Glanhawr wafferi SCREEN SU-3200

Mae'r SCREEN SU-3200 yn system lanhau un wafer 300mm nodedig yn y diwydiant gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Gyda'i allbwn uwch a'i dechnoleg glendid flaenllaw, gwasanaethodd fel prif fodel SCREEN am amser hir, gan gefnogi gweithgynhyrchu sglodion rhesymeg a chof o 32nm i 7nm a nodau hyd yn oed yn fwy datblygedig, gan chwarae rhan hanfodol yn y farchnad offer glanhau.

Trosolwg o'r Lleoliad Craidd a'r Dechnoleg: Prif leoliad y SU-3200 yw cynyddu trwybwn glanhau un wafer yn sylweddol wrth gynnal glendid eithriadol o uchel, gan fodloni gofynion effeithlonrwydd eithafol prosesau uwch.

Dyluniad Trwybwn Uchel: Trwy bensaernïaeth bentyrru pedair haen arloesol, gellir ffurfweddu un system gyda hyd at 12 siambr brosesu annibynnol, gan gyflawni capasiti prosesu o hyd at 800 o wafferi yr awr (WPH), a oedd yn arwain y byd ymhlith systemau glanhau wafferi sengl ar y pryd.

Amgylchedd Proses Ultra-Lân: Er mwyn bodloni gofynion llym nodau 22nm a mwy datblygedig, mae'r SU-3200 wedi'i gyfarparu â thechnoleg APAC (Rheoli Atmosffer Proses Uwch) perchnogol SCREEN. Drwy optimeiddio amgylchedd y siambr ar draws sawl dimensiwn, mae'n sicrhau glendid eithaf y broses lanhau.

Manylion Technegol Allweddol: Er mwyn cyflawni'r ddau nod o ran trwybwn a glendid, mae'r SU-3200 yn defnyddio cyfres o ddyluniadau arloesol, a nodir yn y tabl isod:

Dimensiwn Technoleg | Enw'r Dechnoleg | Swyddogaeth Graidd a Dull Gweithredu

Gwelliant Cynhwysedd Arloesol | Siambr Gryno | Yn lleihau cyfaint siambr broses sengl i hanner cyfaint ei rhagflaenydd, gan ei gwneud hi'n bosibl defnyddio mwy o siambrau o fewn yr un gofod, a thrwy hynny gynyddu'r trwybwn fesul uned arwynebedd.

System Trosglwyddo Cyflymder Uchel | Yn optimeiddio'r rhesymeg trosglwyddo a chyflymder wafferi rhwng siambrau, cefnogaeth allweddol ar gyfer cyflawni trwybwn uchel o 800 waffer/awr (WPH).

Sicrwydd Glendid | Technoleg APAC | Mae technoleg siambr hynod lân yn derm cyfunol am gyfres o dechnolegau. Mae ei is-dechnolegau craidd yn cynnwys:

Micro-siambr AMC: Lleihau cyfaint mewnol y siambr i draean o'i rhagflaenydd, gan alluogi amnewid nwy yn gyflymach a gwella glendid amgylcheddol yn effeithiol.

Baffl Cydbwyso Llif Aer ABG: Fe'i defnyddir i wastadu'r llif aer glân sy'n cael ei chwythu i lawr gan yr hidlydd gronynnol effeithlonrwydd uchel (FFU) uchaf, gan atal troellau neu barthau marw o fewn y siambr a sicrhau bod gronynnau'n cael eu tynnu'n effeithiol.

Amddiffyniad Uwch rhag Sblasio ASP: Trwy ddylunio manwl gywir, lleihau tasgu cemegol yn ystod chwistrellu cemegol, gan sicrhau amgylchedd prosesu wafferi glân.

Ffroenell Diogelu Aer APN: Defnyddio "llen aer" yn ystod y cyfnod sychu i amddiffyn wyneb y wafer ac atal staeniau dŵr a achosir gan weddillion anweddu hylif.

Cyflenwad Cemegol Hyblyg: Gellir trefnu ffynonellau cemegol yn hyblyg. Mae systemau Chwistrelliad Uniongyrchol Dynamig (DDI) a systemau tebyg i gabinet ar gael, gan ganiatáu i gwsmeriaid ddewis yn hyblyg yn ôl gofynion proses penodol.

Rhwyddineb Cynnal a Chadw: Strwythur tynnu allan: Gellir tynnu'r siambr broses allan fel drôr ar gyfer glanhau hawdd, ailosod cydrannau, a gwaith cynnal a chadw arall, gan leihau amser segur offer yn effeithiol. Meysydd Cymhwyso: O Ymchwil a Datblygu Arloesol i Weithgynhyrchu Aeddfed

Mae gan y SU-3200 ystod eang o gymwysiadau, gan gwmpasu sawl cam allweddol o weithgynhyrchu lled-ddargludyddion.

Sglodion Logeg a Chof Uwch: Defnyddir y SU-3200 mewn Ymchwil a Datblygu a chynhyrchu sglodion, gan gynnwys nodau 7nm a mwy datblygedig, mewn prosesau blaen (FEOL) a chefn (BEOL).

Deunyddiau a Phrosesau Lled-ddargludyddion Allweddol: Ymhlith y nifer o brosesau y mae'n eu cefnogi mae glanhau deunyddiau lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth fel SiC (Silicon Carbide) a GaN (Gallium Nitride).

Ymchwil Arloesol a Chydweithio Ecosystemau: Mae perfformiad pwerus y SU-3200 yn ei wneud yn ddewis sefydliadau Ymchwil a Datblygu blaenllaw ledled y byd. Er enghraifft, mae IBM wedi gweithredu'r SU-3200 yn ei ganolfan ymchwil lled-ddargludyddion yn Albany, Efrog Newydd. Ar ben hynny, mae SCREEN wedi partneru ag Applied Materials, gan osod y SU-3200 yn ei Ganolfan META ar gyfer datblygu prosesau sglodion mwy datblygedig.

Safle yn y Farchnad a Chyfraniadau Hanesyddol

Nid yn unig mae'r SU-3200 yn gynnyrch llwyddiannus ond mae hefyd yn ffactor allweddol wrth sefydlu safle arweinyddiaeth SCREEN yn y farchnad.

Trechgaeth y Farchnad: Yn dilyn llwyddiant y SU-3200, cadarnhaodd SCREEN ei safle blaenllaw ymhellach ym maes offer glanhau. Yn ôl data swyddogol SCREEN, ym mis Gorffennaf 2025, roedd ei gludo nwyddau cronnus o offer glanhau lled-ddargludyddion wedi rhagori ar 15,000 o unedau, gan ddal y gyfran fwyaf o'r farchnad fyd-eang mewn sawl segment gan gynnwys glanhau wafer sengl, glanhau swp, a glanhau nyddu.

Colofn Refeniw: Am amser hir, y SU-3200 oedd prif gynnyrch SCREEN, ac roedd refeniw ei fusnes offer glanhau yn ddibynnol iawn ar y model hwn.