Плазменны ачышчальнік Nordson MARCH AP-600

Nordson MARCH AP-600 — гэта класічная настольная сістэма вакуумнай плазменнай апрацоўкі. Вядомая сваёй выключнай надзейнасцю і прастатой выкарыстання, гэтая сістэма адыгрывае ключавую ролю ў шматлікіх сектарах, у тым ліку ў вытворчасці паўправаднікоў, мікраэлектроніцы і вытворчасці медыцынскіх прылад.

**Асноўныя тэхнічныя характарыстыкі**

Ніжэй прыведзены асноўныя тэхнічныя характарыстыкі AP-600, прызначаныя для таго, каб даць вам кароткі агляд яго асноўных функцый і прадукцыйнасці.

**Элемент спецыфікацыі** | **Канкрэтны параметр**

**Тып абсталявання** | Настольная, цалкам аўтаматызаваная сістэма пакетнай вакуумнай плазменнай апрацоўкі

**Памеры (Ш × Г × В)** | 569 × 869 × 704 мм

**Чыстая вага** | 221 кг (487 фунтаў)

**Матэрыял камеры** | Высокаякасны алюміній і алюмініевыя прыстасаванні

**Аб'ём камеры** | 50,4 літра

**Крыніца сілкавання радыёчастотных перадатчыкаў** | Стандартная магутнасць: 600 Вт пры 13,56 МГц (абсталявана сеткай аўтаматычнага ўзгаднення імпедансу)

**Канфігурацыя электродаў** | Падтрымлівае да 7 здымных латкоў для электродаў з рэгуляваным становішчам (падтрымлівае рэжымы прамой і наступнай плазмы)

**Кіраванне газам** | Стандарт: 2 каналы; магчымасць падключэння да 4 кантролераў масавага расходу (MFC)

**Сістэма кіравання** | ПЛК + сэнсарны экран інтэрфейсу «чалавек-машына» (HMI); падтрымка маніторынгу працэсаў у рэжыме рэальнага часу і адсочвання дадзеных

**Асноўныя характарыстыкі і перавагі**

Выключная прадукцыйнасць AP-600 абумоўлена наступнымі ключавымі асаблівасцямі:

**Выдатная аднастайнасць апрацоўкі**: Асноўная мэта праектавання AP-600 — дасягнуць «надзвычай аднастайных» вынікаў плазменнай ачысткі і апрацоўкі. Гэтая мэта дасягаецца дзякуючы бясшвоўнай інтэграцыі яго радыёчастотнай крыніцы харчавання 13,56 МГц і сеткі аўтаматычнага ўзгаднення імпедансу, што забяспечвае высокую паўтаральнасць вынікаў пры кожным выкананні працэсу.

**Гнуткія і універсальныя рэжымы апрацоўкі:** Гнуткая канструкцыя латка сістэмы падтрымлівае тры розныя рэжымы канфігурацыі электродаў: «Сістэма зазямлена», «Зямля-сістэма» і «Сістэма зазямлена». **Рэжым прамой плазмы:** Выкарыстоўвае высокаэнергетычныя іёны для адначасовага фізічнага бамбардзіравання і хімічных рэакцый на паверхні ўзору; ідэальны выбар для актывацыі паверхні і глыбокай ачысткі. **Рэжым плазмы ніжэй па плыні (дыстанцыйная):** Размяшчае ўзор на пэўнай адлегласці ад крыніцы плазмы, падвяргаючы яго выключна ўздзеянню доўгажывучых свабодных радыкалаў. Працэс ачысткі ў гэтым рэжыме больш мяккі, што робіць яго асабліва прыдатным для апрацоўкі дакладных прылад, адчувальных да іоннага бамбардзіравання або схільных да пашкоджанняў ад электрастатычнага разраду (ESD). **Простая і бяспечная эксплуатацыя:** Абсталявана сэнсарным інтэрфейсам з кіраваннем ПЛК, які з'яўляецца інтуітыўна зразумелым і зручным для карыстальніка, забяспечваючы адлюстраванне параметраў працэсу і інфармацыі аб стане ў рэжыме рэальнага часу. Убудаваныя ахоўныя дзверцы з блакіроўкай і здымная панэль забяспечваюць бяспеку эксплуатацыі, спрашчаючы рэгулярнае абслугоўванне і ўнутраныя эксплуатацыйныя працэдуры.

**Шырокая сумяшчальнасць з тэхналагічнымі газамі:** Падтрымлівае шырокі спектр тэхналагічных газаў, у тым ліку аргон (Ar), кісларод (O₂), вадарод (H₂), гелій (He) і фторзмяшчальныя газы (напрыклад, CF₄).

**Зручныя падключэнні да камунальных службаў:** Забяспечвае лёгкадаступныя інтэрфейсы камунальных службаў для задавальнення розных дапаможных патрабаванняў, такіх як перыядычная каліброўка і праверка.

**Шырокія сферы прымянення**

Зыходзячы з вышэйзгаданых асаблівасцей, сістэма AP-600 шырока ўжываецца ў розных галінах:

**Сфера прымянення** | **Прыклады канкрэтнага прымянення**

**Вытворчасць паўправаднікоў і мікраэлектронікі** | - **Папярэдняя апрацоўка крышталяў для мацавання:** Паляпшае адгезію крышталяў.

- **Папярэдняя апрацоўка для злучэння дроту:** Паляпшае трываласць злучэння.

- **Папярэдняя апрацоўка перад фармаваннем:** Змяншае расшараванне ўпакоўкі.

- **Папярэдняя апрацоўка падкладкі метадам Flip-Chip:** Паляпшае хуткасць патоку падкладкі, мінімізуе пустэчы і паляпшае адгезію.

- **Выдаленне фотарэзіста / Дэскум:** Выдаляе рэшткі пасля працэсаў травлення.

- **Выдаленне розных забруджванняў:** напрыклад, арганічных забруджванняў, тлушчу, пылу, аксідаў і рэшткаў наначасціц. **Медыцынскія і біялагічныя навукі** | - Папярэдняя ачыстка і склейванне медыцынскіх прылад, такіх як стэнты і катетеры; магчымасць склейвання разнастайных матэрыялаў, якія інакш цяжка злучыць; зніжэнне павярхоўнай ліпкасці кампанентаў з сілікону, атрыманых метадам ліцця пад ціскам.

- Апрацоўка паверхняў для біячыпаў і мікрафлюідных прылад.

**Іншыя сектары перадавой вытворчасці** | - **Вытворчасць друкаваных плат:** Выдаленне паверхневых рэшткаў і актывацыя паверхні для павышэння надзейнасці наступных працэсаў нанясення пакрыццяў.

- **Оптаэлектроніка і перадавая ўпакоўка**: паляпшэнне змочвальнасці паверхні перад рознымі этапамі ўпакоўкі, тым самым павышаючы эфектыўнасць аперацый залівання і напаўнення.

**Прынцып працы**

Плазменная ачыстка ў асноўным ўключае ў сябе два тыпы механізмаў: фізічны і хімічны.

**Фізічная рэакцыя:** Высокаэнергетычныя іоны з інэртных газаў, такіх як аргон (Ar), выкарыстоўваюцца для «бамбардзіроўкі» паверхні, эфектыўна выдаляючы прыліплыя забруджванні.

**Хімічная рэакцыя:** Уводзяцца кісларод (O₂) або фторзмяшчальныя газы; свабодныя радыкалы ў атрыманай плазме рэагуюць з арганічнымі рэчывамі на паверхні, утвараючы газападобныя пабочныя прадукты, якія затым адпампоўваюцца вакуумным помпай.

Два рэжымы працы AP-600 прызначаны для дасягнення балансу паміж гэтымі двума механізмамі, спецыяльна адаптаванымі да патрабаванняў дадзенага працэсу.

**Калабаратыўная экасістэма**

У межах поўнай вытворчай лініі AP-600 часта працуе разам з навакольным абсталяваннем:

**З іншым абсталяваннем Nordson:** У лініях паверхневага мантажу або ўпакоўкі AP-600 можа працаваць сінергічна з сістэмамі дазавання/пакрыцця Nordson ASYMTEK або высокадакладнымі дазавальнымі клапанамі EFD. Працэс пачынаецца з плазменнай ачысткі для актывацыі паверхні і павышэння павярхоўнай энергіі, а затым адбываецца дакладнае дазаванне для дасягнення высакаякасных вынікаў злучэння або пакрыцця.

**З іншым тэхналагічным абсталяваннем**: У вытворчых працэсах ІС AP-600 часта выкарыстоўваецца ў спалучэнні з такім абсталяваннем, як літаграфічныя сістэмы, іённыя імплантатары, плазменныя травільнікі, сканіруючыя электронныя мікраскопы (SEM) і сістэмы тэсціравання прылад, забяспечваючы бездакорнае павярхоўнае асяроддзе на крытычных этапах працэсу.

**Рэзюмэ**

Карацей кажучы, Nordson MARCH AP-600 — гэта настольная сістэма плазменнай апрацоўкі даследчага класа, якая спалучае ў сабе высокую дакладнасць, выключную гнуткасць і выдатную эканамічную эфектыўнасць. Яна эфектыўна задавальняе строгія патрабаванні да чысціні паверхні і адгезіі, якія існуюць у такіх галінах, як паўправаднікі, мікраэлектроніка і медыцынскія прыборы, што робіць яе ідэальным выбарам для тэхналагічных даследаванняў і распрацовак або дробнасерыйнай вытворчасці.