra l-allinjament ħażin/wejfer vojt), spezzjoni minn qabel tal-ħxuna (tejp kontra d-doppju), u żamma tal-vakwu (allarm f'daqqa ta' qtugħ tad-dawl), li jiżgura s-sikurezza ta' wejfers ta' valur għoli.

Korrezzjoni tal-Inklinazzjoni Aġġustabbli bl-Elettriku: L-inklinazzjoni tat-tazza tal-ġbid tista' tiġi rfinata bl-elettriku permezz ta' valuri fuq l-iskrin, u b'hekk tiġi ottimizzata l-forma tal-ipproċessar u jitnaqqas il-ħin ta' waqfien manwali għall-kalibrazzjoni.

Użabilità Mtejba Sinifikament: GUI ta' Skrin Akbar ta' 19-il pulzier: Meta mqabbel mal-iskrin ta' 15-il pulzier tad-DFG8540, id-displej mhux biss huwa akbar iżda għandu wkoll interface grafika intuwittiva għall-utent.

Manutenzjoni Ottimizzata: L-istruttura mtejba tat-tindif intern tagħmel il-manutenzjoni aktar faċli.

Iffrankar tal-Enerġija u Disinn Kompatt: Il-magħżel tal-arja l-ġdid inaqqas il-konsum tal-arja b'50%; id-disinn tal-pompa tal-vakwu integrat inaqqas l-ispazju b'15% meta mqabbel mal-predeċessur tiegħu, u b'hekk jikseb iffrankar ekoloġiku kemm fil-ħardwer kif ukoll fit-tħaddim.

Pożizzjonament u Valur fis-Suq: Meta mqabbel mal-magna ewlenija DGP8761 li timmira lejn is-suq ta' 12-il pulzier, id-DFG8541 tiffoka aktar fuq is-suq ta' 8 pulzieri, u b'hekk hija magna ewlenija tipika ta' "prestazzjoni għolja u kosteffettiva":

Pożizzjonament tal-Prestazzjoni: Id-DFG8541 huwa l-punt ta' riferiment tal-prestazzjoni għal grinders ta' 8 pulzieri. Billi jagħżel magħżel b'torque għoli, jegħleb b'suċċess l-isfidi tat-tnaqqija ta' materjali iebsin u fraġli bħas-SiC, u jikkonsolida l-vantaġġ assolut tiegħu fis-suq tat-8 pulzieri.

Valur tal-Investiment: Bħala aġġornament stabbli għal pjattaforma matura, hija affidabbli f'termini ta' tħaddim stabbli fit-tul u output kontinwu, u b'hekk hija għażla ta' effiċjenza għolja, riskju baxx u affidabbli għal investiment f'tagħmir ta' linja ta' produzzjoni ta' 8 pulzieri. L-aqwa universitajiet domestiċi (bħall-Università ta' Xi'an Jiaotong) diġà xtraw dan it-tagħmir għal riċerka avvanzata.

Rekwiżiti ta' Manutenzjoni u Installazzjoni: Biex jiġi żgurat it-tħaddim stabbli u ta' preċiżjoni għolja fit-tul tad-DFG8541, hija meħtieġa aderenza stretta mar-rekwiżiti tad-DISCO għall-ambjent tal-installazzjoni:

Ndafa tal-Ambjent: Irid jiġi installat f'kamra nadifa b'livell għoli ta' ndafa. It-temperatura ambjentali trid tkun stabbli f'20-25℃, b'varjazzjonijiet ikkontrollati fi ħdan ±1℃. L-umdità relattiva tipikament teħtieġ li tkun taħt il-55%.

Provvista tal-Enerġija:

Arja Kompressata: Hija meħtieġa arja kompressata nadifa, niexfa u ħielsa miż-żejt ta' purità għolja bi pressjoni ta' 0.5 MPa jew ogħla.

Elettriku: Hija meħtieġa provvista tal-enerġija bi tliet fażijiet li taqbel mar-rekwiżiti tal-enerġija tat-tagħmir.

Ilma għat-Tkessiħ: Ilma dejonizzat (ilma DI) b'rata ta' fluss stabbli u temperatura kostanti huwa meħtieġ għat-tkessiħ tal-magħżel. It-temperatura tal-ilma għandha tipikament taqbel mat-temperatura tal-kamra b'varjazzjonijiet minimi fit-temperatura.

L-ispezzjoni u s-sostituzzjoni regolari tar-roti tat-tħin, it-tindif taċ-ċokkijiet tal-vakwu, u l-manutenzjoni tal-magħżel tal-arja huma kruċjali biex tiġi estiża l-ħajja tat-tagħmir u jiġi żgurat ir-rendiment tal-ipproċessar.

Fil-qosor, id-DISCO DFG8541 hija soluzzjoni matura u affidabbli għat-tnaqqiq tal-wejfers ta' 8 pulzieri. Tikseb prestazzjoni ewlenija fl-industrija fl-oqsma ewlenin tagħha u hija ottimizzata b'mod komprensiv għall-awtomazzjoni, l-indafa, u l-faċilità tal-użu biex tissodisfa l-ħtiġijiet tal-manifattura moderna.