Станок для злучэння чыпсаў ASM AMICRA NANO

AMICRA NANO ад ASM — гэта першакласны звышвысокадакладны апарат для злучэння крышталяў тыпу «фліп-чып». Фактычна, гэта не проста апарат для злучэння крышталяў тыпу «фліп-чып», а прылада, якая спалучае ў сабе функцыі злучэння крышталяў і злучэння тыпу «фліп-чып», гнутка апрацоўваючы розныя працэсы злучэння.

Асноўныя характарыстыкі і тэхнічныя характарыстыкі AMICRA NANO

Падрабязнае апісанне функцый

Тып абсталявання: звышдакладны штампавы станок / станок для злучэння стружкі

Дакладнасць стрыжня: дакладнасць размяшчэння/выраўноўвання: ±0,2 мкм пры 3σ

Метады склейвання: гібрыднае склейванне, эўтэктычнае склейванне, лазернае склейванне, тэрмастатычнае склейванне (TCB), УФ-зацвярдзенне

Дыяпазон ціску склейвання: ад 0,1 Н да 20 Н (прыблізна ад 10 г да 2 кг)

Памер чыпа: апрацоўвае надзвычай дробныя чыпы, напрыклад, 0,1 мм х 0,1 мм

Памер падкладкі: падыходзіць для падкладак памерам да 300 мм х 300 мм

Прадукцыйнасць (у гадзіну): прыблізна 200-400 чыпсаў у гадзіну

Аперацыйная сістэма: інтэрфейс Windows

Памеры абсталявання: толькі пляцоўка 2,23 х 1,0 м (прыблізна 7,3 х 3,3 фута)

Працоўнае асяроддзе Абсталявана HEPA-фільтрамі і генератарам іонаў, што забяспечвае высокую чысціню чыстага асяроддзя.

Больш тэхнічных звестак і параўнанне з падобнымі мадэлямі

Прынцып

Высокая дакладнасць камеры AMICRA NANO вынікае з яе ўнікальнай канструкцыі: чатыры сістэмы візуалізацыі з высокім разрозненнем замацаваны на падставе з натуральнага граніту, а іншыя сістэмы кіравання рухам рухаюцца вакол гэтых фіксаваных камер. У спалучэнні з актыўным гашэннем вібрацыі і дынамічнай сістэмай выраўноўвання гэта забяспечвае дакладнае размяшчэнне.

Сферы прымянення

Ён прызначаны для складаных задач упакоўкі з надзвычай высокімі патрабаваннямі да дакладнасці, асабліва для крэмніевай фатонікі, упакоўкі аптычных прылад, пераўтварэння чыпаў у пласціны і інтэграцыі 2,5D/3D ІС.

Перавагі працэсу

Акрамя надзвычай высокай дакладнасці размяшчэння, AMICRA NANO таксама падтрымлівае высакахуткасныя працэсы эўтэктычнага злучэння AuSn і мае магчымасці эўтэктычнага злучэння in situ, эфектыўна паляпшаючы прапускную здольнасць і якасць злучэння.

Іншыя вытворныя мадэлі

Акрамя NANO, серыя ASMPT AMICRA таксама ўключае ў сябе:

NOVA Pro: Таксама падтрымлівае злучэнне фліп-чыпаў з дакладнасцю ±1,0 мкм, што дазваляе дасягнуць балансу паміж хуткасцю і дакладнасцю.

AFC Plus: Гэта універсальны апарат для злучэння фігурных фігур з дакладнасцю ±1,5 мкм, прызначаны для дапаўнення да серыі NANO высокага класа.

Карацей кажучы, ASM AMICRA NANO распрацавана для задавальнення самых высокіх патрабаванняў да ўпакоўкі. У адрозненне ад абсталявання, якое надае прыярытэт эфектыўнасці, яно сканцэнтравана на дасягненні надзвычайнай дакладнасці ±0,2 мкм, абслугоўваючы даследаванні і распрацоўкі, а таксама перадавую вытворчасць з высокім узроўнем зборкі і невялікімі аб'ёмамі ў такіх перадавых галінах, як крэмніевая фатоніка і штучны інтэлект.