Лазерная маркіроўка для пласцін ThinkLaser SigmaClean

ThinkLaser SigmaClean — гэта цалкам аўтаматызаваная сістэма лазернага маркіравання «мяккай» маркіроўкі, распрацаваная спецыяльна для пласцін памерам ад 100 мм да 200 мм, якая цалкам адпавядае стандартам чыстых памяшканняў класа 1. Яе асноўная місія — выкарыстоўваць запатэнтаваную лазерную тэхналогію для нанясення эфектыўнай, трывалай і добра чытэльнай маркіроўкі на паўправадніковыя пласціны — без забруджвання часціцамі, — што дазваляе аўтаматызавана адсочваць іх на працягу ўсяго жыццёвага цыклу пласціны.

**Тэхнічныя прынцыпы**

Асноўныя моцныя бакі SigmaClean заключаюцца ў тэхналогіі кантролю чысціні крыніцы і стабільнай, дакладна распрацаванай канструкцыі абсталявання.

**Запатэнтаваная тэхналогія SuperSoftMark®:** Гэта ключавая асаблівасць, якая адрознівае SigmaClean ад іншага абсталявання. Дзякуючы дакладнаму кантролю лазернай энергіі, сістэма дасягае сапраўды безадмоўнай маркіроўкі. Гэтая функцыя кардынальна ліквідуе рызыку забруджвання часціцамі, што дазваляе бяспечна выкарыстоўваць сістэму ў вытворчых асяроддзях на пярэднім канцы лініі (FEOL), дзе патрабаванні да чысціні надзвычай строгія.

**Высокастабільны цвёрдацельны лазер з дыёднай накачкай:** Сістэма выкарыстоўвае запатэнтаваны цвёрдацельны лазер з дыёднай накачкай, які характарызуецца выключнай стабільнасцю ад імпульсу да імпульсу. Гэта забяспечвае высокую ступень аднастайнасці глыбіні і кругласці кожнай маркіраванай кропкі, тым самым гарантуючы стабільнасць і паўтаральнасць якасці маркіроўкі.

**Надзейныя аптычныя і аўтаматызаваныя сістэмы**: Уся машына мае цалкам аўтаматызаваную канструкцыю, падтрымлівае пратаколы сувязі SECS II/GEM для фабрычнай аўтаматызацыі і лёгка інтэгруецца з асноўнымі аўтаматызаванымі сістэмамі апрацоўкі пласцін, такімі як модулі пласцін SMIF (стандартны механічны інтэрфейс).

**Асноўныя перавагі і асаблівасці**

Перавагі SigmaClean выходзяць за рамкі яго перадавых магчымасцей маркіроўкі і дадаюць адчувальную каштоўнасць, якую ён дае заводам па вытворчасці пласцін.

**Непараўнальная чысціня:** Адпавядае патрабаванням сумяшчальнасці з чыстымі памяшканнямі класа 1 (міжнародны стандарт ISO клас 3), што робіць яго пераважным выбарам для заводаў па вытворчасці пласцін (Fabs) з надзвычай высокімі стандартамі чысціні асяроддзя.

**Высокая прадукцыйнасць і эканамічная эфектыўнасць**: гэтая сістэма выкарыстоўвае працэс мяккай маркіроўкі, спецыяльна распрацаваны для маркіроўкі паліраваных пласцін у чыстых памяшканнях і цяпер з'яўляецца галіновым стандартам, каб забяспечыць высокаэканамічнае рашэнне.

**Пастаянная якасць маркіроўкі і магчымасць адсочвання**: Выключная стабільнасць імпульсу лазера з'яўляецца ключом да дасягнення аднастайнай глыбіні і кругласці кропкі, што з'яўляецца найважнейшым фактарам для павышэння хуткасці распазнавання наступнымі сістэмамі машыннага зроку (аптычнае распазнаванне сімвалаў, OCR). Адначасова сістэма стварае пастаянныя, чытальныя пазнакі, забяспечваючы магчымасць адсочвання на кожным этапе вытворчасці.

Шырокая гнуткасць прымянення: некалькі груп маркіроўкі можна размясціць у любой арыентацыі на паверхні пласціны, прычым месцы маркіроўкі абмежаваныя кальцавой зонай у межах 25 мм ад краю пласціны.

Тэхнічныя характарыстыкі і эксплуатацыя/абслугоўванне

Катэгорыя спецыфікацыі | Падрабязныя параметры і апісанне

Класіфікацыя абсталявання | Цалкам аўтаматычная, сумяшчальная з чыстымі памяшканнямі па ISO 3 / класе 1, сістэма мяккай маркіроўкі 100–200 мм на вафельных пласцінах

Памер пласціны | Стандартная падтрымка для 100 мм – 200 мм (4–8 цаляў)

Тып лазера | Цвёрдацельны лазер Sigma100 з інфрачырвоным дыёдным накачваннем

Тэхналогія маркіроўкі | Запатэнтаваная SuperSoftMark® (мяккая маркіроўка без смецця)

Размяшчэнне маркіроўкі | Любая арыентацыя ў межах кальцавой зоны 25 мм на краі пласціны

Інтэрфейс сувязі | SECS II/GEM, паўстандартны хост-інтэрфейс

Транспарт/Касета | 3 адкрытыя станцыі для касет; дадатковы адаптар SMIF Pod 200 мм

Дадатковыя функцыі | Аптычнае распазнаванне сімвалаў/счытванне штрых-кодаў і паўторнае нанясенне маркіроўкі

Праграмная сістэма | Карыстальніцкі інтэрфейс на базе Windows®

Адпаведнасць і сертыфікацыя | Адпавядае стандартам SEMI S2/S8, CE і іншым

Электрасілкаванне і падача паветра | Стандартная прамысловая аднафазная крыніца харчавання 220 В і чыстае сціснутае паветра

SigmaClean таксама распрацаваны з улікам прастаты абслугоўвання:

**Прастата абслугоўвання**: Канструкцыя сістэмы забяспечвае простае штодзённае абслугоўванне; рэгулярныя праверкі, такія як чыстка лінзаў, можна выканаць прыблізна за 5 хвілін. Акрамя таго, абсталяванне мае аўтаматызаваную штодзённую самадыягностыку і дае зразумелыя рэкамендацыі па пратаколе абслугоўвання ў выпадку няспраўнасці, тым самым спрашчаючы планавае абслугоўванне па ініцыятыве карыстальніка.

**Бяспека і чысціня:** Агульная канструкцыя машыны адпавядае міжнародным стандартам бяспекі (напрыклад, SEMI S2/S8, CE і г.д.) і абсталявана ўбудаванай сістэмай пылазбору, што яшчэ больш забяспечвае бяспеку і гігіену вытворчага асяроддзя.

**Асноўныя функцыі і сцэнарыі прымянення**

**Вытворчасць пласцін на пачатковым этапе:** Падыходзіць для пласцін з такіх матэрыялаў, як крэмній, карбід крэмнію і арсеналу (SiC) і арсеналу галіі (GaAs), памерам ад 100 мм да 200 мм. Гравіроўка ўнікальнага ідэнтыфікатара на пачатковых этапах вытворчасці дазваляе адсочваць якасць ад пачатку да канца і праводзіць статыстычны кантроль працэсаў (SPC).

**Пашыраная ўпакоўка:** Забяспечвае важныя ідэнтыфікатары адсочвання ў працэсах упакоўкі на ўзроўні пласцін (WLP) або адноўленай пласціны.

**НДДКР і дробнасерыйная вытворчасць**: Гнуткая аўтаматызаваная канструкцыя робіць яе ідэальнай для НДДКР і пілотных вытворчасцей, якія характарызуюцца вялікай колькасцю прадуктаў і невялікімі аб'ёмамі вытворчасці.

**Рэзюмэ і параўнанне**

Карацей кажучы, ThinkLaser SigmaClean — гэта абсталяванне, якое адпавядае вядучым у галіны стандартам чысціні, стабільнасці і аўтаматызацыі. Выкарыстоўваючы запатэнтаваную тэхналогію SuperSoftMark®, яно эфектыўна вырашае асноўную праблему — забруджванне часціцамі, — якая часта асацыюецца з традыцыйнымі метадамі маркіроўкі, тым самым замацоўваючы сябе ў якасці эталона ў галіне «мяккай маркіроўкі» для пласцін памерам ад 4 да 8 цаляў. Каб лепш зразумець яго месца ў лінейцы прадуктаў, звярніцеся да наступнага параўнання з SC300 — яшчэ адной прыладай для мяккай маркіроўкі:

**Асаблівасць** | **SigmaClean** | **SC300**

**Першасная сістэма пазіцыянавання** | Цалкам аўтаматызаваная сістэма мяккай маркіроўкі для пласцін памерам 100–200 мм (4–8 цаляў) | Цалкам аўтаматызаваная сістэма мяккай маркіроўкі для пласцін памерам 300 мм (12 цаляў)

**Прымяненне на рынку** | Арыентаваны на вытворчасці паўправадніковых пласцін і заводы па ўпакоўцы, якія апрацоўваюць пласціны памерам 8 цаляў і менш; служыць вядучым рашэннем у гэтым сегменце рынку | Шырока выкарыстоўваецца ўсімі вытворцамі інтэграваных прылад (IDM) памерам 300 мм і ліцейнымі заводамі па вытворчасці пласцін

**Тэхнічныя характарыстыкі** | Сумяшчальны з чыстымі памяшканнямі класа 1; выкарыстоўвае запатэнтаваную тэхналогію SuperSoftMark® для дасягнення маркіроўкі без смецця | Таксама выкарыстоўвае тэхналогію мяккай маркіроўкі, якая забяспечвае неабходную сумяшчальнасць, чысціню, якасць маркіроўкі і надзейнасць, неабходныя для масавай вытворчасці 300 мм

**Транспартная сістэма** | Звычайна канфігуруецца з 3 адкрытымі касетнымі станцыямі; модулі SMIF даступныя ў якасці опцыі | Звычайна сумяшчальная з аб'яднанымі модулямі з пярэднім адкрыццём (FOUP); падтрымлівае сістэмы OHT (транспарт з пад'ёмнікам)

**Стан галіны** | Вядучае ў галіны рашэнне для мяккай маркіроўкі пласцін памерам 4–8 цаляў | Прамысловы стандарт для мяккай маркіроўкі на пласцінах памерам 300 мм з велізарнай усталяванай базай (больш за 140 адзінак)