ଏହା ନିଟୋ ଡେନକୋର NEL SYSTEM™ DR3000III ର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିଚୟ। ଏହା ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ୱେଫର ସୁରକ୍ଷା ଟେପ୍ ପ୍ରୟୋଗ ମେସିନ୍ ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ।
ମୂଳ ବିନ୍ୟାସ ଏବଂ ବୈଷୟିକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
DR3000III ର ମୁଖ୍ୟ ବୈଷୟିକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ:
ଆଇଟମ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ/ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
ଉପକରଣ ପ୍ରକାର: 300mm ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସୁରକ୍ଷା ଟେପ୍ ଆପ୍ଲିକେଟର୍
ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ ୱେଫର ଆକାର: 300mm (12 ଇଞ୍ଚ) / 200mm (8 ଇଞ୍ଚ)
ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ ୱେଫର ଘନତା: 400μm କିମ୍ବା ଘନତା
ଥ୍ରୁପୁଟ୍: 68 ୱେଫର୍/ଘଣ୍ଟା
ଟେପ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା: ସମନ୍ୱିତ ଟେନସନ୍-ମୁକ୍ତ ପ୍ରୟୋଗ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ
ସୁସଙ୍ଗତ ମାନକ: CE ଚିହ୍ନ ଏବଂ SEMI S2/S8 ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ପୂରଣ କରେ।
ଦୟାକରି ଧ୍ୟାନ ଦିଅନ୍ତୁ: ଉପରୋକ୍ତ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକ ୱାଫର, ଟେପ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅବସ୍ଥା ଉପରେ ଆଧାର କରି ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୋଇପାରେ, ଏବଂ ଏଥିରେ ଇଚ୍ଛାଧୀନ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ ହୋଇପାରେ।
ମୁଖ୍ୟ ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ଉପକାରିତା |
DR3000III ର ଶକ୍ତିଶାଳୀ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଏହାକୁ ସଠିକ୍ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଭିନ୍ନ କରିଥାଏ:
ଟେନସନ୍-ମୁକ୍ତ ପ୍ରୟୋଗ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା: ଏହା ଏହାର ମୁଖ୍ୟ ଟେକନିକାଲ୍ ସୁବିଧା ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଲାମିନେସନ୍ ପୂର୍ବରୁ ଟେପ୍ ଟେନସନ୍ କମ୍ କରିବା ଦ୍ଵାରା ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପରେ ୱାଫର ୱାର୍ପେଜ୍ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଏ, ଯାହା ବଡ଼ ଆକାରର, ଅତ୍ୟଧିକ ପତଳା ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
କମ୍ ଚାପଯୁକ୍ତ ଲାମିନେସନ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ: ଏହି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ କମ୍ ଚାପଯୁକ୍ତ ବନ୍ଧନ ଏବଂ ଆଡେସିଭ୍ ଚାପ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ କରିଥାଏ, ଯାହା ଲାମିନେସନ୍ ସମୟରେ ୱେଫର ପ୍ୟାଟର୍ନ କ୍ଷତିର ବିପଦକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ୱେଫର ସୁସଙ୍ଗତତା: 300mm ୱେଫର ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଥିଲେ ମଧ୍ୟ, ଏହା 200mm ୱେଫର ସହିତ ପଛୁଆ ସୁସଙ୍ଗତ ଏବଂ ଏକ ଗରମ ଚକ୍ ଟେବୁଲ୍ (ସର୍ବାଧିକ 100°C) ଏବଂ ଗରମ ରୋଲର୍ସ (ସର୍ବାଧିକ 60°C) ପରି ଇଚ୍ଛାଧୀନ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ବମ୍ପଡ୍ ୱେଫର ଏବଂ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଡିଗ୍ରୀ ୱାରପେଜ୍ ସହିତ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରେ।
ଉଚ୍ଚ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଏବଂ ବୁଦ୍ଧିମତା: ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ:
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସାମଗ୍ରୀ ପରିଚାଳନା: ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଲୋଡିଂ ଏବଂ ଅନଲୋଡିଂ ପାଇଁ ଏକ ବିଲ୍ଟ-ଇନ୍ ରୋବୋଟିକ୍ ହାତ ସହିତ ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଓପେନିଂ ୱେଫର କ୍ୟାସେଟ୍ (FOUP) / ଖୋଲା କ୍ୟାସେଟ୍ ସମର୍ଥନ କରେ।
ସଠିକ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ୍: ଲାମିନେସନ୍ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଅଣ-ସମ୍ପର୍କ CCD ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ନିୟୋଜିତ କରେ।
ବୁଦ୍ଧିମାନ ମନିଟରିଂ: ଡାଟା ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ପାଇଁ ଏକ ଲଗ୍ ଫାଇଲ୍ ଫଙ୍କସନ୍ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ; ଟେପ୍ ସାଗିଂ ଚିହ୍ନଟ ତ୍ରୁଟିକୁ ରୋକିଥାଏ। ଏକ ଇଚ୍ଛାଧୀନ ୱେଫର ମ୍ୟାପିଂ ସ୍କାନର୍ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଆସୁଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ଯାଞ୍ଚକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
ଉଚ୍ଚ ଶିଳ୍ପ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ: ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ SEMI S2/S8 ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପରିବେଶଗତ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ କରେ ଏବଂ ଆଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ କାରଖାନା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପ୍ରଣାଳୀରେ ସୁଗମ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ ଇଚ୍ଛାଧୀନ SECS/GEM ଯୋଗାଯୋଗ ପ୍ରୋଟୋକଲ ସହିତ ଉପଲବ୍ଧ।
ବ୍ୟବହାରକାରୀ-ଅନୁକୂଳ କାର୍ଯ୍ୟ: ଏକ ବଡ଼ ଟଚସ୍କ୍ରିନ୍ ସହିତ ଏକ ରେସିପି କାର୍ଯ୍ୟ ସହଜ ଏବଂ ସହଜବୋଧ କରିଥାଏ। ସମସ୍ତ ପାରାମିଟର ସେଟିଂସ୍ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ସମାପ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାରକାରୀମାନଙ୍କୁ କେବଳ ସମ୍ପୃକ୍ତ ଉତ୍ପାଦ ପାଇଁ ରେସିପି ଡାକିବାକୁ ପଡିବ।
କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି: ବ୍ୟାକଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୂର୍ବରୁ, DR3000III ପରବର୍ତ୍ତୀ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସମୟରେ ୱାଫରର ସମ୍ମୁଖ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କ୍ଷତି କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଏକ ଟେନସନ୍-ଫ୍ରି ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରି ୱାଫରର ନମୁନା ପାର୍ଶ୍ୱରେ ସୁରକ୍ଷାମୂଳକ ଟେପ୍ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଲଗାଏ।
ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର: DR3000III ମୁଖ୍ୟତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପ୍ରମୁଖ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ:
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ: ଲଜିକ୍ ଚିପ୍ସ ଏବଂ ମେମୋରୀ ଚିପ୍ସ (DRAM, NAND ଫ୍ଲାସ୍, ଇତ୍ୟାଦି): ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱେଫରର ସମ୍ମୁଖ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଥିବା ସୂକ୍ଷ୍ମ ସର୍କିଟ୍ ଗଠନକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା। ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ: କ୍ରମବର୍ଦ୍ଧିଷ୍ଣୁ 300mm ୱେଫର-ସ୍ତରୀୟ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା (ଫ୍ୟାନ୍-ଇନ୍ WLP, ଫ୍ୟାନ୍-ଆଉଟ୍ WLP, ଇତ୍ୟାଦି) ସମୟରେ ୱେଫର ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରେ।
MEMS ଏବଂ ସେନ୍ସର: ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପତଳା ହେବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ମାଇକ୍ରୋମେକାନିକାଲ୍ ଗଠନ ଏବଂ ସେନ୍ସର କ୍ଷେତ୍ରକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦିଏ।
ପାୱାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଡିଭାଇସ୍: IGBTs ଏବଂ MOSFETs ଭଳି ପାୱାର ଡିଭାଇସ୍ ପାଇଁ ୱେଫର୍ସ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରେ, ଅନ-ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ପତଳା କରିବା ମାଧ୍ୟମରେ ତାପ ଅପଚୟକୁ ଉନ୍ନତ କରେ।
ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣ ସହିତ ସହଯୋଗ: ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ୟାକେଜିଂ ଲାଇନରେ, DR3000III ସାଧାରଣତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଉପକରଣ ସହିତ କାମ କରେ:
ଫିଲ୍ମ ପ୍ରୟୋଗ ଉପକରଣ ସହିତ ସହଯୋଗ: ପତଳା କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୂର୍ବରୁ ଏବଂ ପରେ ନିଟୋ NEL-MA3000-III ଟେପ୍ ଅପସାରଣ ଉପକରଣ ସହିତ ମିଳିତ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ପତଳା କରିବା ସମୟରେ କ୍ଷତିରୁ ୱେଫରକୁ ରକ୍ଷା କରିବା ପାଇଁ DR3000III ପ୍ରଥମେ ସୁରକ୍ଷାାତ୍ମକ ଟେପ୍ ପ୍ରୟୋଗ କରେ; ପତଳା କରିବା ପରେ, NEL-MA3000-III ସଠିକ୍ ଭାବରେ ସୁରକ୍ଷାାତ୍ମକ ଟେପ୍ ଅପସାରଣ କରେ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାରା ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପତଳା ୱେଫରର ଅଖଣ୍ଡତା ଏବଂ ସୁରକ୍ଷା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ପଲିସିଂ ଉପକରଣ ସହିତ ସହଯୋଗ: ଏକ ସୁରକ୍ଷା ପଦକ୍ଷେପ ଭାବରେ ପଲିସିଂ ମେସିନ୍ ସହିତ ଘନିଷ୍ଠ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। DR3000III ଦ୍ୱାରା ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷାମୂଳକ ଫିଲ୍ମ ସହିତ ଆବୃତ କରିବା ପରେ, ସେଗୁଡ଼ିକୁ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପତଳା କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମେସିନ୍ ରେ ଦିଆଯାଏ, ଯାହା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ସାମଗ୍ରିକ ଭାବରେ, Nitto DR3000III ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ବିଶେଷଜ୍ଞ, ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ୱେଫର ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଣାଳୀ। ଏହାର ଟେନସନ୍-ଫ୍ରି ଫିଲ୍ମ ଲାମିନେସନ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମାଧ୍ୟମରେ, ଏହା ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ଥିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ବଡ଼ ଆକାରର ୱେଫର ସହିତ ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଉଥିବା ୱାର୍ପିଂ ଏବଂ ଚିପିଂର ସାଧାରଣ ସମସ୍ୟାଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସମାଧାନ କରେ। ଏହା ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ, ଉନ୍ନତ ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣର ଉପଜ ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପକରଣ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। କୋଟେସନ୍ କିମ୍ବା ବୈଷୟିକ ପଚରାଉଚରା ପାଇଁ, ଦୟାକରି Nitto ର ସରକାରୀ ପ୍ରତିନିଧି କିମ୍ବା ଚୀନରେ ଥିବା ଅଧିକୃତ ବିତରକଙ୍କ ସହିତ ସିଧାସଳଖ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ।


