ଥିଙ୍କଲେଜର ସିଗମାଡିଏସସି ୱେଫର ଲେଜର ମାର୍କିଂ ମେସିନ୍

ThinkLaser SigmaDSCର ମୂଳ ସ୍ଥିତି ହେଉଛି ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ "ହାର୍ଡ ମାର୍କିଂ" ଲେଜର ମାର୍କିଂ ସିଷ୍ଟମ - ଯାହା ବିଶେଷ ଭାବରେ 100mm ରୁ 200mm (4 ରୁ 8-ଇଞ୍ଚ) ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି - ଯାହା କ୍ଲାସ୍ 1 (ISO କ୍ଲାସ୍ 3) କ୍ଲିନ୍ ରୁମ୍ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ପାଳନ କରେ।

ଏହାର ମୂଳ ମୂଲ୍ୟ ହେଉଛି ପ୍ରୋଗ୍ରାମେବଲ୍ ଗଭୀରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ ଲେଜର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରି ୱେଫରରେ ସ୍ଥାୟୀ, ଉଚ୍ଚ ପଠନୀୟ ପରିଚୟ କୋଡ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବା। ଏହି କୋଡ୍ ଗୁଡ଼ିକୁ ପରବର୍ତ୍ତୀ ଉଚ୍ଚ-ତୀବ୍ରତା ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର କଠୋରତାକୁ ସହ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର କରାଯାଇଛି - ଯେପରିକି ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପତଳା କରିବା, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଚିକିତ୍ସା ଏବଂ ରାସାୟନିକ ସଫା କରିବା - ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଏହାର ସମଗ୍ର ଜୀବନଚକ୍ରରେ କଠୋର ଉତ୍ପାଦ ଚିହ୍ନଟ ସୁନିଶ୍ଚିତ ହୁଏ।

**ମୂଳ ନୀତି**

SigmaDSCର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମୂଳ "ହାର୍ଡ ମାର୍କିଂ" ଚାରିପାଖରେ ଘୂରି ବୁଲୁଛି:

**ଡଟ୍-ମାଟ୍ରିକ୍ସ ଥର୍ମାଲ୍ ମାର୍କିଂ:** ଏହି କୌଶଳରେ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନରେ ନିର୍ଦ୍ଦେଶିତ ଏକ କେନ୍ଦ୍ରିତ, ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି-ଘନତା ଲେଜର ବିମ୍ ନିୟୋଜିତ କରାଯାଏ। ଏହା ସାମଗ୍ରୀକୁ ତୁରନ୍ତ ଏବଂ ସ୍ଥାନୀୟ ଭାବରେ ତରଳିଯାଏ କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରେ, ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଗଭୀରତା (110 ମାଇକ୍ରୋନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ) ସହିତ ଭୌତିକ ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟେସନ୍ (ପିଟ୍) ସୃଷ୍ଟି କରେ।

**ଚରମ ପଲ୍ସ ସ୍ଥିରତା:** ସମାନ କଠିନ ଚିହ୍ନନ ହାସଲ କରିବାର ଚାବିକାଠି ଲେଜର ଉତ୍ସର ଅସାଧାରଣ ପଲ୍ସ-ଟୁ-ପଲ୍ସ ସ୍ଥିରତାରେ ରହିଛି। ଥିଙ୍କଲେଜରର ପେଟେଣ୍ଟ ହୋଇଥିବା ଡାୟୋଡ-ପମ୍ପଡ୍ ସଲିଡ୍-ଷ୍ଟେଟ୍ ଲେଜର 1 kHz ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସିରେ <0.5% ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପଲ୍ସ ସ୍ଥିରତାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରେ। ଏହା ପ୍ରତ୍ୟେକ ବିନ୍ଦୁର ଗଭୀରତା ଏବଂ ବୃତ୍ତାକାରରେ ଉଚ୍ଚ ପରିମାଣର ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ - <1.1 ର ଏକ ଦିଗ ଅନୁପାତ (ପ୍ରମୁଖ-ରୁ-କ୍ଷୁଦ୍ର ଅକ୍ଷ ଅନୁପାତ) ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦେବା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପଠନୀୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ମୂଳଦୁଆ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।

**ଡୁଆଲ୍-ସ୍ପଟ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ™:** ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଡିଜାଇନ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଯାହା ଉନ୍ନତ ନମନୀୟତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାରକାରୀମାନଙ୍କୁ ସମାନ ସିଷ୍ଟମ୍ ମଧ୍ୟରେ ସଫ୍ଟୱେର୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମାଧ୍ୟମରେ ଦୁଇଟି ଭିନ୍ନ ସ୍ପଟ୍ ଆକାର - 50µm ରୁ 110µm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ - ମଧ୍ୟରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଚିହ୍ନନ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ପୂରଣ କରିଥାଏ।

**ମୂଳ ସୁବିଧା ଏବଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ**

SigmaDSC ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ (ସିଲିକନ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, ଗାଲିୟମ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍, ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଗ୍ଲାସ୍, ସେରାମିକ୍ସ, ଇତ୍ୟାଦି ସମେତ) ପରିଚାଳନା କରିବା ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନର ଚାହିଦାପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ କରାଯାଇଛି। ଏହାର ମୂଳ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ସ୍ପଷ୍ଟ ଭାବରେ ପରିଭାଷିତ ହୋଇଛି:

**ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ବର୍ଗ** | **ବିସ୍ତୃତ ବର୍ଣ୍ଣନା / ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ**

**କଠିନ ଚିହ୍ନିବା କ୍ଷମତା** | **ପ୍ରୋଗ୍ରାମେବଲ୍ ଗଭୀରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:** ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ଚିହ୍ନିବା ଗଭୀରତାକୁ ଆଡଜଷ୍ଟ କରେ, 110 µm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିଥାଏ।

**ଗଭୀରତା ସଠିକତା:** ±୧୦%।

**ଥ୍ରୁପୁଟ୍:** ପ୍ରତି ଘଣ୍ଟାରେ 250 ୱେଫର୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ। ସଠିକତା ଏବଂ ସୁସଙ୍ଗତତା | ସୁସଙ୍ଗତତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା: 100mm ରୁ 200mm ୱେଫର୍ ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ, ଏବଂ 300mm/310mm ପ୍ୟାନେଲ୍ ସହିତ।

ଚିହ୍ନିତ ସଠିକତା: ୱାଫର ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ପରେ 50x50mm କ୍ଷେତ୍ର ମଧ୍ୟରେ, ପୁନରାବୃତ୍ତି ±0.125 mm।

ବ୍ୟାପକ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟତା: ସିଲିକନ୍ (Si), ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC), ଗାଲିୟମ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ (GaAs), ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (GaN), ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିସର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।

ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ଏବଂ ଯୋଗାଯୋଗ | ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ କାର୍ଯ୍ୟ: ମାନୁଆଲ୍ ହସ୍ତକ୍ଷେପକୁ ସର୍ବନିମ୍ନ କରେ ଏବଂ ଖୋଲା କ୍ୟାସେଟ୍ ପରିଚାଳନାକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।

କାରଖାନା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍: କାରଖାନା MES ସିଷ୍ଟମରେ ସୁଗମ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ SECS II/GEM ପ୍ରୋଟୋକଲକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।

ବ୍ୟାପକ ସିଷ୍ଟମ୍ ମନିଟରିଂ: SPC (ସାଂଖ୍ୟିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ) ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସମସ୍ତ ଲେଜର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ତଥ୍ୟକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ରେକର୍ଡ କରେ।

ହାର୍ଡୱେର୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ | ଲେଜର ପ୍ରକାର: Nd:YLF ଡାୟୋଡ୍-ପମ୍ପଡ୍ ସଲିଡ୍-ଷ୍ଟେଟ୍ ଲେଜର।

ଲେଜର ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ: ୧୦୫୩ ଏନଏମ।

ଚିହ୍ନିତ ସ୍ଥାନ: ୱେଫର ଧାରରୁ ଏକ 25 ମିମି କର୍ଣିଆଲ ବ୍ୟାଣ୍ଡ ମଧ୍ୟରେ, ଯେକୌଣସି ଦିଗରେ ଏକାଧିକ ଚିହ୍ନ ଗୋଷ୍ଠୀ ସ୍ଥାପନ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ଅପରେଟିଂ ସିଷ୍ଟମ: ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ୭ ପ୍ରୋ SP1 (୩୨-ବିଟ୍)।

ଶିଳ୍ପ ମାନକ | SEMI ମାନକ: SEMI ମାନକ ସହିତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଅନୁପାଳନ, T7, M12, ଏବଂ M13 ପରି ମାର୍କିଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।

ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ପ୍ରମାଣପତ୍ର: CE, SEMI S2, S8, ଏବଂ S14 ସମେତ ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପରିବେଶଗତ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ।

ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ

SigmaDSC ମୁଖ୍ୟତଃ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ ଯେଉଁଠାରେ ସମଗ୍ର ଉତ୍ପାଦ ଜୀବନଚକ୍ରରେ ଉଚ୍ଚ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ବଜାୟ ରଖିବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ:

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ: କ୍ଲିନରୁମରେ ପ୍ରବେଶ କରିବା ମାତ୍ରେ, ୱେଫରରେ ଏକ ଅନନ୍ୟ, ସ୍ଥାୟୀ ID ଲେଖାଯାଏ - ଏହା ପରବର୍ତ୍ତୀ ସମସ୍ତ କଠୋର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦକ୍ଷେପ (ଯେପରିକି ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପତଳା) ର କଠୋରତାକୁ ସହ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଏକ ID। ଏହା ସମଗ୍ର ଉତ୍ପାଦନ କାର୍ଯ୍ୟପ୍ରଣାଳୀରେ ଗୁଣାତ୍ମକ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ଏବଂ ପରିସଂଖ୍ୟାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ (SPC) ତଥ୍ୟ ପାଇଁ ଜୀବନରେଖା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ - ସିଲିକନ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ, ଫାଉଣ୍ଡ୍ରି ଏବଂ ସମନ୍ୱିତ ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ମାତା (IDM) ବିସ୍ତାରିତ।

ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ: ଫ୍ୟାନ-ଆଉଟ ୱାଫର-ଲେଭଲ ପ୍ୟାକେଜିଂ (ଫ୍ୟାନ-ଆଉଟ WLP) ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟରେ ପୁନଃଗଠିତ ୱାଫର କିମ୍ବା ପ୍ୟାନେଲ ପାଇଁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ID ମାର୍କିଂ ପ୍ରଦାନ କରେ।

**ପରିପୂରକ ଉପକରଣ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଲାଇନର ତୁଳନା**

ThinkLaser ର ବ୍ୟାପକ ୱେଫର ଚିହ୍ନଟକରଣ ସମାଧାନ ମଧ୍ୟରେ SigmaDSC ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାଦାନ ଗଠନ କରେ। ଆପଣ ଉଲ୍ଲେଖ କରିଥିବା SigmaClean ସିଷ୍ଟମ ଏହାର ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପରିପୂରକ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ:

**ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ** | **SigmaDSC (ହାର୍ଡ ମାର୍କିଂ)** | **SigmaClean (ସଫ୍ଟ ମାର୍କିଂ)**

**ମୂଳ ପ୍ରକ୍ରିୟା** | କଠିନ ଚିହ୍ନ | ନରମ ଚିହ୍ନ

**ପ୍ରମୁଖ ଲାଭ** | ମାର୍କଗୁଡ଼ିକର ଭୌତିକ ଗଭୀରତା ଅଛି; ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଭଳି ସବୁଠାରୁ କଠୋର ପରବର୍ତ୍ତୀ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୁ ସହ୍ୟ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ | | ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ସହିତ ଧ୍ୱଂସାବଶେଷ ମୁକ୍ତ; କଠୋର କ୍ଲିନରୁମ୍ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ।

**ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି** | ସ୍ଥାୟୀ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ "କଠିନ" ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ - ଯେପରିକି ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପତଳା - ମାଧ୍ୟମରେ ହେଉଥିବା ୱେଫର ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ | | ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯେଉଁଠାରେ ଶୂନ୍ୟ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତି ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ସର୍ବୋପରି।

**ସାରାଂଶ**

ThinkLaser SigmaDSC ହେଉଛି ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଲେଜର ମାର୍କିଂ ସିଷ୍ଟମ ଯାହା 200mm ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ ଅତ୍ୟଧିକ ସ୍ଥାୟୀ "କଠିନ ମାର୍କିଂ" ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ। ଏହାର ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିଗତ ସୁବିଧା ଏହାର ପ୍ରୋଗ୍ରାମେବଲ୍ ଗଭୀରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ଡୁଆଲ୍-ସ୍ପଟ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ™ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ପାଇଁ SECS/GEM ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ରହିଛି। ଏକ ସ୍ଥିର ଲେଜର ସିଷ୍ଟମ, ବନ୍ଦ-ଲୁପ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକର ଉପଯୋଗ କରି, ଏହା ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ଅସାଧାରଣ ଚିହ୍ନ ଗଭୀରତା ସମାନତା ଏବଂ ବୃତ୍ତାକାରିତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ସଫା କରିବା କିମ୍ବା ଆସେମ୍ବଲି କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ପରିବର୍ତ୍ତେ, ଏହା ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ପରିଚୟ ପ୍ରମାଣୀକରଣ ପ୍ରଦାନ କରିବାର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।