Nitto DR3000III yarımkeçirici lövhə montaj cihazı

Bu, Nitto Denko şirkətinin NEL SYSTEM™ DR3000III cihazına ətraflı girişdir. Bu, yarımkeçirici istehsalında əsas rol oynayan tam avtomatlaşdırılmış lövhə qoruyucu lent tətbiq maşınıdır.

Əsas Konfiqurasiya və Texniki Xüsusiyyətlər

DR3000III-in əsas texniki xüsusiyyətləri aşağıdakılardır:

Məhsulun Xüsusiyyətləri/Parametrləri

Avadanlıq növü: 300 mm lövhələr üçün tam avtomatlaşdırılmış qoruyucu lent aplikatoru

Uyğun lövhə ölçüsü: 300 mm (12 düym) / 200 mm (8 düym)

Tətbiq olunan lövhə qalınlığı: 400μm və ya daha qalın

Məhsuldarlıq: saatda 68 vafli

Lent Tətbiqi Texnologiyası: İnteqrasiya olunmuş gərginliksiz tətbiq idarəetmə mexanizmi

Uyğun Standartlar: CE işarəsi və SEMI S2/S8 spesifikasiyalarına cavab verir

Diqqət: Yuxarıdakı spesifikasiyalar lövhə, lent və digər şərtlərə əsasən dəyişə bilər və əlavə xüsusiyyətlər də daxil ola bilər.

Əsas Xüsusiyyətlər və Faydalar

DR3000III-in güclü xüsusiyyətləri onu dəqiq istehsal sahəsində fərqləndirir:

Dartılmayan Tətbiq Texnologiyası: Bu, onun əsas texnoloji üstünlüklərindən biridir. Laminasiyadan əvvəl lent gərginliyinin minimuma endirilməsi, arxa tərəfdən üyüdüldükdən sonra lövhənin əyilməsini effektiv şəkildə idarə edir ki, bu da böyük ölçülü, ultra nazik lövhələrin işlənməsi üçün vacibdir.

Aşağı gərginlikli laminasiya nəzarəti: Avadanlıq aşağı gərginlikli yapışdırma və yapışqanlı stress nəzarətinə malikdir və laminasiya zamanı lövhə naxışının zədələnmə riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

Lövhə uyğunluğu: 300 mm-lik lövhələr üçün nəzərdə tutulsa da, 200 mm-lik lövhələrlə geriyə uyğundur və qızdırılan patron masası (Maksimum 100°C) və qızdırılan diyircəklər (Maksimum 60°C) kimi əlavə xüsusiyyətlərə malik xüsusi prosesləri dəstəkləyir. Bundan əlavə, müəyyən dərəcədə əyilməyə malik əyilmiş lövhələri və lövhələri effektiv şəkildə idarə edir.

Yüksək avtomatlaşdırma və zəka: Avadanlıq aşağıdakılarla təchiz olunub:

Avtomatlaşdırılmış material emalı: Tam avtomatlaşdırılmış yükləmə və boşaltma üçün quraşdırılmış robot qolu ilə öndən açılan lövhə kasetlərini (FOUP) / açıq kasetləri dəstəkləyir.

Dəqiq uyğunlaşdırma: Laminasiya dəqiqliyini təmin etmək üçün təmassız CCD uyğunlaşdırma sistemindən istifadə edir.

Ağıllı Monitorinq: Məlumatların izlənməsi üçün jurnal faylı funksiyası ilə təchiz olunmuşdur; lent sarkmasının aşkarlanması nasazlıqların qarşısını alır. Əlavə olaraq lövhə xəritələşdirmə skaneri daxil olan materialın avtomatik yoxlanılmasını təmin edir.

Yüksək Sənaye Standartlarına Uyğundur: Avadanlıq SEMI S2/S8 təhlükəsizlik və ətraf mühit standartlarına uyğundur və müasir yarımkeçirici zavod avtomatlaşdırma sistemlərinə sorunsuz inteqrasiya üçün isteğe bağlı SECS/GEM rabitə protokolları ilə mövcuddur.

İstifadəçi dostu əməliyyat: Böyük sensor ekran və resept funksiyası əməliyyatı sadə və intuitiv edir. İstifadəçilər bütün parametr parametrlərini avtomatik olaraq tamamlamaq üçün yalnız müvafiq məhsulun reseptini çağırmalıdırlar.

İş prinsipi: Arxa üyütmə prosesindən əvvəl, DR3000III, sonrakı yüksək sürətli üyütmə zamanı lövhənin ön tərəfinə mexaniki zədələnmənin və ya kimyəvi çirklənmənin qarşısını almaq üçün gərginliksiz bir üsuldan istifadə edərək lövhənin naxışlı tərəfinə qoruyucu lenti dəqiq şəkildə yapışdırır.

Tətbiq Sahələri: DR3000III əsasən aşağıdakı əsas sahələrdə istifadə olunur:

Yarımkeçirici İstehsalı: Məntiq çipləri və yaddaş çipləri (DRAM, NAND Flash və s.): Qabaqcıl proseslərdə lövhənin ön tərəfindəki incə dövrə strukturunun qorunması. Qabaqcıl Qablaşdırma: Getdikcə daha genişlənən 300 mm lövhə səviyyəli qablaşdırma prosesləri (Fan-In WLP, Fan-Out WLP və s.) zamanı lövhənin qorunmasını təmin edir.

MEMS və Sensorlar: Arxa tərəfdəki incəlmə prosesləri zamanı mikromexaniki strukturları və sensor sahələrini qoruyur.

Güclü Yarımkeçirici Cihazlar: IGBT və MOSFET kimi güc cihazları üçün lövhələri emal edir, müqaviməti azaldır və incəltmə yolu ilə istilik yayılmasını yaxşılaşdırır.

Digər avadanlıqlarla əməkdaşlıq: Yarımkeçirici qablaşdırma xətlərində DR3000III adətən aşağıdakı avadanlıqlarla birlikdə işləyir:

Film Tətbiqi Avadanlığı ilə Əməkdaşlıq: İncələşdirmə prosesindən əvvəl və sonra Nitto NEL-MA3000-III lent çıxarma avadanlığı ilə birlikdə işləyir. DR3000III əvvəlcə incəltmə zamanı lövhəni zədələnmədən qorumaq üçün qoruyucu lent çəkir; incəltmədən sonra NEL-MA3000-III qoruyucu lenti dəqiq şəkildə çıxarır və bu da ultra nazik lövhənin bütövlüyünü və təhlükəsizliyini bütün proses boyunca təmin edir.

Cilalama Avadanlıqları ilə Əməkdaşlıq: Qoruyucu addım kimi cilalama maşınları ilə sıx əməkdaşlıq edir. Lövhələr DR3000III tərəfindən qoruyucu təbəqələrlə örtüldükdən sonra, üyütmə prosesinin təhlükəsizliyini və sabitliyini etibarlı şəkildə təmin etmək üçün arxa tərəfdən incəltmə üçün üyütmə maşınına verilir.

Ümumilikdə, Nitto DR3000III yüksək ixtisaslaşmış, avtomatlaşdırılmış və yüksək performanslı lövhə mühafizə sistemidir. Gərginliksiz plyonka laminasiyası texnologiyası sayəsində, arxa tərəfin incəldilməsi prosesi zamanı böyük ölçülü lövhələrdə rast gəlinən əyilmə və qırılma kimi ümumi problemləri effektiv şəkildə həll edir. Yarımkeçirici sənayesində mühüm rol oynayır və qabaqcıl çip istehsalının məhsuldarlığını və etibarlılığını təmin etmək üçün vacib bir avadanlıq parçası kimi xidmət göstərir. Qiymət təklifləri və ya texniki sorğular üçün Nitto-nun Çindəki rəsmi nümayəndələri və ya səlahiyyətli distribyutorları ilə birbaşa əlaqə saxlayın.