Nitto Semiconductor DR8500III uređaj za montažu pločica

Nitto DR8500III je potpuno automatizirani uređaj za nanošenje zaštitne trake u Nitto NEL SYSTEM™ seriji, posebno dizajniran za pločice od 200 mm (8 inča). Jednostavno rečeno, njegova osnovna funkcija je potpuno nanošenje sloja zaštitne trake na prednju stranu pločice (stranu sa šablonima kola) prije kritičnog procesa stanjivanja zadnje strane (poznatog i kao brušenje zadnje strane), sprječavajući oštećenja tokom naknadnog brušenja velikom brzinom.

Poređenje osnovnih parametara DR8500III i DR3000III

Kako bismo vam pomogli da brzo shvatite pozicioniranje DR8500III, uporedili smo ga sa DR3000III, koji takođe podržava 300mm wafere, što razlike čini odmah očiglednim.

Poređenje artikala: DR8500III (Glavni uvod) DR3000III

Glavno pozicioniranje: Potpuno automatski aplikator zaštitne trake za pločice od 200 mm; Potpuno automatski aplikator zaštitne trake za pločice od 300 mm

Primjenjive veličine pločica: 8/6/5/4 inča (200/150/125/100 mm); 300/200 mm (12 inča/8 inča)

Propusnost: Standardno: 77 pločica/sat

RF verzija: 68 pločica/sat; 68 pločica/sat

Kompatibilna debljina pločice: Pločice bez brušenja stražnje strane; 400µm ili deblje

Glavne karakteristike i tehničke karakteristike:

Tehničke karakteristike DR8500III u potpunosti uzimaju u obzir kompatibilnost, performanse procesa i jednostavnost rukovanja.

Široka kompatibilnost s pločicama: Standardna podrška za pločice od 8/6/5 inča, s opcionalnom podrškom za pločice od 4 inča. Nadalje, grijane stezne glave/valjci mogu se dodati kao opcija kako bi se zadovoljili različiti zahtjevi procesa.

Tehnologija nanošenja filma niskog napona: Njegova RF verzija koristi tehnologiju nanošenja filma niskog napona, značajno smanjujući napon na pločici tokom procesa nanošenja filma i smanjujući rizik od savijanja ili loma pločice.

Visokoefikasna automatizacija po industrijskim standardima: Oprema omogućava operaterima brz pristup unaprijed postavljenim parametrima proizvodnje putem dodirne ploče i funkcionalnosti receptura, pružajući intuitivan rad. Također je u skladu sa CE sigurnosnim standardima i nudi opcionalne SECS/GEM komunikacijske protokole, omogućavajući besprijekornu integraciju u moderne sisteme automatizacije fabrike poluprovodnika.

Područja primjene: Primarno tržište DR8500III je proizvodnja poluprovodničkih pločica od 200 mm (8 inča), što je posebno važno u sljedećim ključnim procesima:

Brušenje s zadnje strane: Ovo je njegova osnovna primjena. Prije procesa brušenja s zadnje strane, pruža mehaničku zaštitu prednje strane pločice, sprječavajući da brusni tokovi koji se brzo okreću grebu strujni krug; također pruža hemijsku zaštitu, sprječavajući kontaminaciju površine pločice tekućinom za poliranje i ostacima.

Rezanje/pilovanje pločice: Prije rezanja pločice na pojedinačne komadiće, nanosi se traka za rezanje kako bi se pločica fiksirala, osiguravajući stabilnost i preciznost tokom procesa rezanja.

Saradnja i ekosistem

Na kompletnoj proizvodnoj liniji za pakovanje poluprovodnika, DR8500III obično ne radi samostalno, već sarađuje s drugom opremom kako bi formirao zatvoreni proizvodni proces "nanošenje filma - proces - uklanjanje filma".

Saradnja sa mašinama za uklanjanje folije: Nakon procesa kao što su stanjivanje zadnje strane i lasersko žarenje, zaštitna traka se mora ukloniti, što zahtijeva mašinu za uklanjanje folije. Na primjer, Nitto-ova potpuno automatska mašina za uklanjanje trake HR8500III je uobičajen izbor za uparivanje sa DR8500III.

Saradnja s opremom za mljevenje/sjeckanje: Proces nanošenja filma na DR8500III je ključna karika u obezbjeđivanju "predtretmana materijala" za osnovnu procesnu opremu kao što su brusilice i pile za sjeckanje.

Rezime

Ukratko, Nitto DR8500III je zrela, stabilna i efikasna, potpuno automatska mašina za nanošenje filma na wafere od 200 mm. Njena osnovna vrijednost leži u pružanju pouzdane zaštite wafera prije kritičnih procesa kao što je stanjivanje zadnje strane putem precizne tehnologije nanošenja filma s niskim naponom, što je ključno za osiguranje prinosa i performansi konačnog čipa.