SEMES wafer cleaner BLUEICE PRIME

SEMES-in BLUEICE PRIME, qabaqcıl proses texnologiyası (LPT) məntiqi və yaddaş çiplərinin istehsalı üçün hazırlanmış 300 mm-lik tam avtomatlaşdırılmış tək lövhəli təmizləmə sistemidir. Samsung Electronics şirkətinin əsas avadanlıq təchizatçısı olan SEMES tərəfindən hazırlanıb istehsal edilən bu cihaz, 2nm kimi qabaqcıl proseslərin kütləvi istehsal məhsuldarlığını artırmaq üçün əsas avadanlıqdır.

Əsas Performans: Qabaqcıl Proseslər və Tutumların Balanslaşdırılması

Üstün Proses Performansı: 19 nm səviyyəsində hissəcikləri təmizləmək qabiliyyətinə malikdir, aşınma vahidliyini 40%-dən çox əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.

Yüksək Səmərəlilik Tutum Dizaynı: 300 mm-lik tək lövhəli təmizləmə sistemi olaraq, saatda 500-dən çox lövhəni (WPH) emal edir və bu da genişmiqyaslı kütləvi istehsalın tələblərini effektiv şəkildə qarşılayır.

Texniki Xüsusiyyətlər: Birdən çox müstəqil şəkildə hazırlanmış innovativ dizaynlar

İnnovativ Yüksək Temperaturlu Fosfor Turşusu Prosesi: Əsas prosesi lövhə aşındırma və soyma üçün yüksək temperaturlu fosfor turşusundan istifadə edir. Çiləmə və temperaturun dəqiq idarə olunması prosesin dispersiyasını və qüsur nisbətlərini effektiv şəkildə azaldır və 2nm çip məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə artırır.

**Müstəqil olaraq hazırlanmış yüksək temperaturlu patron:** Bu texnologiya lövhənin qızdırılması zamanı temperaturun vahidliyini artırır, proses qüsurlarını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və ənənəvi nəm təmizləmə üsullarının məhdudiyyətlərini aradan qaldırır.

**Hərtərəfli Çirklənməyə Nəzarət:** NIC (Qeyri-Qarşılıqlı Təmizləmə) kamerası, fiziki təmizləmə üçün SF-Aerosol (yüksək sürətli/vahid damcı) texnologiyası ilə birlikdə çarpaz çirklənmənin qarşısını effektiv şəkildə alır.

**Yüksək İnteqrasiyalı Ağıllı Sistem:** APAC, AIS (Avtomatik Aşkarlama Sistemi) və SEAS (Ağıllı Avadanlıq Təhlili Sistemi) ilə təchiz olunmuş bu sistem, dəqiq axın nəzarəti və avadanlıq vəziyyətinin ağıllı təhlilini təmin edir.

**Tətbiq Sahələri:** Samsung şirkətində fəaliyyət göstərir və qlobal müştərilərə xidmət göstərir.

BLUEICE PRIME, əsasən, dünyanın aparıcı məntiqi çip tökmə müəssisələrini və yaddaş istehsalçılarını hədəf alır. Ana şirkəti SEMES-in Samsung Group törəmə şirkəti statusundan istifadə edən bu avadanlıq, Samsung-un ən qabaqcıl lövhə fabriki istehsal xətlərinə dərindən inteqrasiya olunub. Onun nəm təmizləmə həlli litoqrafiya (OMEGA seriyası) və aşındırma (MICHELAN seriyası) kimi digər əsas ön hissə avadanlıqları ilə tam bir ekosistem təşkil edir. Qeyd etmək lazımdır ki, SEMES öz biznes əhatə dairəsini bütün HBM (Yüksək Bant Genişliyi Yaddaş) istehsal sahəsinə genişləndirərək, HBM çip yığılması üçün termal bağlama maşınını (TC Bonder) uğurla inkişaf etdirib və kütləvi istehsal edib.

Xülasə, BLUEICE PRIME, yarımkeçirici avadanlıq sahəsində SEMES-in dərin texnoloji gücünü nümayiş etdirir. Bu, Samsung Qrupunun qabaqcıl proses texnologiyaları sahəsində qlobal lider və 2nm-dən aşağı qabaqcıl istehsalı dəstəkləyən əsas vasitə kimi mövqeyini möhkəmləndirmək səylərinin vacib bir hissəsidir.