Mounter tal-wejfer tas-semikondutturi Nitto DR3000III

Din hija introduzzjoni dettaljata għan-NEL SYSTEM™ DR3000III minn Nitto Denko. Hija magna kompletament awtomatizzata għall-applikazzjoni ta' tejp protettiv tal-wejfers li għandha rwol ewlieni fil-manifattura tas-semikondutturi.

Konfigurazzjoni Ewlenija u Speċifikazzjonijiet Tekniċi

L-ispeċifikazzjonijiet tekniċi ewlenin tad-DR3000III huma kif ġej:

Speċifikazzjonijiet/Parametri tal-Oġġett

Tip ta' Tagħmir: Applikatur tat-tejp protettiv kompletament awtomatizzat għal wejfers ta' 300mm

Daqs tal-Wafer Applikabbli: 300mm (12-il pulzier) / 200mm (8 pulzieri)

Ħxuna tal-Wafer Applikabbli: 400μm jew eħxen

Produzzjoni: 68 wejfer/siegħa

Teknoloġija tal-Applikazzjoni tat-Tejp: Mekkaniżmu integrat ta' kontroll tal-applikazzjoni mingħajr tensjoni

Standards Kompatibbli: Jissodisfa l-marka CE u l-ispeċifikazzjonijiet SEMI S2/S8

Jekk jogħġbok innota: L-ispeċifikazzjonijiet ta' hawn fuq huma soġġetti għal bidla skont il-wejfer, it-tejp, u kundizzjonijiet oħra, u jistgħu jinkludu wkoll karatteristiċi fakultattivi.

Karatteristiċi u Benefiċċji Ewlenin

Il-karatteristiċi qawwija tad-DR3000III jiddistingwuh fil-qasam tal-manifattura ta' preċiżjoni:

Teknoloġija ta' Applikazzjoni Mingħajr Tensjoni: Dan huwa wieħed mill-vantaġġi teknoloġiċi ewlenin tagħha. Il-minimizzazzjoni tat-tensjoni tat-tejp qabel il-laminazzjoni tikkontrolla b'mod effettiv it-tgħawwiġ tal-wejfer wara t-tħin fuq in-naħa ta' wara, li huwa kruċjali għall-immaniġġjar ta' wejfers ta' daqs kbir u ultra-rqaq.

Kontroll tal-laminazzjoni b'tensjoni baxxa: It-tagħmir għandu twaħħil b'tensjoni baxxa u kontroll tal-istress tal-adeżiv, li jnaqqas b'mod sinifikanti r-riskju ta' ħsara fid-disinn tal-wejfer waqt il-laminazzjoni.

Kompatibilità tal-wejfers: Filwaqt li hija ddisinjata għal wejfers ta' 300mm, hija kompatibbli b'lura ma' wejfers ta' 200mm u tappoġġja proċessi speċjali b'karatteristiċi fakultattivi bħal mejda taċ-chuck imsaħħna (Massimu 100°C) u rombli msaħħna (Massimu 60°C). Barra minn hekk, timmaniġġja b'mod effettiv wejfers imħabbtin u wejfers b'ċertu grad ta' tgħawwiġ.

Awtomazzjoni u intelliġenza għolja: It-tagħmir huwa mgħammar b'dan li ġej:

Immaniġġjar awtomatizzat tal-materjal: Jappoġġja cassettes tal-wejfer li jinfetħu minn quddiem (FOUP) / cassettes miftuħa, b'driegħ robotiku integrat għal tagħbija u ħatt kompletament awtomatizzati.

Allinjament preċiż: Juża sistema ta' allinjament CCD mingħajr kuntatt biex jiżgura l-eżattezza tal-laminazzjoni.

Monitoraġġ Intelliġenti: Mgħammar b'funzjoni ta' fajl tal-log għat-traċċabilità tad-dejta; l-iskoperta tat-tejp imdendel tipprevjeni l-malfunzjonamenti. Skaner tal-immappjar tal-wejfer fakultattiv jippermetti spezzjoni awtomatika tal-materjal li jkun dieħel.

Konformi mal-Istandards Għolja tal-Industrija: It-tagħmir jikkonforma mal-istandards tas-sikurezza u ambjentali SEMI S2/S8 u huwa disponibbli bi protokolli ta' komunikazzjoni SECS/GEM fakultattivi għal integrazzjoni bla xkiel f'sistemi moderni ta' awtomazzjoni tal-fabbriki tas-semikondutturi.

Tħaddim Faċli għall-Utent: Touchscreen kbir flimkien ma' funzjoni ta' riċetta jagħmlu t-tħaddim sempliċi u intuwittiv. L-utenti jeħtieġu biss li jsejħu r-riċetta għall-prodott korrispondenti biex awtomatikament jikkompletaw is-settings tal-parametri kollha.

Prinċipju ta' Ħidma: Qabel il-proċess tat-tħin ta' wara, id-DR3000III jwaħħal preċiżament tejp protettiv man-naħa mmudellata tal-wejfer bl-użu ta' metodu mingħajr tensjoni biex jipprevjeni ħsara mekkanika jew kontaminazzjoni kimika man-naħa ta' quddiem tal-wejfer waqt it-tħin sussegwenti b'veloċità għolja.

Oqsma ta' Applikazzjoni: Id-DR3000III jintuża primarjament fl-oqsma ewlenin li ġejjin:

Manifattura tas-Semikondutturi: Ċipep loġiċi u ċipep tal-memorja (DRAM, NAND Flash, eċċ.): Protezzjoni tal-istruttura delikata taċ-ċirkwit fuq in-naħa ta' quddiem tal-wejfer fi proċessi avvanzati. Ippakkjar Avvanzat: Jipprovdi protezzjoni tal-wejfer matul il-proċessi tal-ippakkjar fil-livell tal-wejfer ta' 300mm li qed jikbru (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, eċċ.).

MEMS u Sensuri: Jipproteġi l-istrutturi mikromekkaniċi u ż-żoni tas-sensuri waqt proċessi ta' rqiq fin-naħa ta' wara.

Apparati Semikondutturi tal-Enerġija: Jipproċessa wejfers għal apparati tal-enerġija bħal IGBTs u MOSFETs, inaqqas ir-reżistenza mixgħula u jtejjeb id-dissipazzjoni tas-sħana permezz tat-tnaqqija.

Kollaborazzjoni ma' Tagħmir Ieħor: Fuq linji tal-ippakkjar tas-semikondutturi, id-DR3000III tipikament jaħdem flimkien mat-tagħmir li ġej:

Kollaborazzjoni mat-Tagħmir tal-Applikazzjoni tal-Films: Jaħdem flimkien mat-tagħmir għat-tneħħija tat-tejp Nitto NEL-MA3000-III qabel u wara l-proċess ta' rqiq. Id-DR3000III l-ewwel japplika tejp protettiv biex jipproteġi l-wejfer minn ħsara waqt ir-rqiq; wara r-rqiq, in-NEL-MA3000-III ineħħi preċiżament it-tejp protettiv, u jiżgura l-integrità u s-sigurtà tal-wejfer ultra-rqiq matul il-proċess kollu.

Kollaborazzjoni mat-Tagħmir tal-Lustrar: Jaħdem mill-qrib mal-magni tal-lustrar bħala pass protettiv. Wara li l-wejfers ikunu miksija b'films protettivi mid-DR3000III, imbagħad jiddaħħlu f'magna tat-tħin għat-tnaqqija tan-naħa ta' wara, u b'hekk jiżgura b'mod affidabbli s-sigurtà u l-istabbiltà tal-proċess tat-tħin.

B'mod ġenerali, in-Nitto DR3000III hija sistema ta' protezzjoni tal-wejfer speċjalizzata ħafna, awtomatizzata u ta' prestazzjoni għolja. Permezz tat-teknoloġija tagħha ta' laminazzjoni tal-film mingħajr tensjoni, issolvi b'mod effettiv il-kwistjonijiet komuni ta' tgħawwiġ u tqaxxir li jiltaqgħu ma' wejfers ta' daqs kbir matul il-proċess ta' rqiq fin-naħa ta' wara. Għandha rwol ċentrali fl-industrija tas-semikondutturi, u sservi bħala biċċa tagħmir kritika biex tiżgura r-rendiment u l-affidabbiltà tal-manifattura avvanzata taċ-ċippa. Għal kwotazzjonijiet jew mistoqsijiet tekniċi, jekk jogħġbok ikkuntattja lir-rappreżentanti uffiċjali ta' Nitto jew lid-distributuri awtorizzati fiċ-Ċina direttament.