Glanhawr wafferi SEMES BLUEICE PRIME

Mae BLUEICE PRIME SEMES yn system lanhau un wafer cwbl awtomataidd 300mm a gynlluniwyd ar gyfer rhesymeg technoleg prosesau uwch (LPT) a gweithgynhyrchu sglodion cof. Wedi'i ddatblygu a'i gynhyrchu gan SEMES, cyflenwr offer craidd o dan Samsung Electronics, mae'n ddarn allweddol o offer ar gyfer gwella cynnyrch cynhyrchu màs prosesau arloesol fel 2nm.

Perfformiad Craidd: Cydbwyso Prosesau Uwch a Chapasiti

Perfformiad Proses Rhagorol: Yn gallu tynnu gronynnau ar lefel 19nm, gan wella unffurfiaeth ysgythru yn sylweddol o dros 40%.

Dyluniad Capasiti Effeithlonrwydd Uchel: Fel system glanhau wafer sengl 300mm, mae'n trin dros 500 o wafers yr awr (WPH), gan fodloni gofynion cynhyrchu màs ar raddfa fawr yn effeithiol.

Nodweddion Technegol: Dyluniadau Arloesol a Ddatblygwyd yn Annibynnol Lluosog

Proses Asid Ffosfforig Tymheredd Uchel Arloesol: Mae ei broses graidd yn defnyddio asid ffosfforig tymheredd uchel ar gyfer ysgythru a stripio wafers. Mae rheolaeth fanwl gywir ar chwistrellu a thymheredd yn lleihau cyfraddau gwasgariad a diffygion y broses yn effeithiol, gan wella cynnyrch sglodion 2nm yn sylweddol.

**Chuck Tymheredd Uchel a Ddatblygwyd yn Annibynnol:** Mae'r dechnoleg hon yn gwella unffurfiaeth tymheredd yn ystod gwresogi wafferi, yn lleihau diffygion proses yn sylweddol, ac yn goresgyn cyfyngiadau dulliau glanhau gwlyb traddodiadol.

**Rheoli Halogiad Cynhwysfawr:** Mae'r siambr NIC (Glanhau Heb Ryngweithio) yn atal croeshalogi yn effeithiol, ynghyd â thechnoleg SF-Aerosol (defnynnau cyflymder uchel/unffurf) ar gyfer glanhau ffisegol.

**System Ddeallus Hynod Integredig:** Wedi'i gyfarparu ag APAC, AIS (System Canfod Awtomatig), a SEAS (System Dadansoddi Offer Clyfar), mae'n cyflawni rheolaeth llif fanwl gywir a dadansoddiad deallus o statws offer.

**Meysydd Cymhwyso:** Wedi'i leoli yn Samsung, yn gwasanaethu cleientiaid byd-eang gorau.

Mae BLUEICE PRIME yn targedu'n bennaf ffowndrïau sglodion rhesymeg a gweithgynhyrchwyr cof byd-eang gorau. Gan fanteisio ar statws ei gwmni rhiant SEMES fel is-gwmni Grŵp Samsung, mae'r offer hwn wedi'i integreiddio'n ddwfn i linellau cynhyrchu ffatri wafer mwyaf datblygedig Samsung. Mae ei ddatrysiad glanhau gwlyb yn ffurfio ecosystem cyflawn gydag offer craidd blaen eraill fel lithograffeg (cyfres OMEGA) ac ysgythru (cyfres MICHELAN). Mae'n werth nodi bod SEMES wedi ehangu ei gwmpas busnes i'r maes gweithgynhyrchu HBM (Cof Lled Band Uchel) cyfan, gan ddatblygu a chynhyrchu peiriant bondio thermol (TC Bonder) yn llwyddiannus ar gyfer pentyrru sglodion HBM.

I grynhoi, mae BLUEICE PRIME yn dangos cryfder technolegol dwfn SEMES ym maes offer lled-ddargludyddion. Mae'n rhan hanfodol o ymdrechion Grŵp Samsung i gadarnhau ei safle fel arweinydd byd-eang mewn technolegau prosesau uwch ac yn offeryn allweddol sy'n cefnogi gweithgynhyrchu arloesol o dan 2nm.