Прылада мантажу паўправадніковых пласцін Nitto DR3000III

Гэта падрабязнае знаёмства з NEL SYSTEM™ DR3000III ад Nitto Denko. Гэта цалкам аўтаматызаваная машына для нанясення ахоўнай стужкі на пласціны, якая адыгрывае ключавую ролю ў вытворчасці паўправаднікоў.

Асноўная канфігурацыя і тэхнічныя характарыстыкі

Асноўныя тэхнічныя характарыстыкі DR3000III наступныя:

Тэхнічныя характарыстыкі/параметры прадмета

Тып абсталявання: цалкам аўтаматызаваны аплікатар ахоўнай стужкі для пласцін 300 мм

Памер пласціны, які адпавядае патрабаванням: 300 мм (12 цаляў) / 200 мм (8 цаляў)

Прыдатная таўшчыня пласціны: 400 мкм або больш

Прапускная здольнасць: 68 пласцін/гадзіну

Тэхналогія нанясення стужкі: інтэграваны механізм кіравання нанясеннем без нацяжэння

Сумяшчальныя стандарты: адпавядае маркіроўцы CE і спецыфікацыям SEMI S2/S8

Звярніце ўвагу: вышэйпаказаныя характарыстыкі могуць змяняцца ў залежнасці ад тыпу пласціны, стужкі і іншых умоў, а таксама могуць уключаць дадатковыя функцыі.

Асноўныя асаблівасці і перавагі

Магутныя характарыстыкі DR3000III вылучаюць яго сярод іншых у галіне дакладнай вытворчасці:

Тэхналогія нанясення без нацяжэння: гэта адна з асноўных тэхналагічных пераваг. Мінімізацыя нацяжэння стужкі перад ламінаваннем эфектыўна кантралюе дэфармацыю пласцін пасля шліфоўкі адваротнага боку, што мае вырашальнае значэнне для апрацоўкі вялікага памеру, ультратонкіх пласцін.

Кантроль ламінавання з нізкім напружаннем: Абсталяванне мае склейванне з нізкім напружаннем і кантроль напружання клею, што значна зніжае рызыку пашкоджання малюнка пласціны падчас ламінавання.

Сумяшчальнасць з пласцінамі: Нягледзячы на ​​тое, што прылада распрацавана для пласцін памерам 300 мм, яна мае зваротную сумяшчальнасць з пласцінамі памерам 200 мм і падтрымлівае спецыяльныя працэсы з дадатковымі функцыямі, такімі як падагрэў патронавага стала (макс. 100°C) і падагрэў ролікаў (макс. 60°C). Акрамя таго, яна эфектыўна апрацоўвае пласціны з ударамі і пласціны з пэўнай ступенню дэфармацыі.

Высокая аўтаматызацыя і інтэлект: Абсталяванне абсталявана:

Аўтаматызаваная апрацоўка матэрыялаў: падтрымлівае касеты з франтальным адкрыццём пласцін (FOUP) / адкрытыя касеты з убудаванай рабатызаванай рукой для цалкам аўтаматызаванай загрузкі і разгрузкі.

Дакладнае выраўноўванне: выкарыстоўвае бескантактавую сістэму выраўноўвання CCD для забеспячэння дакладнасці ламінавання.

Інтэлектуальны маніторынг: абсталяваны функцыяй вядзення журнала для адсочвання дадзеных; выяўленне правісання стужкі прадухіляе няспраўнасці. Дадатковы сканер картаграфавання пласцін дазваляе аўтаматычна правяраць уваходны матэрыял.

Адпавядае высокім галіновым стандартам: Абсталяванне адпавядае стандартам бяспекі і аховы навакольнага асяроддзя SEMI S2/S8 і даступна з дадатковымі камунікацыйнымі пратаколамі SECS/GEM для бесперашкоднай інтэграцыі ў сучасныя сістэмы аўтаматызацыі вытворчасці паўправаднікоў.

Зручнае кіраванне: вялікі сэнсарны экран у спалучэнні з функцыяй рэцэптаў робіць кіраванне простым і інтуітыўна зразумелым. Карыстальнікам трэба толькі выклікаць рэцэпт адпаведнага прадукту, каб аўтаматычна завяршыць усе налады параметраў.

Прынцып працы: перад пачаткам шліфавання ззаду DR3000III дакладна прыляпляе ахоўную стужку да ўзорчатага боку пласціны без нацяжэння, каб прадухіліць механічныя пашкоджанні або хімічнае забруджванне пярэдняга боку пласціны падчас наступнага шліфавання на высокай хуткасці.

Сферы прымянення: DR3000III у асноўным выкарыстоўваецца ў наступных ключавых галінах:

Вытворчасць паўправаднікоў: лагічныя мікрасхемы і мікрасхемы памяці (DRAM, NAND Flash і г.д.): абарона далікатнай структуры схемы на пярэднім баку пласціны ў складаных працэсах. Пашыраная ўпакоўка: забяспечвае абарону пласціны падчас усё большых працэсаў упакоўкі пласцін памерам 300 мм (разгортка WLP з размяшчэннем вентылятара, разгортка WLP з размяшчэннем вентылятара і г.д.).

МЭМС і датчыкі: абараняе мікрамеханічныя структуры і зоны датчыкаў падчас працэсаў разрэджвання адваротнага боку.

Паўправадніковыя прыборы для сілавых прылад: апрацоўвае пласціны для сілавых прылад, такіх як IGBT і MOSFET, зніжаючы супраціўленне ва ўключаным стане і паляпшаючы цеплааддачу за кошт пратанчэння.

Супрацоўніцтва з іншым абсталяваннем: На лініях пакавання паўправаднікоў DR3000III звычайна працуе сумесна з наступным абсталяваннем:

Супрацоўніцтва з абсталяваннем для нанясення плёнкі: працуе сумесна з абсталяваннем для выдалення стужкі Nitto NEL-MA3000-III да і пасля працэсу прарэджвання. DR3000III спачатку наносіць ахоўную стужку, каб абараніць пласціну ад пашкоджанняў падчас прарэджвання; пасля прарэджвання NEL-MA3000-III дакладна выдаляе ахоўную стужку, забяспечваючы цэласнасць і бяспеку ультратонкай пласціны на працягу ўсяго працэсу.

Супрацоўніцтва з паліравальным абсталяваннем: цеснае супрацоўніцтва з паліравальнымі машынамі ў якасці ахоўнага этапу. Пасля таго, як DR3000III пакрывае пласціны ахоўнымі плёнкамі, яны падаюцца ў шліфавальны станок для пратанчэння адваротнага боку, што надзейна забяспечвае бяспеку і стабільнасць працэсу шліфавання.

У цэлым, Nitto DR3000III — гэта высокаспецыялізаваная, аўтаматызаваная і высокапрадукцыйная сістэма абароны пласцін. Дзякуючы тэхналогіі ламінавання плёнкі без нацяжэння, яна эфектыўна вырашае распаўсюджаныя праблемы дэфармацыі і сколаў, якія ўзнікаюць пры выкарыстанні вялікіх пласцін падчас працэсу танчэйшага зваротнага боку. Яна адыгрывае ключавую ролю ў паўправадніковай прамысловасці, служачы найважнейшым абсталяваннем для забеспячэння прадукцыйнасці і надзейнасці вытворчасці перадавых мікрасхем. Для атрымання прапаноў або тэхнічных запытаў звяртайцеся непасрэдна да афіцыйных прадстаўнікоў Nitto або аўтарызаваных дыстрыб'ютараў у Кітаі.