থিঙ্কলেজার SC300 হলো একটি উচ্চমানের, সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় "সফট মার্কিং" লেজার মার্কিং সিস্টেম, যা বিশেষভাবে ৩০০ মিমি ওয়েফারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর মূল বৈশিষ্ট্য হলো ওয়েফারের কোনো ক্ষতি না করে বা কোনো আবর্জনা তৈরি না করেই টেকসই ও অত্যন্ত সুস্পষ্ট মার্কিং প্রয়োগ করার ক্ষমতা—যার ফলে এটি ফ্রন্ট-এন্ড সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং-এর উৎপাদন বৃদ্ধি এবং শনাক্তকরণযোগ্যতার অত্যন্ত কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
ক্লিনরুম পরিবেশে প্রবেশ করার পর ওয়েফারগুলোকে দূষণমুক্তভাবে চিহ্নিত করার কঠোর চাহিদা মেটানোর জন্য এটি মূলত তৈরি করা হয়েছিল।
পরিচালন নীতি এবং মূল প্রযুক্তিসমূহ
নিম্নলিখিত তুলনার মাধ্যমে SC300-এর পরিচালনগত ও প্রযুক্তিগত সুবিধাগুলো সবচেয়ে ভালোভাবে বোঝা যায়:
মূল প্রযুক্তি | কার্যপ্রণালী | প্রধান সুবিধাসমূহ
**সুপারসফটমার্ক™ মার্কিং** | একটি পেটেন্টকৃত ডায়োড-পাম্পড সলিড-স্টেট (DPSS) লেজার ব্যবহার করে; লেজার শক্তিকে নিখুঁতভাবে নিয়ন্ত্রণ করে এটি ওয়েফারের পৃষ্ঠে ২.৫µm-এর মতো অগভীর মার্কিং তৈরি করে, যা কোনো ভৌত ক্ষতি না করে শুধুমাত্র উপাদানটির প্রতিফলন ক্ষমতা পরিবর্তন করে। | আবর্জনামুক্ত, অত্যন্ত পরিষ্কার, স্পষ্ট মার্কিং এবং ওয়েফারের কোনো ক্ষতি হয় না।
**পেটেন্টকৃত লেজার প্রযুক্তি** | এতে ব্যতিক্রমী পালস স্থিতিশীলতা (<০.৫%) সহ একটি ১০৫৩ nm Nd:YLF লেজার ব্যবহৃত হয়, যা প্রতিটি চিহ্নিত বিন্দুর গভীরতাকে সামঞ্জস্যপূর্ণ ও সুগঠিত করে। | উচ্চ ডট বৃত্তাকারতা (প্রধান-থেকে-গৌণ অক্ষের অনুপাত <১.১) সহ স্থিতিশীল চিহ্নিতকরণের গুণমান, যা কঠোর গুণমানের মানদণ্ড পূরণ করে।
উন্নত নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা | সিস্টেম-স্তরের ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ এবং একটি SECS/GEM ইন্টারফেসকে সমন্বিত করে, যা স্ট্যাটিস্টিক্যাল প্রসেস কন্ট্রোল (SPC) স্তর পর্যন্ত সমস্ত লেজার পারফরম্যান্স ডেটা নির্ভুলভাবে রেকর্ড করতে সক্ষম করে। | অত্যন্ত নিয়ন্ত্রণযোগ্য এবং শনাক্তযোগ্য প্রক্রিয়া, যা ফ্যাক্টরি অটোমেশন সিস্টেমে নির্বিঘ্নে সংহত হতে সক্ষম।
প্রযুক্তিগত বিবরণ
এর মূল প্রযুক্তিগুলোর ওপর ভিত্তি করে, SC300-এর নিম্নলিখিত প্রধান প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্যগুলো রয়েছে:
সমর্থিত ওয়েফার সাইজ: স্ট্যান্ডার্ড ৩০০ মিমি (১২-ইঞ্চি), এবং ২০০ মিমি (৮-ইঞ্চি) ওয়েফারের জন্যও সামঞ্জস্যপূর্ণ।
মার্কিং পারফরম্যান্স: প্রতি ঘন্টায় সর্বোচ্চ ১২৫টি ওয়েফার (WPH) পর্যন্ত একক অক্ষর মার্ক করার গতি। প্রতিটি মার্কিং গ্রুপ সর্বোচ্চ ৮০টি অক্ষর সমর্থন করে।
**চিহ্নিতকরণের নির্ভুলতা:** উচ্চ অবস্থান পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, যা ৫০×৫০ মিমি এলাকার মধ্যে ±০.১২৫ মিমি নির্ভুলতা অর্জন করে। ভৌত বৈশিষ্ট্য: এতে একটি এয়ার-কুলিং সিস্টেম ডিজাইন রয়েছে এবং এটি CE, SEMI S2, S8, ও S14 সহ অসংখ্য আন্তর্জাতিক সুরক্ষা এবং পরিবেশগত মান মেনে চলে।
প্রয়োগ ক্ষেত্র
SC300 বৃহৎ আকারের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন লাইনের একটি মূল ট্রেসেবিলিটি ডিভাইস হিসেবে কাজ করে, যা প্রধানত নিম্নলিখিত উদ্দেশ্যে ব্যবহৃত হয়:
ফ্রন্ট-এন্ড ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন: উৎপাদন বিশ্লেষণ, প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন এবং ওয়েফার ট্র্যাকিং সহজ করার জন্য ওয়েফারগুলিতে অনন্য আইডি চিহ্নিত করা।
উন্নত প্যাকেজিং: ওয়েফার-লেভেল প্যাকেজিং (WLP) প্রক্রিয়ার সময় পুনর্গঠিত ওয়েফার বা প্যানেলে "সফট মার্ক" প্রদান করা, যার মাধ্যমে শুরু থেকে শেষ পর্যন্ত প্রক্রিয়ার শনাক্তযোগ্যতা নিশ্চিত করা হয়।
যৌগিক সেমিকন্ডাক্টর: বিশেষায়িত ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার নির্দিষ্ট চাহিদা মেটাতে পরবর্তী প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর উপাদান—যেমন SiC, GaN, এবং GaAs—সক্ষমভাবে প্রক্রিয়াজাত করা।
পরিপূরক পণ্য
থিঙ্কলেজার একটি ব্যাপক ওয়েফার শনাক্তকরণ সমাধান স্যুট প্রদান করে, যার মধ্যে SC300 একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে:
HM300-এর পরিপূরক: SC300 বিশেষভাবে 'সফট মার্কিং'-এর জন্য তৈরি—এটি এমন একটি কৌশল যেখানে পৃষ্ঠতলের কোনো ক্ষতি বা দূষণের প্রয়োজন হয় না—অন্যদিকে HM300 ডিজাইন করা হয়েছে 'হার্ড মার্কিং' অ্যাপ্লিকেশনের জন্য, যেখানে উচ্চ স্থায়িত্বের প্রয়োজন হয়।
সিগমা ক্লিন/সিগমা ডিএসসি প্রোডাক্ট লাইনের অংশ: যেখানে এসসি৩০০ মূলত ৩০০ মিমি বাজারের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে, সেখানে সিগমা ক্লিন এবং সিগমা ডিএসসি সিস্টেমগুলো ২০০ মিমি এবং তার চেয়ে ছোট আকারের ওয়েফারের জন্য স্বয়ংক্রিয় সফট-মার্কিং সমাধান হিসেবে কাজ করে; একত্রে, এই সিস্টেমগুলো ওয়েফার মার্কিং সমাধানের জন্য একটি সম্পূর্ণ প্রোডাক্ট ম্যাট্রিক্স গঠন করে।
সারাংশ
পরিশেষে, থিঙ্কলেজার SC300 হলো একটি প্রযুক্তিগতভাবে উন্নত সফট-মার্কিং সিস্টেম, যা বিশেষভাবে বৃহৎ পরিসরে ৩০০ মিমি ওয়েফার উৎপাদনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর মূল শক্তি নিহিত রয়েছে এর নিজস্ব সুপারসফটমার্ক™ প্রযুক্তিতে, যা ওয়েফারের পৃষ্ঠের কোনো ক্ষতি না করেই কার্যকর, ধূলিকণামুক্ত এবং উচ্চ-নির্ভুল মার্কিং করতে সক্ষম—যা এটিকে আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে শুরু থেকে শেষ পর্যন্ত প্রক্রিয়ার শনাক্তকরণযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য একটি অপরিহার্য ডিভাইসে পরিণত করে।





