Nitto DR3000III uređaj za montažu poluprovodničkih pločica

Ovo je detaljan uvod u NEL SYSTEM™ DR3000III kompanije Nitto Denko. To je potpuno automatizovana mašina za nanošenje zaštitnih traka na pločice koja igra ključnu ulogu u proizvodnji poluprovodnika.

Osnovna konfiguracija i tehničke specifikacije

Glavne tehničke specifikacije DR3000III su sljedeće:

Specifikacije/Parametri stavke

Tip opreme: Potpuno automatizovani aplikator zaštitne trake za pločice od 300 mm

Primjenjiva veličina pločice: 300 mm (12 inča) / ​​200 mm (8 inča)

Primjenjiva debljina pločice: 400μm ili deblja

Propusnost: 68 pločica/sat

Tehnologija nanošenja trake: Integrisani mehanizam za kontrolu nanošenja bez napetosti

Kompatibilni standardi: Ispunjava CE oznaku i SEMI S2/S8 specifikacije

Napomena: Gore navedene specifikacije podložne su promjenama na osnovu stanja pločice, trake i drugih uslova, a mogu uključivati ​​i opcionalne funkcije.

Ključne karakteristike i prednosti

Moćne karakteristike DR3000III izdvajaju ga u oblasti precizne proizvodnje:

Tehnologija nanošenja bez napetosti: Ovo je jedna od njenih glavnih tehnoloških prednosti. Minimiziranje napetosti trake prije laminacije efikasno kontrolira savijanje pločice nakon brušenja stražnje strane, što je ključno za rukovanje velikim, ultra tankim pločicama.

Kontrola laminacije niskim naponom: Oprema omogućava lijepljenje niskim naponom i kontrolu napona lijepljenja, što značajno smanjuje rizik od oštećenja uzorka pločice tokom laminacije.

Kompatibilnost s pločicama: Iako je dizajniran za pločice od 300 mm, unatrag je kompatibilan s pločicama od 200 mm i podržava posebne procese s opcionalnim značajkama kao što su grijani stol za stezanje (maks. 100°C) i grijani valjci (maks. 60°C). Nadalje, učinkovito obrađuje neravne pločice i pločice s određenim stupnjem savijanja.

Visoka automatizacija i inteligencija: Oprema je opremljena sa:

Automatizirano rukovanje materijalom: Podržava kasete s pločicama koje se otvaraju sprijeda (FOUP) / otvorene kasete, s ugrađenom robotskom rukom za potpuno automatizirano utovar i istovar.

Precizno poravnanje: Koristi beskontaktni CCD sistem poravnanja kako bi se osigurala tačnost laminacije.

Inteligentno praćenje: Opremljen funkcijom zapisivanja podataka za praćenje podataka; detekcija savijanja trake sprječava kvarove. Opcioni skener za mapiranje pločica omogućava automatsku inspekciju ulaznog materijala.

U skladu s visokim industrijskim standardima: Oprema je u skladu sa sigurnosnim i ekološkim standardima SEMI S2/S8 i dostupna je s opcionim komunikacijskim protokolima SECS/GEM za besprijekornu integraciju u moderne sisteme automatizacije fabrike poluprovodnika.

Jednostavno rukovanje: Veliki ekran osjetljiv na dodir u kombinaciji s funkcijom recepta čini rukovanje jednostavnim i intuitivnim. Korisnici samo trebaju pozvati recept za odgovarajući proizvod kako bi automatski dovršili sva podešavanja parametara.

Princip rada: Prije procesa brušenja sa zadnje strane, DR3000III precizno lijepi zaštitnu traku na stranu pločice sa uzorkom koristeći metodu bez zatezanja kako bi se spriječila mehanička oštećenja ili hemijska kontaminacija prednje strane pločice tokom naknadnog brušenja velikom brzinom.

Područja primjene: DR3000III se prvenstveno koristi u sljedećim ključnim područjima:

Proizvodnja poluprovodnika: Logički čipovi i memorijski čipovi (DRAM, NAND Flash, itd.): Zaštita delikatne strukture kola na prednjoj strani pločice u naprednim procesima. Napredno pakovanje: Pruža zaštitu pločice tokom sve većih procesa pakovanja na nivou pločice od 300 mm (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, itd.).

MEMS i senzori: Štiti mikromehaničke strukture i područja senzora tokom procesa stanjivanja zadnje strane.

Poluprovodnički uređaji za napajanje: Obrađuje pločice za energetske uređaje kao što su IGBT i MOSFET, smanjujući otpor uključenja i poboljšavajući odvođenje topline kroz stanjivanje.

Saradnja s drugom opremom: Na linijama za pakovanje poluprovodnika, DR3000III obično radi zajedno sa sljedećom opremom:

Saradnja s opremom za nanošenje filma: Radi u kombinaciji s Nitto NEL-MA3000-III opremom za uklanjanje trake prije i nakon procesa stanjivanja. DR3000III prvo nanosi zaštitnu traku kako bi zaštitio pločicu od oštećenja tokom stanjivanja; nakon stanjivanja, NEL-MA3000-III precizno uklanja zaštitnu traku, osiguravajući integritet i sigurnost ultra tanke pločice tokom cijelog procesa.

Saradnja s opremom za poliranje: Usko sarađuje s mašinama za poliranje kao zaštitni korak. Nakon što DR3000III premaze pločice zaštitnim filmovima, one se zatim ubacuju u mašinu za brušenje radi stanjivanja zadnje strane, pouzdano osiguravajući sigurnost i stabilnost procesa brušenja.

Sveukupno, Nitto DR3000III je visoko specijalizirani, automatizirani i visokoučinkoviti sistem za zaštitu pločica. Zahvaljujući tehnologiji laminiranja filma bez napetosti, efikasno rješava uobičajene probleme savijanja i kidanja koji se javljaju kod pločica velikih dimenzija tokom procesa stanjivanja stražnje strane. Igra ključnu ulogu u industriji poluprovodnika, služeći kao ključni dio opreme za osiguranje prinosa i pouzdanosti napredne proizvodnje čipova. Za ponude ili tehničke upite, obratite se direktno službenim predstavnicima ili ovlaštenim distributerima kompanije Nitto u Kini.