SCREEN lövhə təmizləyicisi SU-3200

SCREEN SU-3200, yarımkeçirici istehsal sənayesində əlamətdar bir 300 mm-lik tək lövhəli təmizləmə sistemidir. Üstün məhsuldarlığı və aparıcı təmizlik texnologiyası ilə uzun müddət SCREEN-in əsas modeli olaraq xidmət etmiş, 32nm-dən 7nm-ə qədər məntiq və yaddaş çiplərinin və daha da inkişaf etmiş qovşaqların istehsalını dəstəkləmiş və təmizləmə avadanlığı bazarında mühüm rol oynamışdır.

Əsas Mövqeləndirmə və Texnologiyaya Baxış: SU-3200-ün əsas mövqeyi, tək vafli təmizləmənin məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə artırmaqla yanaşı, son dərəcə yüksək təmizliyi qorumaq və qabaqcıl proseslərin həddindən artıq səmərəlilik tələblərini ödəməkdir.

Yüksək məhsuldarlıqlı Dizayn: İnnovativ dörd qatlı yığılmış arxitektura vasitəsilə tək bir sistem 12-yə qədər müstəqil proses kamerası ilə konfiqurasiya edilə bilər və saatda 800 lövhəyə (WPH) qədər emal gücünə nail ola bilər ki, bu da o dövrdə tək lövhəli təmizləmə sistemləri arasında dünyada lider idi.

Ultra Təmiz Proses Mühiti: 22 nm və daha inkişaf etmiş qovşaqların sərt tələblərinə cavab vermək üçün SU-3200, SCREEN-in xüsusi APAC (Qabaqcıl Proses Atmosferi Nəzarəti) texnologiyası ilə təchiz edilmişdir. Kamera mühitini birdən çox ölçüdə optimallaşdırmaqla, təmizləmə prosesinin son dərəcə təmizliyini təmin edir.

Əsas Texniki Təfərrüatlar: Ötürmə qabiliyyəti və təmizlik kimi ikili məqsədlərə çatmaq üçün SU-3200 aşağıdakı cədvəldə ətraflı şəkildə göstərilən bir sıra innovativ dizaynlardan istifadə edir:

Texnologiya Ölçüsü | Texnologiya Adı | Əsas Funksiya və Tətbiq Metodu

Qazancın Artırılması | Kompakt Kamera | Tək bir proses kamerasının həcmini əvvəlkindən iki dəfə azaldır və eyni məkanda daha çox kamera yerləşdirməyə imkan verir və bununla da vahid sahəyə düşən məhsuldarlığı artırır.

Yüksək Sürətli Transfer Sistemi | Kameralar arasında lövhələrin ötürmə məntiqini və sürətini optimallaşdırır ki, bu da saatda 800 lövhə (WPH) yüksək məhsuldarlığa nail olmaq üçün əsas dəstəkdir.

Təmizlik Təminatı | Asiya-Sakit Okean Texnologiyası | Ultra təmiz kamera texnologiyası bir sıra texnologiyalar üçün ümumi termindir. Onun əsas alt texnologiyalarına aşağıdakılar daxildir:

AMC Mikrokamera: Kameranın daxili həcmini əvvəlki modelinin üçdə birinə qədər azaldır, qazın daha sürətli dəyişdirilməsinə imkan verir və ətraf mühitin təmizliyini effektiv şəkildə artırır.

ABG Hava Axını Balansılayıcı Dəstək: Ən yüksək səmərəli hissəcik filtri (FFU) tərəfindən üfürülən təmiz hava axınını bərabərləşdirmək, kameranın içərisində burulğanların və ya ölü zonaların qarşısını almaq və hissəcik maddələrinin effektiv şəkildə çıxarılmasını təmin etmək üçün istifadə olunur.

ASP Qabaqcıl Spreydən Qoruma: Dəqiq dizayn vasitəsilə kimyəvi püskürtmə zamanı kimyəvi sıçramaları minimuma endirir, təmiz lövhə emalı mühitini təmin edir.

APN Hava Qoruyucu Başlıq: Qurutma mərhələsində lövhənin səthini qorumaq və maye buxarlanma qalığından qaynaqlanan su ləkələrinin qarşısını almaq üçün "hava pərdəsi"ndən istifadə olunur.

Çevik Kimyəvi Təchizat: Kimyəvi mənbələr çevik şəkildə təşkil edilə bilər. Həm Dinamik Birbaşa Enjeksiyon (DDI), həm də şkaf tipli sistemlər mövcuddur ki, bu da müştərilərə müəyyən proses tələblərinə uyğun olaraq çevik seçim etməyə imkan verir.

Texniki Xidmətin Asanlığı: Çəkilə bilən struktur: Proses kamerası asan təmizləmə, komponentlərin dəyişdirilməsi və digər texniki xidmət işləri üçün çekmece kimi çıxarıla bilər və bu da avadanlığın dayanma müddətini effektiv şəkildə azaldır. Tətbiq Sahələri: Ən qabaqcıl tədqiqat və inkişafdan yetkin istehsalata qədər

SU-3200, yarımkeçirici istehsalının bir neçə əsas mərhələsini əhatə edən geniş tətbiq sahəsinə malikdir.

Qabaqcıl Məntiq və Yaddaş Çipləri: SU-3200, həm ön (FEOL), həm də arxa (BEOL) proseslərində 7nm və daha inkişaf etmiş qovşaqlar da daxil olmaqla çiplərin tədqiqat və inkişaf işlərində və istehsalında istifadə olunur.

Əsas Yarımkeçirici Materiallar və Proseslər: Dəstəklədiyi bir çox proses arasında SiC (Silicon Carbide) və GaN (Qallium Nitrid) kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materiallarının təmizlənməsi də var.

Ən Müasir Tədqiqat və Ekosistem Əməkdaşlığı: SU-3200-ün güclü performansı onu dünyanın aparıcı Tədqiqat və İnkişaf müəssisələrinin seçiminə çevirir. Məsələn, IBM SU-3200-ü Nyu-Yorkun Albani şəhərindəki yarımkeçirici tədqiqat mərkəzində tətbiq edib. Bundan əlavə, SCREEN, daha inkişaf etmiş çip proseslərini inkişaf etdirmək üçün META Mərkəzində SU-3200-ü quraşdıraraq Applied Materials ilə əməkdaşlıq edib.

Bazar mövqeyi və tarixi töhfələr

SU-3200 təkcə uğurlu bir məhsul deyil, həm də SCREEN-in bazar liderliyi mövqeyinin qurulmasında əsas amildir.

Bazar Dominantlığı: SU-3200-ün uğurundan sonra SCREEN təmizləyici avadanlıqlar sahəsində lider mövqeyini daha da möhkəmləndirdi. Rəsmi SCREEN məlumatlarına görə, 2025-ci ilin iyul ayı etibarilə yarımkeçirici təmizləyici avadanlıqların ümumi tədarükü 15.000 ədədi keçərək tək lövhəli təmizləmə, toplu təmizləmə və spin təmizləmə daxil olmaqla bir çox seqmentdə qlobal bazarda bir nömrəli paya sahib oldu.

Gəlir Sütunu: Uzun müddət SU-3200 SCREEN-in ulduz məhsulu idi və təmizlik avadanlığı biznesinin gəliri bu modeldən çox asılı idi.