EN
id
sk
sr
sv
it
pt
bn
ms
be
nl
fr
th
vi
ru
ja
ko
de
hy
az
bs
bg
my
cs
da
dv
el
et
fil
fi
ga
gl
gn
he
hi
km
hr
hu
is
kn
rw
lo
lv
lt
lb
lg
mi
mt
ne
no
ny
or
om
per
pl
ro
sa
so
es
sw
ta
tr
uk
ur
cy
xh
Зондавая станцыя ACCRETECH UF3000EX — гэта прылада выяўлення электрычных сігналаў для кожнага чыпа на кожнай пласціне, прызначаная для забеспячэння якасці паўправадніковай прадукцыі. Прылада выкарыстоўвае тэхналогіі наступнага пакалення, якія значна паляпшаюць вытворчыя магутнасці дзякуючы новым алгарытмам і тэхналогіі апрацоўкі пласцін. Яе высакахуткасныя, нізкашумныя платформы восяў X і Y маюць перавагі новай сістэмы прывада, у той час як вось Z забяспечвае грузападымальнасць сусветнага класа і высокую дакладнасць. Канструкцыя прылады надзейна ліквідуе сілу на плоскасці дзякуючы добраму спалучэнню аптымальнага структурнага дызайну і тапалогіі. Акрамя таго, перадавая сістэма апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэма выраўноўвання каляровых малюнкаў пласцін, а таксама функцыя невялікага максімальнага павелічэння робяць UF3000EX высокадакладнай і працаздольнай прыладай у галіны.
Асноўныя характарыстыкі
Высокая хуткасць і нізкі ўзровень шуму: новая сістэма прывада дазваляе платформам па восях X і Y працаваць эфектыўна і ціха.
Высокая дакладнасць: вось Z забяспечвае грузападымальнасць сусветнага класа і высокую дакладнасць.
Структурная аптымізацыя: сіла на плоскасці ліквідуецца дзякуючы добраму спалучэнню аптымальнага структурнага праектавання і тапалогіі.
Палепшаная сістэма пазіцыянавання: абсталявана палепшанай сістэмай апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэмай выраўноўвання каляровых малюнкаў пласцін з функцыяй невялікага максімальнага павелічэння.
Сумяшчальнасць: падыходзіць для пласцін вялікага дыяметра (φ300 мм, да 12 цаляў), з аўтаматычнай аперацыйнай сістэмай, высокадакладным выяўленнем, высокай прапускной здольнасцю, нізкай вібрацыяй і г.д.
Сфера прымянення
Зондавая станцыя UF3000EX шырока выкарыстоўваецца для тэставання пласцін у працэсе вытворчасці паўправаднікоў, асабліва на вытворчых лініях LSI і VLSI, што дазваляе эфектыўна і дакладна выяўляць электрычныя сігналы для забеспячэння якасці прадукцыі і эфектыўнасці вытворчасці.
