ASM-ov AMICRA NANO je vrhunski, ultra-visoko precizni uređaj za spajanje čipova metodom flip-chip. U stvari, to nije samo jednostavan uređaj za spajanje čipova, već uređaj koji kombinuje funkcije spajanja kalupa i flip-chip metode, fleksibilno rukujući različitim procesima spajanja.
Osnovne karakteristike i tehničke specifikacije AMICRA NANO
Detaljan opis karakteristika
Tip opreme: Ultraprecizni aparat za lijepljenje kalupima / aparat za lijepljenje s obje strane
Tačnost jezgra: Tačnost postavljanja/poravnanja: ±0,2 µm @ 3σ
Metode lijepljenja: Hibridno lijepljenje, Eutektičko lijepljenje, Lasersko lijepljenje, Termostatsko lijepljenje (TCB), UV očvršćavanje
Raspon pritiska lijepljenja: 0,1 N do 20 N (približno 10 g do 2 kg)
Veličina čipa: Obrađuje izuzetno male čipove, npr. 0,1 mm x 0,1 mm
Veličina podloge: Podnosi podloge do 300 mm x 300 mm
Brzina proizvodnje (UPH): Otprilike 200-400 čipova na sat
Operativni sistem: Windows interfejs
Dimenzije opreme: Samo zauzeta površina 2,23 x 1,0 m (približno 7,3 x 3,3 stope)
Procesno okruženje Opremljeno HEPA filterima i generatorom jona, što osigurava visokočisto okruženje čiste sobe.
Više tehničkih detalja i poređenje sa sličnim modelima
Princip
Ekstremna preciznost AMICRA NANO kamere proizlazi iz njenog jedinstvenog dizajna: četiri sistema za snimanje visoke rezolucije su fiksirana na prirodnu granitnu podlogu, dok se drugi sistemi za kontrolu kretanja kreću oko ovih fiksnih kamera. U kombinaciji s aktivnim prigušivanjem vibracija i sistemom dinamičkog poravnanja, ovo osigurava precizno postavljanje.
Područja primjene
Dizajniran je za napredne primjene pakovanja s izuzetno visokim zahtjevima za preciznost, a posebno se ističe u silicijumskoj fotonici, pakovanju optičkih uređaja, integraciji čipova i pločica i 2.5D/3D IC integraciji.
Prednosti procesa
Pored izuzetno visoke tačnosti postavljanja, AMICRA NANO takođe podržava brze procese eutektičkog vezivanja AuSn i ima mogućnosti eutektičkog vezivanja in situ, efikasno poboljšavajući protok i kvalitet veze.
Drugi derivativni modeli
Pored NANO-a, serija ASMPT AMICRA također uključuje:
NOVA Pro: Također podržava flip-chip bonding s tačnošću od ±1,0 µm, postižući ravnotežu između brzine i tačnosti.
AFC Plus: Ovo je univerzalni alat za lijepljenje kalupa s tačnošću od ±1,5 µm, dizajniran da dopuni vrhunsku NANO seriju.
Ukratko, ASM AMICRA NANO je dizajniran da zadovolji najzahtjevnije zahtjeve pakovanja. Za razliku od opreme koja daje prioritet efikasnosti, fokusira se na postizanje ekstremne tačnosti od ±0,2 µm, služeći istraživanju i razvoju i naprednoj proizvodnji visokog kvaliteta i malog obima u najsavremenijim oblastima kao što su silicijumska fotonika i računarstvo zasnovano na vještačkoj inteligenciji.





